【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体器件热处理用立式方片架,属于半导 体热处理用的载体。
技术介绍
在半导体生产中,需要将半导体芯片放入热处理设备中进行处 理。这就需要一种装载半导体芯片的载体,将半导体芯片放在载体上, 再放入热处理炉进行处理。 一般情况下都是将半导体芯片直立的放在 芯片舟中,再将芯片舟放入热处理设备中进行处理的。但半导体生产 的不同需求,有时也需要将半导体芯片在水平状态的进行热处理,因 此需要一种水平摆放芯片的载体,以适应半导体芯片的不同状态的热 处理需求。
技术实现思路
本技术的目的在于,提供一种半导体器件热处理用立式方片 架,用于半导体芯片水平状态摆放进行热处理,以适应半导体芯片在 不同状态的热处理需求,克服现有技术的不足。本技术的技术方案 一种半导体器件热处理用立式方片架, 它包括底座,底座两端设有立板,立板的外侧设有托台,立板的内侧 设有一组芯片槽,立板的顶部设有顶板。上述的半导体器件热处理用立式方片架中,所述的底座、立板、 托台和顶板均采用透明石英玻璃制成。与现有技术相比,本技术可以将半导体芯片水平状态摆放在 立式方片架上进行热处理,可以适应半导体芯片在不同状态的热处理需求。附图说明图1是本技术的结构示意图。附图中的标记为l-底座,2-立板,3-托台,4-芯片槽,5-顶板。具体实施方式本技术的实施例如图1所示:半导体器件热处理用立式方片 架是半导体在进行热处理时用于水平承载半导体芯片的载体,它全部采用透明石英材料制成。它包括底座l,底座1两端设有立板2,立 板2的外侧设有托台3,立板2的内侧设有一组芯片槽4,立板2的 顶部设有顶板5。本例在使用时, ...
【技术保护点】
一种半导体器件热处理用立式方片架,其特征在于:它包括底座(1),底座(1)两端设有立板(2),立板(2)的外侧设有托台(3),立板(2)的内侧设有一组芯片槽(4),立板(2)的顶部设有顶板(5)。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。