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金属氧化物薄膜的制备方法,涉及材料技术,特别涉及超导带材氧化物过渡层薄膜的制备技术。采用本发明,能够快速生长具有良好的织构和高的表面平整度的氧化物薄膜。本发明包括以下步骤:1)在具有织构特性的金属基片上沉积金属薄膜,沉积方式为蒸发、溅射或脉...
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