门关断闸流晶体管及其制造方法技术

技术编号:3223828 阅读:205 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
具有半导体基片(1)的门关断闸流晶体管(GTO),至少包括—P型导电阳极层(4),—n型基区层(6),—和门电接触的P型基区层(7)和一包括用作n+[+]发射极的重掺杂区(10)和轻掺杂区(9)的n型导电阴极层(8)。区(10)与基片(1)表面相毗连,其掺杂浓度至少较P型基区层的高一个数量级。区(9)位于层(7)和层(8)形成的pn结J-[1]与层(8)的区(10)之间。按照本发明专利技术的实施例,在台面结构GTO中,区(10)使区(9)在指形阴极(2)的中央条形区(5)从pn结J-[1]延伸到基片(1)表面。(*该技术在2008年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
具有半导体基片(1)的门关断闸流晶体管,至少包括:a)一个P型导电阳极层(4),b)一个n型基区层(6),c)一个和门电接触的P型基区层(7),d)一个n型导电阴极层(8);其中,e)阴极层(8)包括与半导体基片(1 )表面毗连的重掺杂区(10),用作n↑〔+〕发射极,其掺杂浓度数量级至少高于P型基区层(7),f)阴极层(8)还包括与一个由阴极层(8)和P型基区层(7)形成pn结毗连的轻掺杂区(9),其掺杂浓度与P型基区层(7)在相对阴极层(8)的p n结处的掺杂浓度相差不大。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:彼得罗格韦勒
申请(专利权)人:BBC勃郎勃威力有限公司
类型:发明
国别省市:CH[瑞士]

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