硅片花篮及硅片花篮清洗流转系统技术方案

技术编号:32196781 阅读:10 留言:0更新日期:2022-02-08 16:02
本申请提供一种硅片花篮及硅片花篮清洗流转系统,涉及晶硅片生产领域。硅片花篮包括两个端板及插片杆,每个端板设有第一孔洞单元,第一孔洞单元的数量为至少两个,每个第一孔洞单元包括两组孔洞组,每组孔洞组包括沿第二方向布置的至少两个第一孔洞,两组孔洞组平行且间隔布置在端板在第一方向的两侧端,两组孔洞组之间形成用于放置硅片的安装间隙,插片杆用于穿设于第一孔洞且可拆卸连接两个端板,插片杆沿其轴向设有至少两个间隔布置的插槽,进而实现通过快速更换插片杆实现硅片花篮适应不同尺寸的硅片,使用方便,提高了硅片花篮使用率及现场生产效率。使用率及现场生产效率。使用率及现场生产效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片花篮及硅片花篮清洗流转系统


[0001]本申请涉及太阳能晶硅片生产领域,具体而言,涉及一种硅片花篮及硅片花篮清洗流转系统。

技术介绍

[0002]现有的硅片花篮大多是针对一种尺寸规格的硅片进行设计的,若要清洗不同尺寸规格的硅片则需要用到不同尺寸规格的硅片花篮,因此在切换加工不同尺寸硅片时,需要重新更换整套硅片花篮,不仅增加硅片加工成本,降低硅片花篮使用率,同时还增加硅片花篮调试频次,影响现场生产效率。另外,对于没有正在进行生产加工的硅片还会导致相应硅片花篮的闲置,大量闲置的硅片花篮需要占用较大的存储空间,造成企业车间或库房的空间资源紧张。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种硅片花篮及硅片花篮清洗流转系统,其能够改善上述至少一个技术问题。
[0004]第一方面,本申请实施例提供一种硅片花篮,其包括两个平行且间隔布置的端板以及插片杆。
[0005]每个端板具有互相垂直的第一方向以及第二方向,每个端板设有第一孔洞单元,第一孔洞单元的数量为至少两个,每个第一孔洞单元包括两组孔洞组,每组孔洞组包括沿第二方向布置的至少两个第一孔洞,两组孔洞组平行且间隔布置在端板在第一方向的两侧端,两组孔洞组之间形成用于放置硅片的安装间隙,不同的第一孔洞单元对应的安装间隙的尺寸不同。
[0006]插片杆用于穿设于第一孔洞且可拆卸连接两个端板,插片杆沿其轴向设有至少两个间隔布置的插槽。
[0007]在上述实现过程中,利用在端板设置不同的第一孔洞单元对应的安装间隙的间距不同,且每个第一孔洞单元单独使用,实现一个硅片花篮可适应不同尺寸的硅片,保证在清洗不同尺寸规格的硅片时,不需要更换整个硅片花篮,而是仅将插片杆可拆卸安装至对应间距(目标硅片尺寸)的孔洞单元即可,使用方便,提高了硅片花篮使用率,降低硅片花篮调试频次以提高现场生产效率,同时也避免了因大量闲置的硅片花篮造成企业车间或库房的空间资源紧张的问题。
[0008]在一种可能的实施方案中,插片杆至少有两种,不同的插片杆对应的插槽的尺寸不同。
[0009]由于实际生产过程中,不同尺寸或同一尺寸的硅片的厚度要求不同,因此,在上述实现过程中,采用插槽尺寸的插片杆对应实际的需求进行使用,扩大硅片花篮的使用范围。
[0010]在一种可能的实施方案中,两组孔洞组沿第一方向镜像分布在端板的两侧端。
[0011]在上述实现过程中,镜像分布的设置方式保证重心居中,保证硅片花篮使用时的
稳定性。
[0012]在一种可能的实施方案中,每组孔洞组的至少两个第一孔洞沿第二方向等距间隔布置。
[0013]在上述实现过程中,利用等距间隔的设置方式,使得插片杆安装后,安装间隙能够稳定的安装硅片。
[0014]在一种可能的实施方案中,端板在第二方向的任意一端设有第二孔洞单元,第二孔洞单元包括一个或多个第二孔洞,多个第二孔洞沿第一方向间隔布置。
[0015]硅片花篮还包括表面设有缓冲垫层的限位杆,限位杆用于穿设于第二孔洞以可拆卸连接两个端板,以限制硅片自端板设置限位杆的一端脱离安装间隙。
[0016]在上述实现过程中,由于限位杆的表面设有缓冲垫层,可也避免损坏硅片,同时由于仅在第二方向的一端设有第二孔洞单元,因此不仅可以限制硅片自端板设置限位杆的一端脱离安装间隙,同时在第二方向的另一端可形成使硅片进入装载空间的开口,不影响硅片的安装以及拆卸。
[0017]在一种可能的实施方案中,第二孔洞单元的数量为至少两个,至少两个第二孔洞单元沿第二方向间隔布置。
[0018]在上述实现过程中,采用上述设置方式可调整尺寸不同的硅片重心所在位置,提高稳定性以及便于后续进行清洗,其中每个第二孔洞单元独立使用。
[0019]在一种可能的实施方案中,硅片花篮还包括设置于每个端板的定位柱组,定位柱组凸设于两个端板相背离的一侧面,定位柱组包括呈三角形分布的三个定位柱。
[0020]在上述实现过程中,在后续向硅片花篮内插片时,通过定位柱的设置使其相对于插片机定位,防止移位,以促成硅片精准插入硅片花篮,有效防止卡片、撞片以及叠片的问题,同时也便于抓取硅片花篮。
[0021]第二方面,本申请实施例提供一种硅片花篮清洗流转系统,其包括本申请第一方面提供的硅片花篮、用于向硅片花篮内插入硅片的插片机、用于将被插片机插片后装载有硅片的硅片花篮输送至清洗机的清洗上料台、用于对硅片花篮装载的硅片进行清洗的清洗机、用于将清洗后的装载有硅片的硅片花篮从清洗机中输出的清洗下料台,以及用于将自清洗下料台下料后的硅片花篮装载的硅片进行分选的分选上料台。
[0022]在上述实现过程中,由于硅片花篮结构的改进,保证在其在实际的清洗流转过程中,可快速更换插片杆实现一个硅片花篮适应不同尺寸的硅片,使用方便,提高了硅片花篮使用率及现场生产效率。
[0023]实际生产过程中,现有的硅片花篮只承担着载具的身份,无法追溯区分硅片的相关信息,且在生产流转过程中可能会出现硅片种类混淆、混单、混片,影响生产秩序。
[0024]因此,在一种可能的实施方案中,硅片花篮清洗流转系统包括:管理系统、设置于硅片花篮的至少一个端板的RFID芯片,以及分别设置在插片机、清洗上料台、清洗下料台以及分选上料台的RFID感应器,RFID感应器用于感应读取RFID芯片,管理系统用于与每个RFID感应器通信连接以记录每个RFID感应器所读取的数据。
[0025]在上述实现过程中,利用RFID感应器、RFID芯片以及管理系统的配合,可追溯区分硅片的相关信息,杜绝硅片在生产流转过程中出现的硅片种类混淆、混单、混片等不良,为硅片品质追踪、异常排查、流程优化提供有利条件。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0027]图1为硅片花篮清洗流转系统流程示意图;
[0028]图2为硅片花篮的结构示意图;
[0029]图3为端板的结构示意图。
[0030]图标:10

