【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种半导体器件制造装置，特别涉及一种半导体器件制造装置中的测束法拉第装置。
技术介绍
现有半导体集成电路制造技术中，随着集成度越来越高和电路规模越来越大，要求电路中单元器件尺寸越来越小，于是对半导体器件制造设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备，其离子源的优劣直接关系到半导体器件的质量好坏。因此，作为离子注入机中离子源束流指标检测的法拉第装置，是一个既关键又必不可少的部件。在以往的测束法拉第装置中大都采用金属焊件，因此在入口处要设置抑制电极，但还会产生未被抑制的二次电子；同时由于法拉第装置直接收束流和特殊的高温使用环境，使得金属筒外部要设计水套作为冷却；法拉第杯的底板由于采用了焊接方式的固定连接，也给维修带来极大不便。
技术实现思路
本技术克服现有技术的缺点，提供了一种结构简单，维护方便，测量准确的测束法拉第装置。本技术技术方案如下法拉第筒采用石墨制成并被设计成倒锥形；法拉第杯底板采用方便更换的活动连接方式；在气缸体与气缸轴接触的部位设置绝缘并起支撑作用的气孔环和密封圈；在气缸轴的尾部设置保证运行平稳的移动导向杆。采用本技术，无需设置抑制电极，可以有效防止金属粒子和二次电子污染；由于采用耐高温的石墨材料，因而无需在法拉第杯外部焊接冷却水套；法拉第杯底板采用活动连接方式，可方便更换法拉第杯底板，操作简单，使维护大大简化。附图说明图1为本技术的结构图。图中1-法拉第杯底板；2-法拉第筒；3-气缸轴；4-气孔环；5-密封圈；6-气缸活塞；7-气缸体；8-气缸密封盖；9-进出水接头；10-移动导向杆；11-进出气接头具体实施方式以下...
【技术保护点】
一种测束法拉第装置，其包括：法拉第杯，气缸轴，气缸体，气缸活塞，气缸密封盖，进出气接头，进出水接头，其特征在于法拉第筒（２）为倒锥形，法拉第筒（２）底部带有活动法拉第杯底板（１）；法拉第筒（２）连接在气缸轴（３）上，气缸轴（３）穿过气缸体（７），气缸轴（３）的另一端连接有移动导向杆（１０）；在气缸体（７）与气缸轴（３）接触部位有气孔环（４）和密封圈（５）；气缸轴（３）尾部连接有移动导向杆（１０）。
【技术特征摘要】
1.一种测束法拉第装置，其包括法拉第杯，气缸轴，气缸体，气缸活塞，气缸密封盖，进出气接头，进出水接头，其特征在于法拉第筒(2)为倒锥形，法拉第筒(2)底部带有活动法拉第杯底板(1)；法拉第筒(2)连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭建辉，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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