金属氧化物薄膜的制备方法技术

金属氧化物薄膜的制备方法，涉及材料技术，特别涉及超导带材氧化物过渡层薄膜的制备技术。采用本发明专利技术，能够快速生长具有良好的织构和高的表面平整度的氧化物薄膜。本发明专利技术包括以下步骤：１）在具有织构特性的金属基片上沉积金属薄膜，沉积方式为蒸发、溅射或脉冲激光沉积；２）氧化步骤１）制得的金属薄膜，通过氧分压、退火温度以及退火时间控制氧化物薄膜的取向和表面平整度，形成具有双轴织构特性的氧化物薄膜；３）降温。使用该方法制备的氧化物过渡层薄膜不仅具有良好的织构和高的表面平整度，而且沉积速率可达到０．３ｎｍ／ｓ，为工业快速生长第二代高温超导带材氧化物过渡层薄膜提供了良好的实现途径。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及材料技术，特别涉及超导带材氧化物过渡层薄膜的制备技术。
技术介绍
1986年高温超导体的发现引起了全世界科学界极大的兴趣和关注。世界各国对其材料组成、结构特征、性能、应用等各方面进行了广泛深入的研究。超导体具有许多独特的性质，如无电阻、完全抗磁性(迈斯纳效应)和超导隧道效应(约瑟夫森效应)等，利用这些性质可在科学和生产上发展许多有重要价值的应用领域，如强磁体和超导量子干涉器件(SQUID)，高效电动机和无损耗传输电能系统等。高温超导体的发现使超导体的工作温度从液氦温区(4K)提高到液氮温区(77K)，使超导体的实用前景更加广阔。高温超导材料在强电上的应用一直是一个重要的方向，各国政府对高温超导带材的研究投入了巨大的人力和物力。第一代高温超导带材铋系高温超导带材(BSCCO/2223)已进入实用性阶段，但是其在强磁场下难以得到高的临界电流密度Jc，并且相对昂贵的银的使用也使其在降低工业成本上受到巨大限制。因此，各国政府给予更大的热情研究开发一种在柔性金属基带上，涂以YBCO/123厚膜的涂层导体(Coated Conductor，称CC或第二代高温超导带材)。YBCO本文档来自技高网...

【技术保护点】
金属氧化物薄膜的制备方法，包括以下步骤：１）在具有织构特性的金属基片上沉积金属薄膜，沉积方式为蒸发、溅射或脉冲激光沉积；２）氧化步骤１）制得的金属薄膜，通过氧分压、退火温度以及退火时间控制氧化物薄膜的取向和表面平整度，形成具有双轴织构特性的氧化物薄膜；３）降温。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李言荣，陶伯万，陈寅，刘兴钊，朱俊，吴传贵，吴健，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]