柔性单晶膜及其制造方法技术

本发明专利技术是有关于一种柔性单晶膜和一种由单晶片制造所述柔性单晶膜的方法。即，通过利用各种晶片薄化技术，本发明专利技术可将包括基底晶片、一个或一个以上埋入绝缘体层以及单晶层的绝缘体上硅（ｓｉｌｉｃｏｎ－ｏｎ－ｉｎｓｕｌａｔｏｒ，ＳＯＩ）晶片制造成具有所需厚度的柔性单晶膜。用于制造柔性膜的方法包括以下步骤（ｉ）提供ＳＯＩ晶片，其包括基底晶片、在所述基底晶片上的一个或一个以上埋入绝缘体层以及在所述一个或一个以上埋入绝缘体层上的单晶层，（ｉｉ）在所述单晶层上形成一个或一个以上保护绝缘体层，（ｉｉｉ）去除所述基底晶片，以及（ｉｖ）去除所述一者或一者以上的绝缘体层。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种柔性单晶膜和一种由单晶片制造柔性单晶膜的方法。即，通过利用各种晶片薄化技术，本专利技术可将包括基底晶片、一个或一个以上埋入绝缘体层以及单晶层的绝缘体上硅(silicon-on-insulator，SOI)晶片制造成具有所需厚度的柔性单晶膜。本专利技术还涉及由单晶半导体晶片制造上面制造有各种电子器件的柔性膜。即，一旦在包含基底晶片、埋入绝缘体层和单晶层的SOI晶片上建构了具有所需特征的电子器件，本专利技术就可通过利用多种晶片薄化技术来制造具有多种电子器件且具有所需厚度的柔性单晶膜。
技术介绍
目前，电子设备在设计上已经彻底改进，从轻重量且紧凑设计转变成全面且增强的柔性。随着移动无线因特网和电子商务交易的发展，对新的柔性显示器的要求尤其增加。由此，商业上可将本专利技术应用于可折叠无线电话、PDA、柔性电子书、电子报纸和类似物。还可将本专利技术应用于电子黑板、CAD/CAM的显示器、电光标志和电广告牌(electric billboard)。虽然存在对此类柔性电子设备的需求，但柔性电子设备的开发仍受到延滞，主要原因是不存在可稳定地从中制造具有所要特征的电子器件的衬底材本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性膜，其特征在于其包括由单晶片制造的单晶层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴钟完，朴在勤，
申请(专利权)人：汉阳大学校产学协力团，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]