【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏电池,具体涉及一种用于扩散炉的炉门及扩散炉。
技术介绍
1、光伏电池分为晶硅电池和非晶硅电池,晶硅电池一直是主流选择。晶硅电池技术根据硅片掺杂元素的差异分为p型电池和n型电池,当前光伏行业的主流技术路线为p型钝化发射极及背表面电池(perc),其制造工艺的核心步骤为扩散工序,该工序决定了制备的pn结的质量,pn结的均匀性和性能会对后续工序的性能和指标产生影响。
2、目前扩散工序使用的扩散炉一般采用双层炉门结构,外层使用铝制金属炉门构件,内层使用凹形圆盘状石英炉门构件,石英炉门构件与金属炉门构件之间存在的间隙较大,工艺中产生的偏磷酸会聚积在炉门位置,使炉口位置处于富磷状态,严重影响扩散均匀性,再生产时会使炉口位置电池片的方阻严重偏低,炉口、炉尾方阻差异较大,不均匀性严重偏高。在生产过程中,出现炉口、炉尾方阻偏差较大的情况,一般通过调整温度来平衡炉口、炉尾方阻差异。经过长期调整温度,会使炉口和炉尾温度差异过大,影响pn结质量及产线效率。同时,需花费大量人力去调整,增加工作量,并且调整过程中,方阻波动较大,且调整效果不理想。
3、此外,炉门偏磷酸堆积过多,在高温下会融化,进出舟时会滴落至石英舟和硅片上,造成批量不良返工,使不良率增加;污染石英舟,产生石英舟印类el(电致发光)不良,污染的石英舟需提前下线清洗,会影响产能及清洗机药液使用寿命,增加工作量。
技术实现思路
1、本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本技术的一个目的在
2、在本技术的第一个方面,本技术提出了一种用于扩散炉的炉门。根据本技术的实施例,所述扩散炉包括炉管,所述炉管的一端设有开口,所述炉门包括:
3、第一炉门,所述第一炉门适于从所述开口伸入所述炉管内,所述第一炉门具有第一连接件;
4、第二炉门,所述第二炉门适于与所述开口密封连接,所述第二炉门具有第二连接件,所述第二连接件与所述第一连接件卡接,以使所述第一炉门与所述第二炉门固定连接;
5、其中,所述第一炉门与所述第二炉门之间的间隙不大于12mm。
6、根据本技术上述实施例的用于扩散炉的炉门,通过将第一炉门上的第一连接件与第二炉门上的第二连接件卡接,使所述第一炉门与所述第二炉门固定连接,并将第一炉门与第二炉门之间的间隙控制在不大于12mm的范围内,能够使通过炉门进入炉管的气流速度增大,在较大程度上减少偏磷酸在炉门位置聚积,由此,一方面,能够提升炉口与炉尾之间电池片的方阻均匀性,增加方阻稳定性,提高pn结质量及产线效率,提高电池效率,并降低人员工作量;再一方面,有利于降低成本,延长炉门使用寿命;另一方面,可以有效降低产线返工率,稳定良率,并节约人工成本、清洗药液,以及维护或保养时造成的不必要成本。
7、另外,根据本技术上述实施例的用于扩散炉的炉门还可以具有如下附加的技术特征:
8、在本技术的一些实施例中,所述第一炉门具有平板部和设置在所述平板部外周沿的环形侧壁,所述环形侧壁沿靠近所述第二炉门的方向延伸,所述第一连接件包括设置在所述环形侧壁的内侧且沿其周向间隔分布的多个卡槽;所述第二连接件包括设置在所述第二炉门靠近所述第一炉门的一侧且与所述卡槽对应的卡扣,所述卡槽围绕所述第一炉门的中心线转动与所述卡扣卡合。
9、在本技术的一些实施例中,所述第二连接件还包括:设置在所述第二炉门靠近所述第一炉门的一侧的连接部,所述卡扣的一端通过所述连接部与所述第二炉门连接。
10、在本技术的一些实施例中,还包括:定位柱,所述定位柱的一端与所述第二炉门靠近所述第一炉门的一侧连接,所述卡扣上设有定位孔,所述定位柱的另一端穿过所述定位孔且与所述卡扣固定连接。
11、在本技术的一些实施例中,所述定位柱的长度不大于3cm。
12、在本技术的一些实施例中,所述定位柱的两端均设有螺纹,所述第二炉门靠近所述第一炉门的一侧设有螺纹孔,所述定位柱的一端通过所述螺纹孔与所述第二炉门螺纹连接,所述定位柱的另一端与所述卡扣螺纹连接。
13、在本技术的一些实施例中,用于扩散炉的炉门还包括:紧固螺母,所述定位柱的另一端与所述紧固螺母螺纹连接,所述紧固螺母适于调节所述卡扣远离所述连接部的一端与所述第二炉门之间的距离。
14、在本技术的一些实施例中,所述第二炉门上设有多个沿周向均匀分布的进气孔。
15、在本技术的一些实施例中,所述第一炉门为石英炉门,和/或,所述第二炉门为金属炉门。
16、在本技术的第二个方面,本技术提出了一种扩散炉。根据本技术的实施例,该扩散炉具有以上实施例所述的用于扩散炉的炉门。由此,所述扩散炉具有所述用于扩散炉的炉门的所有优点,在此不再赘述。
17、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
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1.一种用于扩散炉的炉门,所述扩散炉包括炉管,所述炉管的一端设有开口,其特征在于,所述炉门包括:
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述第一炉门具有平板部和设置在所述平板部外周沿的环形侧壁,所述环形侧壁沿靠近所述第二炉门的方向延伸,所述第一连接件包括设置在所述环形侧壁的内侧且沿其周向间隔分布的多个卡槽;所述第二连接件包括设置在所述第二炉门靠近所述第一炉门的一侧且与所述卡槽对应的卡扣,所述卡槽围绕所述第一炉门的中心线转动与所述卡扣卡合。
3.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述第二连接件还包括:
4.根据权利要求3所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,还包括:
5.根据权利要求4所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述定位柱的长度不大于3cm。
6.根据权利要求4所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述定位柱的两端均设有螺纹,所述第二炉门靠近所述第一炉门的一侧设有螺纹孔,所述定位柱的一端通过所述螺纹孔与所述第二炉门螺纹连接,所述定位柱的另一端与所述卡扣螺纹连接。
7.根据权利
8.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述第二炉门上设有多个沿周向均匀分布的进气孔。
9.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述第一炉门为石英炉门,
10.一种扩散炉,其特征在于,具有权利要求1-9中任一项所述的用于扩散炉的炉门。
...【技术特征摘要】
1.一种用于扩散炉的炉门,所述扩散炉包括炉管,所述炉管的一端设有开口,其特征在于,所述炉门包括:
2.根据权利要求1所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述第一炉门具有平板部和设置在所述平板部外周沿的环形侧壁,所述环形侧壁沿靠近所述第二炉门的方向延伸,所述第一连接件包括设置在所述环形侧壁的内侧且沿其周向间隔分布的多个卡槽;所述第二连接件包括设置在所述第二炉门靠近所述第一炉门的一侧且与所述卡槽对应的卡扣,所述卡槽围绕所述第一炉门的中心线转动与所述卡扣卡合。
3.根据权利要求2所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,所述第二连接件还包括:
4.根据权利要求3所述的用于扩散炉的炉门,其特征在于,还包括:
5.根据权利要求4所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李玉辉,薛琴如,魏玉明,冉东,席豪,吕梵丽,赵永志,唐明剑,赵文斌,
申请(专利权)人:通合新能源金堂有限公司,
类型:新型
国别省市:
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