【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于对包含不相似气体的至少两个处理真空室（３３０、３３１）进行排气的真空排气装置（３００），包括：低于大气压的消减室（３１０），具有至少两个入口（３４０、３４１）和一个出口（３６０），所述至少两个入口从所述至少两个处理真空室中接 纳气体；前级泵（３７０），连接至所述低于大气压的室的所述出口，用于在所述室内保持真空；所述低于大气压的消减室包含至少一个预调节器（３５０），用于对从所述处理真空室的接纳气体中的至少一种以不同于所述气体中的另一种的方式进行调节 ，由此将所述气体变成相容的以用于混合。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：CM贝里，MS宝格，
申请(专利权)人：爱德华兹真空股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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