【技术实现步骤摘要】
本技术属于一般形状的耐火制品组成的层状产品
技术介绍
用于集成电路、半导体芯片氧化、还原、扩散、外延加工的炉具，要求化学稳定性好，膨胀系数小，耐高温的高纯度材质。目前，一般采用高纯度的石英玻璃制成石英炉管，其使用温度可达1150℃。当使用温度超过1150℃时，则石英炉管必须较大幅度地增加壁厚，其结果不仅大大提高生产成本，而且由于壁厚的增加，使石英炉管自重增加，在高温下易造成石英炉管中部下垂变形。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种更加耐高温的石英炉管，而不必明显增加炉管的厚度和自重。实现上述目的的技术方案是在原石英炉管的石英基壳体受热部的外表面上熔制复盖一层耐高温材料涂层。由于采用的耐高温材料涂层的材料耐高温度较石英更高，而熔制复盖的涂层很薄，以至几乎不增加原石英炉管的壁厚和自重，但却大大提高了炉管的使用温度。附图说明附图1为本技术实施例的主视结构示意图。附图2为附图1的A-A向剖视结构示意图。具体实施方式本实施例的耐高温材料涂层2的材料采用氧化铝。将氧化铝粉末调制成涂料，均匀地涂刷在石英炉管的石英基壳体1的受热部外表面上，经高温加热烧制，氧化铝涂层即紧密牢固地附着在石英基壳体1外表面上了。权利要求1.一种石英炉管，具有石英制成的基壳体，其特征在于石英基壳体(1)受热部的外表面上熔制复盖有一层耐高温材料涂层(2)。2.按权利要求1所述的石英炉管，其特征在于耐高温材料涂层(2)的材料是氧化铝。专利摘要一种石英炉管，属于一般形状的耐火制品组成的层状产品
它具有石英制成的基壳体，在该基壳体受热部的外表面上熔制复盖有一层耐高温材料涂层。本技术主要...
【技术保护点】
一种石英炉管，具有石英制成的基壳体，其特征在于石英基壳体（１）受热部的外表面上熔制复盖有一层耐高温材料涂层（２）。
【技术特征摘要】
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