硅片碎片检测机构制造技术

本实用新型专利技术公开硅片碎片检测机构，涉及硅片生产加工领域。该硅片碎片检测机构，包括龙门架，龙门架的顶端固定安装有检测相机，龙门架的底端两侧均固定安装有固定组件，固定组件的内侧壁活动安装有照明灯。该硅片碎片检测机构，在使用时，硅片从固定组件的下方经过，此时照明灯对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件下方时，检测相机捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。同时提升检测的效率。同时提升检测的效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片碎片检测机构


[0001]本技术涉及硅片生产加工
，具体为硅片碎片检测机构。

技术介绍

[0002]在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
[0003]而在实际操作的过程中，为了提高整体清洗过程的速度，往往采用自动化机械设备替代人工进行清洗操作，但是在清洗的过程中，硅片经由输送部件进行移动，难免存在与设备发生碰撞或者是前期生产未发觉到的瑕疵和残缺，如果不及时查找出来，后期应用到半导体器件上，会直接导致该半导体器件为不合格产品，耗费更多的人力和成本，而传统的人工检测效率非常慢，而且精准度较差，因此需要提供一种硅片碎片检测机构，以此解决上述问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了硅片碎片检测机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：硅片碎片检测机构，包括龙门架，所述龙门架的顶端固定安装有检测相机，所述龙门架的底端两侧均固定安装有固定组件，所述固定组件的内侧壁活动安装有照明灯。
[0008]优选的，所述龙门架包括支撑柱、顶部横梁、安装杆和支撑杆，所述顶部横梁固定安装在支撑柱的顶端，所述安装杆固定安装在支撑柱的底端，所述支撑杆的两端分别固定安装在支撑柱和安装杆的外表面。
[0009]优选的，所述检测相机的侧面固定安装有安装座，所述安装座通过螺栓固定安装在顶部横梁的外表面。
[0010]优选的，所述固定组件的背面固定安装有装配板，所述装配板固定安装在支撑柱的外表面，所述安装杆的底部固定安装有支撑垫板。
[0011]优选的，所述固定组件包括固定板、安装架和挡片，所述固定板固定安装在装配板的外表面，所述安装架固定安装在固定板的两侧，所述挡片固定连接在安装架的端部。
[0012]优选的，所述安装架的内部且靠近固定板的一端固定安装有限位板，所述照明灯的两端分别转动连接在限位板和挡片的内部。
[0013]优选的，所述照明灯的两端均固定连接有限位轴，所述限位板和挡片的外表面均开设有弧形槽，所述限位轴滑动连接在弧形槽的内部，所述照明灯的外表面固定安装有电
源线。
[0014]本技术公开了硅片碎片检测机构，其具备的有益效果如下：
[0015]1、该硅片碎片检测机构，通过将龙门架整体架设在插片清洗一体机上，通过螺栓将支撑垫板与清洗机主体进行安装，然后通过将装配板安装在支撑柱外表面适合的高度，在使用时，硅片从固定组件的下方经过，此时照明灯对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件下方时，检测相机捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。
[0016]2、该硅片碎片检测机构，通过在照明灯的两端均固定连接有限位轴，限位板和挡片的外表面均开设有弧形槽，限位轴滑动连接在弧形槽的内部，在使用时通过转动照明灯，使得限位轴在弧形槽内部转动，以此调整照明灯照明角度。
附图说明
[0017]图1为本技术整体结构示意图；
[0018]图2为本技术整体结构爆炸图；
[0019]图3为本技术固定组件外表面结构爆炸图；
[0020]图4为本技术检测相机外表面结构示意图。
[0021]图中：1、龙门架；101、支撑柱；102、顶部横梁；103、安装杆；104、支撑杆；2、固定组件；201、固定板；202、安装架；203、挡片；3、检测相机；4、支撑垫板；5、装配板；6、照明灯；7、限位板；8、电源线；9、弧形槽；10、安装座；11、限位轴。
