清洗机槽体溢流结构制造技术

本实用新型专利技术公开清洗机槽体溢流结构，涉及硅片清洗领域。该清洗机槽体溢流结构，进料槽体的侧面依次安装有多组流转槽体，进料槽体和流转槽体的连接处顶部开设有溢流槽，进料槽体的内侧壁上安装有进水管，流转槽体的末端侧面开设有出水槽。该清洗机槽体溢流结构，通过进水管向进料槽体内部进行注水，当进料槽体内部的水注满后，水会通过溢流槽向流转槽体内部流动，同时水在不断注入后会通过出水槽流入到溢流盒内部，并最终通过落水管向外排出然后进行二次流转进入到进水管的内部，保证上层较为清澈的水源能够多次流转循环使用。澈的水源能够多次流转循环使用。澈的水源能够多次流转循环使用。

【技术实现步骤摘要】
清洗机槽体溢流结构


[0001]本技术涉及硅片清洗
，具体为清洗机槽体溢流结构。

技术介绍

[0002]在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态附着，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，而清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
[0003]现在大多数采用一体式清洗机进行清洗，在清洗的过程中，针对于其表面不同类型的杂质，通常采用多个水槽进行分步清洗，但是多个清洗槽之间没有设置流转，在清洗时对于水源浪费较为严重，缺乏相应的节水系统，因此需要提供一种清洗机槽体溢流结构以解决上述问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了清洗机槽体溢流结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：清洗机槽体溢流结构，包括进料槽体，所述进料槽体的侧面依次安装有多组流转槽体，所述进料槽体和流转槽体的连接处顶部开设有溢流槽，所述进料槽体的内侧壁上安装有进水管，所述流转槽体的末端侧面开设有出水槽。
[0008]优选的，所述进料槽体和流转槽体的下表面中部均开设有排渣槽，所述排渣槽的一端下表面固定安装有导水管，所述排渣槽的另一端固定安装有挡水盖。
[0009]优选的，所述挡水盖的外表面固定安装有锁紧铰链，所述锁紧铰链的一端活动铰接有锁紧杆，所述锁紧铰链的另一端开设有锁紧卡槽。
[0010]优选的，所述流转槽体的侧面固定连接有曝气管，所述流转槽体的内底部固定安装有曝气喷头，所述曝气管与曝气喷头内部相连通，所述曝气喷头的顶部安装有挡板。
[0011]优选的，所述进料槽体和流转槽体的底端内部均固定安装有电热管，所述进料槽体和流转槽体的侧面均固定连接有喷淋管，所述进料槽体和流转槽体的内侧壁上固定连接有安装条。
[0012]优选的，所述流转槽体的末端固定安装有溢流盒，所述出水槽正对溢流盒，所述溢流盒的外表面固定连接有落水管。
[0013]本技术公开了清洗机槽体溢流结构，其具备的有益效果如下：
[0014]1、该清洗机槽体溢流结构，通过进水管向进料槽体内部进行注水，当进料槽体内部的水注满后，水会通过溢流槽向流转槽体内部流动，最终使得进料槽体和流转槽体内部
均注满水，同时水在不断注入后会通过出水槽流入到溢流盒内部，并最终通过落水管向外排出然后进行二次流转进入到进水管的内部，保证上层较为清澈的水源能够多次流转使用，节约水源。
[0015]2、该清洗机槽体溢流结构，在清洗过程中，清洗出来的杂质会最终沉积到排渣槽内部，此时通过从导水管处外接水源，然后将锁紧铰链取下，将挡水盖打开，此时在导水管的进水导流作用下将沉积在排渣槽内部的杂质向外排出，方便进行杂质清理。
附图说明
[0016]图1为本技术整体正面结构示意图；
[0017]图2为本技术整体背面结构示意图；
[0018]图3为本技术进料槽体和流转槽体内部结构示意图；
[0019]图4为本技术进料槽体和流转槽体下表面结构示意图；
[0020]图5为本技术图4的A部分结构放大图。
[0021]图中：1、进料槽体；2、流转槽体；3、导水管；4、进水管；5、溢流槽；6、挡板；7、排渣槽；8、电热管；9、曝气管；10、安装条；11、曝气喷头；12、锁紧杆；13、挡水盖；14、锁紧铰链；15、锁紧卡槽；16、喷淋管；17、出水槽；18、落水管；19、溢流盒。
