法拉第杯制造技术

本实用新型专利技术公开一种法拉第杯，其包括框体及石墨。框体具有容置空间。石墨可拆换地设置于容置空间中。上述法拉第杯可快速地且局部地更换部件。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种法拉第杯，且特别是涉 及一种可快速地更换部件的法拉第杯。
技术介绍
离子注入是一种用于在如半导体晶片等工件中注入能改变导电率的杂质的标准技术。在传统的束线式离子注入机中，由离子源产生离子束并由萃取电极(extractionelectrode)自离子源中萃取离子束。当离子束撞击工件时，离子束中的离子会穿透工件表面而停止在工件表面下方，从而于工件中形成具有所需导电率的区域。在传统离子注入机的运作中，通常需要测量注入于工件中的累加离子剂量。法拉第杯即为一种用于测量注入于工件中的离子剂量的装置。通过法拉第杯测量离子束电流，可经由对离子束电流的计算而确定累加离子剂量。然而，由于目前的法拉第杯为一体化的结构，所以当法拉第杯上的石墨受到离子束的侵蚀而受损时，必须将整个法拉第杯进行更换，其更换成本相当高。此外，由于此一体化的法拉第杯的更换步骤繁琐且不易安装，容易产生真空泄露(vacuum leak)或漏水(water leak)的情况，因此需重复进行多次安装与测试，所花费的更换时间相当冗长。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种法拉第杯，其可快速地且局部地更换部件。为达上述目的，本技术提出一种法拉第杯，包括框体及石墨。框体具有容置空间。石墨可拆换地设置于容置空间中。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，框体的材料例如是金属。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，石墨包括第一组件及第二组件。第一组件可拆换地设置于容置空间中，且在第一组件中具有凹槽。第二组件可拆换地设置于凹槽中。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，凹槽的位置例如是对应于带电粒子束于石墨上的撞击位置。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，带电粒子束例如是离子束。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，第一组件的凹槽底部可具有通孔。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，还包括第一结合装置，用以结合第一组件与框体。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，第一结合装置例如是螺丝组。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，还包括第二结合装置，用以结合第一组件与第二组件。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，第二结合装置例如是螺丝组。依照本技术的一实施例所述，在上述的法拉第杯中，法拉第杯例如是应用于离子注入机台。基于上述，本技术的优点在于，在本技术所提出的法拉第杯中，由于石墨为可拆换的部件，所以可快速地更换法拉第杯的部件，进而可缩短更换部件的时间。此外，由于本技术所提出的法拉第杯的部件可局部地进行更换，因此具有方便更换的特性。另外，相比较于传统一体化的法拉第杯，本技术所提出的法拉第杯可单独对需要更换的部件进行更换，而无须将整个法拉第杯进行更换，因此可节省更换成本。为让本技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。附图说明图I为本技术的一实施例的法拉第杯的组合图；图2为本专利技术的一实施例的法拉第杯的立体分解图；图3为本专利技术的一实施例的法拉第杯的侧视分解图。主要元件符号说明 100 :法拉第杯102 :框体104 :石墨106 :容置空间108 :第一组件110:第二组件112:凹槽114:通孔116:第一结合装置116a:螺丝116b、116c、118b、118c :螺孔118:第二结合装置118a:螺丝具体实施方式图I所绘示为本技术的一实施例的法拉第杯的组合图。图2所绘示为本专利技术的一实施例的法拉第杯的立体分解图。图3所绘示为本专利技术的一实施例的法拉第杯的侧视分解图。请同时参照图I至图3，法拉第杯100包括框体102及石墨104。法拉第杯100例如是应用于离子注入机台，如高电流离子注入机台。框体102具有容置空间106，其中容置空间106可用以容置石墨104。框体102的材料例如是铝等金属。石墨104可拆换地设置于容置空间106中，因此可快速地且局部地进行更换。石墨104可包括第一组件108及第二组件110。第一组件108可拆换地设置于容置空间106中，且在第一组件108中具有凹槽112。第二组件110可拆换地设置于凹槽112中。凹槽112的位置例如是对应于带电粒子束于石墨104上的撞击位置，其中带电粒子束例如是离子束。由于带电粒子束于石墨104上的撞击位置为石墨104受损较严重的部分，通过第二组件110可拆换地设置于凹槽112中，所以能够单独地对于受损较严重的第二组件110进行更换，无需更换整个石墨104，因此可降低部件的更换成本。此外，第一组件108的凹槽 112底部可具有通孔114。当第一组件108具有通孔114时，可利用如顶针等针状物穿过通孔114，而将第二组件110顶出凹槽112。值得注意的是，虽然在此实施例中，石墨104是以包括第一组件108及第二组件110为例进行说明，然而本技术并不以此为限，只要石墨104为可拆换地部件即可达到快速地且局部地更换部件的效果。在其他实施例中，石墨104也可为单一可拆换的部件。法拉第杯100还可选择性地包括第一结合装置116及第二结合装置118中的至少一者。第一结合装置116用以结合第一组件108与框体102。第二结合装置118用以结合第一组件108与第二组件110。第一结合装置116例如是由螺丝116a所组成的螺丝组。第二结合装置118例如是由螺丝118a所组成的螺丝组。此外，对应于螺丝116a的固定位置，第一组件108中例如是具有螺孔116b，而框体102例如是具有螺孔116c。对应于螺丝118a的固定位置，第一组件108中例如是具有螺孔118b，而第二组件110例如是具有螺孔118c。在此实施例中，虽然第一结合装置116与第二结合装置118分别是以螺丝组为例进行说明，但是本技术并不以此为限。此外，虽然在此实施例中螺丝116a与螺丝118a的数量是以四颗为例进行说明，然而只要螺丝116a与螺丝118a的数量分别为一颗以上即可具有结合的效果，而属于本技术所要保护的范围。基于上述实施例可知，在法拉第杯100中，当要更换石墨104时，由于石墨104为可拆换的部件，所以可快速地更换法拉第杯100的部件，进而可缩短更换部件的时间。此夕卜，由于法拉第杯100的部件可局部地进行更换，可降地更换部件时的复杂性，因此具有方便更换的特性。另外，相较于传统一体化的法拉第杯，上述实施例所提出的法拉第杯100可单独对需要更换的部件进行更换，而无须将整个法拉第杯100进行更换，因此可节省更换成本。综上所述，上述实施例至少具有下列优点I.通过上述实施例的法拉第杯可缩短更换部件的时间。2.上述实施例的法拉第杯具有方便更换的特性。3.通过上述实施例的法拉第杯可节省更换成本。权利要求1.一种法拉第杯，其特征在于，包括 框体，具有一容置空间；以及 石墨，可拆换地设置于该容置空间中。2.如权利要求I所述的法拉第杯，其特征在于，该框体的材料包括金属。3.如权利要求I所述的法拉第杯，其特征在于，该石墨包括 第一组件，可拆换地设置于该容置空间中，且在该第一组件中具有凹槽；以及 第二组件，可拆换地设置于该凹槽中。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：庄锦贤，张元河，蔡济全，陈平阳，施介文，彭圣修，
申请(专利权)人：力晶科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：