具体实施方式
[0022]本技术实施例公开硅片碎片检测机构，如图1
‑
4所示，包括龙门架1，龙门架1的顶端固定安装有检测相机3，龙门架1的底端两侧均固定安装有固定组件2，固定组件2的内侧壁活动安装有照明灯6。
[0023]参照附图2，龙门架1包括支撑柱101、顶部横梁102、安装杆103和支撑杆104，顶部横梁102固定安装在支撑柱101的顶端，安装杆103固定安装在支撑柱101的底端，支撑杆104的两端分别固定安装在支撑柱101和安装杆103的外表面，提升龙门架1整体的结构强度和支撑强度。
[0024]参照附图2和4，检测相机3的侧面固定安装有安装座10，安装座10通过螺栓固定安装在顶部横梁102的外表面，检测相机3的输出端竖直向下正对固定组件2，同时检测相机3采用CCD视觉检测，可检测小于三毫米的缺角崩边。
[0025]参照附图2
‑
3，固定组件2的背面固定安装有装配板5，装配板5固定安装在支撑柱101的外表面，安装杆103的底部固定安装有支撑垫板4。
[0026]参照附图3，固定组件2包括固定板201、安装架202和挡片203，固定板201固定安装在装配板5的外表面，安装架202固定安装在固定板201的两侧，挡片203固定连接在安装架202的端部，两组固定组件2对称设置在支撑柱101的两侧，提高整体平衡性。
[0027]参照附图3，安装架202的内部且靠近固定板201的一端固定安装有限位板7，照明灯6的两端分别转动连接在限位板7和挡片203的内部，照明灯6的两端均固定连接有限位轴
11，限位板7和挡片203的外表面均开设有弧形槽9，限位轴11滑动连接在弧形槽9的内部，照明灯6的外表面固定安装有电源线8，通过转动照明灯6，使得限位轴在11弧形槽9内部转动，以此调整照明灯6照明角度，电源线8用于与外部电源进行电性相连接。
[0028]工作原理：该装置在使用时，通过将龙门架1整体架设在插片清洗一体机上，通过螺栓将支撑垫板4与清洗机主体进行安装，然后通过将装配板5安装在支撑柱101外表面适合的高度，然后将电源线8与外部电源进行电性相连接，同时通过转动照明灯6，使得限位轴在11弧形槽9内部转动，以此调整照明灯6照明角度；
[0029]在使用时，硅片在清洗机上清洗结束后，通过清洗机的输送机构将硅片输送至插片机位置，在这个过程中，硅片从固定组件2的下方经过，此时照明灯6对硅片进行照明，使得硅片表面的细微痕迹能够很好地被检测相机3捕捉到，当有瑕疵的硅片经过固定组件2下方时，检测相机3捕捉到瑕疵情况并给出反馈，使得清洗机的输送部件做出反应直接将该瑕疵硅片剔除掉，以此提高硅片的成品合格率，同时提升检测的效率。
[0030]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.硅片碎片检测机构，包括龙门架(1)，其特征在于；所述龙门架(1)的顶端固定安装有检测相机(3)，所述龙门架(1)的底端两侧均固定安装有固定组件(2)，所述固定组件(2)的内侧壁活动安装有照明灯(6)。2.根据权利要求1所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述龙门架(1)包括支撑柱(101)、顶部横梁(102)、安装杆(103)和支撑杆(104)，所述顶部横梁(102)固定安装在支撑柱(101)的顶端，所述安装杆(103)固定安装在支撑柱(101)的底端，所述支撑杆(104)的两端分别固定安装在支撑柱(101)和安装杆(103)的外表面。3.根据权利要求2所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述检测相机(3)的侧面固定安装有安装座(10)，所述安装座(10)通过螺栓固定安装在顶部横梁(102)的外表面。4.根据权利要求3所述的硅片碎片检测机构，其特征在于：所述固定组件(2)的背面固定安装有装配板(5)，所述装配板(5)固定安装在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王进，张进元，王永利，胡宏峰，
申请(专利权)人：上海珺竹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：