硅片花篮清洗流转系统;100

硅片花篮;110

端板;111

侧端;112

连接端;1131

孔洞组;1133

第一孔洞;1135

安装间隙;115

第二孔洞单元;1151

第二孔洞;119

RFID芯片;121

插片杆;123

插槽;131

限位杆;140

定位柱组;141

定位柱;210<本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片花篮,其特征在于,包括两个平行且间隔布置的端板以及插片杆;每个所述端板具有互相垂直的第一方向以及第二方向,每个端板设有第一孔洞单元,所述第一孔洞单元的数量为至少两个,每个所述第一孔洞单元包括两组孔洞组,每组所述孔洞组包括沿所述第二方向布置的至少两个第一孔洞,所述两组孔洞组平行且间隔布置在所述端板在第一方向的两侧端,所述两组孔洞组之间形成用于放置硅片的安装间隙,不同的所述第一孔洞单元对应的所述安装间隙的尺寸不同;所述插片杆用于穿设于所述第一孔洞且可拆卸连接两个所述端板,所述插片杆沿其轴向设有至少两个间隔布置的插槽。2.根据权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,所述插片杆至少有两种,不同的所述插片杆对应的所述插槽的尺寸不同。3.根据权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,所述两组孔洞组沿第一方向镜像分布在所述端板的两侧端。4.根据权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,所述至少两个第一孔洞沿所述第二方向等距间隔布置。5.根据权利要求1所述的硅片花篮,其特征在于,所述端板在第二方向的任意一端设有第二孔洞单元,所述第二孔洞单元包括一个或多个第二孔洞,所述多个第二孔洞沿所述第一方向间隔布置;所述硅片花篮还包括表面设有缓冲垫层的限位杆,所述限位杆用于穿设于所述第二孔洞以可拆卸连接两个所述端板,以限制所述硅片自所述端板设置所述限位杆的一端脱离所述安装间隙。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:马菲陈日强韩士岭李钊
申请(专利权)人:通合新能源金堂有限公司
类型:新型
国别省市:

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