具体实施方式
[0022]本技术实施例公开清洗机槽体溢流结构，如图1
‑
5所示，包括进料槽体1，进料槽体1的侧面依次安装有多组流转槽体2，进料槽体1和流转槽体2的连接处顶部开设有溢流槽5，进料槽体1的内侧壁上安装有进水管4，流转槽体2的末端侧面开设有出水槽17。
[0023]参照附图3
‑
5，进料槽体1和流转槽体2的下表面中部均开设有排渣槽7，排渣槽7的一端下表面固定安装有导水管3，排渣槽7的另一端固定安装有挡水盖13，挡水盖13的外表面固定安装有锁紧铰链14，锁紧铰链14的一端活动铰接有锁紧杆12，锁紧铰链14的另一端开设有锁紧卡槽15，在清洗过程中，清洗出来的杂质会最终沉积到排渣槽7内部，此时通过从导水管3处外接水源，然后将锁紧铰链14取下，将挡水盖13打开，此时在导水管3的进水导流作用下将沉积在排渣槽7内部的杂质向外排出。
[0024]参照附图3，流转槽体2的侧面固定连接有曝气管9，流转槽体2的内底部固定安装有曝气喷头11，曝气管9与曝气喷头11内部相连通，曝气喷头11的顶部安装有挡板6，通过在曝气管9的外端连接有曝气设备，使得曝气喷头11从底部对流转槽体2内部进行曝气清洗。
[0025]参照附图1和3，进料槽体1和流转槽体2的底端内部均固定安装有电热管8，进料槽体1和流转槽体2的侧面均固定连接有喷淋管16，进料槽体1和流转槽体2的内侧壁上固定连接有安装条10，通过电热管8对水体进行加热，使得水体温度升高，提升清洗效果。
[0026]参照附图1
‑
2，流转槽体2的末端固定安装有溢流盒19，出水槽17正对溢流盒19，溢流盒19的外表面固定连接有落水管18，当进料槽体1和流转槽体2内部均注满水，同时水在不断注入后会通过出水槽17流入到溢流盒19内部，并最终通过落水管18向外排出然后进行二次流转进入到进水管4的内部循环使用。
[0027]工作原理：该装置在使用时，通过将存放有硅片的插片花篮放置到进料槽体1的内部，然后通过进水管4向进料槽体1内部进行注水，当进料槽体1内部的水注满后，水会通过
溢流槽5向流转槽体2内部流动，最终使得进料槽体1和流转槽体2内部均注满水，同时水在不断注入后会通过出水槽17流入到溢流盒19内部，并最终通过落水管18向外排出然后进行二次流转进入到进水管4的内部，同时插片花篮依次在多个流转槽体2内部进行逐级清洗；
[0028]并且在使用的过程中通过在曝气管9的外端连接有曝气设备，使得曝气喷头11从底部对流转槽体2内部进行曝气清洗，同时曝气过程中通过电热管8对水体进行加热，使得水体温度升高，提升清洗效果，同时在清洗过程中，清洗出来的杂质会最终沉积到排渣槽7内部，此时通过从导水管3处外接水源，然后将锁紧铰链14取下，将挡水盖13打开，此时在导水管3的进水导流作用下将沉积在排渣槽7内部的杂质向外排出。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.清洗机槽体溢流结构，包括进料槽体(1)，其特征在于：所述进料槽体(1)的侧面依次安装有多组流转槽体(2)，所述进料槽体(1)和流转槽体(2)的连接处顶部开设有溢流槽(5)，所述进料槽体(1)的内侧壁上安装有进水管(4)，所述流转槽体(2)的末端侧面开设有出水槽(17)。2.根据权利要求1所述的清洗机槽体溢流结构，其特征在于：所述进料槽体(1)和流转槽体(2)的下表面中部均开设有排渣槽(7)，所述排渣槽(7)的一端下表面固定安装有导水管(3)，所述排渣槽(7)的另一端固定安装有挡水盖(13)。3.根据权利要求2所述的清洗机槽体溢流结构，其特征在于：所述挡水盖(13)的外表面固定安装有锁紧铰链(14)，所述锁紧铰链(14)的一端活动铰接有锁紧杆(12)，所述锁紧铰链(14)的另一端开设有锁紧卡槽(15)。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：王进，张进元，王永利，胡宏峰，
申请(专利权)人：上海珺竹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：