【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种加载互锁装置和干式真空泵组件，包括：一具有加载互锁外壳的加载互锁装置，所述加载互锁外壳包括一配合系统，其中，所述配合系统包括一法兰状圆柱体和一相对于所述法兰状圆柱体同心设置的圆柱体，一和所述配合系统整体连接的干式真空泵， 所述干式真空泵包括一轴、一转子、从所述转子向外延伸的第一同心圆柱体和第二同心圆柱体，其中，所述第一和第二同心圆柱体、所述法兰状圆柱体和所述相对于所述法兰状圆柱体同心设置的圆柱体相对于所述轴轴向分布，和具有螺旋形结构的多个凸缘，所述凸 缘可有选择地设置在所述第一和第二同心圆柱体、所述法兰状圆柱体和所述相对于所述法兰状圆柱体同心设置的圆柱体上，其中，所述第一和第二同心圆柱体相对于所述法兰状圆柱体和相对于法兰状圆柱体同心设置的所述圆柱体旋转，以便形成分子拖曳压缩级。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：G亨特利，NG贝勒尼，
申请(专利权)人：爱德华兹真空股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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