本发明专利技术公开了一种离子注入束线法拉第，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴(7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作，拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上；所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏，绝缘安装版(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连；所述绝缘安装板(2)处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果；所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧，其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3)；所述的燃烧传感器(3)用于检测杯测束底板(4)束流。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是一种离子注入束线法拉第，特别涉及半导体制造离子注入工艺中所用的离子注入机，属于半导体器件制造领域。
技术介绍
离子注入机是现代半导体集成电路制造中必不可少的工艺设备。现今的半导体集成电路制造工艺对离子注入机的要求越来越高。不仅对整机可靠性、束流纯净度、束流均勻性、注入角度等提出了更高的要求，而且对注入机的离子能量范围、束斑形状、离子束传输效率等也提出了很高的要求，并对其工艺和设备的要求越来越高。特别是对注入机光路系统的要求更加严格。本专利技术是一种检测束流的装置，杯测束底板可进行90度旋转调节，可根据需求调节旋转使束流通过。杯测束底板4上的燃烧传感器5可检测到束流。
技术实现思路
本专利技术专利一种离子注入束线法拉第，是一个束流的检测装置，可检测束流是否到达束线法拉第以及测量出所引出的束流大小。本专利技术通过以下技术方式实现一种离子注入束线法拉第，主要包括安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器 (3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(S)0所述的旋转轴(7)通过与气缸连接完成旋转动作。所述的拆装导杆孔(5)处在安装法兰1上，主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏。所述的绝缘安装板(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连，处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果。所述的杯测束底板⑷安装在杯框(6)的左侧。所述的燃烧传感器(3)在杯测束底板中心位置杯框(6)内，主要作用是用于检测杯测束底板(4)束流。本专利技术具有如下显著优点安装结构稳定，工作可靠，重复性高，检测能力强。附图说明附图1是本专利技术的一种实施方式的示意图。 具体实施例方式下面结合附图的具体实施例对本专利技术作进一步介绍，应该理解，这些描述都是说明性的，本专利技术不限于此。本专利技术的范围仅由所附权利要求的范围所限定。参考图1，一种离子注入束线法拉第，包括安装法兰(1)、绝缘安装板O)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴 (7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作，拆装导杆孔( 处在安装法兰(1)上；所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏，绝缘安装版 ⑵安装在安装法兰⑴内侧与杯框相连；所述绝缘安装板⑵处于杯框(6)和安装法兰 (1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果；所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧，其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3)；所述的燃烧传感器C3)用于检测杯测束底板⑷束流。束线法拉第设计为旋转90度切换结构，杯体由杯框(6)和杯测束底板(4)组成， 采用高纯石墨，底部设计杯底穿孔检测传感器(3)。旋转轴(7)采用抽真空密封，杯测束底板⑷的旋转动作由气缸⑶驱动，双向设计到位行程开关，测束底板⑷转动，杯框(6) 保持不动。整体与真空腔绝缘，用于束流检测。下部设计用于便于维护拆装的导杆孔(5)， 安装滑动滚珠套。测束底板(6)采用水冷，对外水冷接头和压缩空气接头采用自密封快插接头，密封用真空接头采用双卡套。本专利技术的特定实施例已对本专利技术的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利技术专利的侵犯，将承担相应的法律责任。权利要求1.一种离子注入束线法拉第，其特征在于安装法兰(1)、绝缘安装板O)、燃烧传感器 (3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(S)02.如权利要求1所述的一种离子注入束线法拉第，其特征在于旋转轴(7)连接杯测束底板G)，其旋转动作由气缸(8)带动完成。3.如权利要求1所述的一种离子注入束线法拉第，其特征在于拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上，所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏。4.如权利要求1所述的一种离子注入束线法拉第，其特征在于杯测束底板(4)安装中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3)，主要作用是用于检测杯测束底板(4)束流。全文摘要本专利技术公开了一种离子注入束线法拉第，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴(7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作，拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上；所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏，绝缘安装版(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连；所述绝缘安装板(2)处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果；所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧，其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3)；所述的燃烧传感器(3)用于检测杯测束底板(4)束流。文档编号H01J37/317GK102569117SQ20101062190公开日2012年7月11日 申请日期2010年12月27日 优先权日2010年12月27日专利技术者刘世勇, 唐景庭, 曹远翔, 李慧, 林萍, 胡宝富 申请人:北京中科信电子装备有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：曹远翔，唐景庭，刘世勇，胡宝富，林萍，李慧，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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