硅片入篮机构制造技术

本实用新型专利技术公开硅片入篮机构，涉及硅片生产领域。该硅片入篮机构，包括全封闭模组和滑动载板，全封闭模组的顶部固定安装有伺服电机，全封闭模组的外表面设有插片花篮，滑动载板的顶端两侧均设有定位滑轨，定位滑轨的外表面滑动连接有推料挡杆，滑动载板的底端固定安装有花篮载台，花篮载台的一侧设有下对夹，两组定位滑轨之间设有上对夹。该硅片入篮机构，在使用时通过上对夹和下对夹对插片花篮进行精准定位，避免在插片时出现偏差导致插片失败的情况发生。的情况发生。的情况发生。

【技术实现步骤摘要】
硅片入篮机构


[0001]本技术涉及硅片生产
，具体为硅片入篮机构。

技术介绍

[0002]在硅片生产的过程中，硅片必须经过严格清洗，目的在于清除表面污染杂质，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，在清洗结束后通过插片机插入到硅片花篮中。
[0003]而现在的硅片在插片入篮的时候，需要将硅片精准的插入到花篮中，然后将装载硅片的花篮从插片机上取下并更换上新的花篮继续进行插片，但是在实际操作过程中，需要保证花篮处于插片机上精准定位，同时花篮在插片机中向上移动的过程中必须保持匀速且移动间距恒定，否则容易在插片时出现偏差导致插片失败，产生卡片的情况，特此提供一种硅片入篮机构以解决上述问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了硅片入篮机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：硅片入篮机构，包括：
[0008]全封闭模组，所述全封闭模组的顶部固定安装有伺服电机，所述全封闭模组的外表面设有插片花篮；
[0009]滑动载板，所述滑动载板的顶端两侧均设有定位滑轨，所述定位滑轨的外表面滑动连接有推料挡杆，所述滑动载板的底端固定安装有花篮载台，所述花篮载台的一侧设有下对夹，两组所述定位滑轨之间设有上对夹。
[0010]优选的，所述全封闭模组的外表面滑动连接有滑动连接座，所述伺服电机与滑动连接座传动连接，所述滑动载板固定安装在滑动连接座的外表面。
[0011]优选的，所述插片花篮包括底板、顶板、立柱和插片定位架，所述顶板和底板分别固定连接在立柱的上下两端，所述插片定位架固定连接在立柱的内侧。
[0012]优选的，所述底板与花篮载台的上表面相接触，所述顶板的两侧下表面分别与定位滑轨的上表面相接触。
[0013]优选的，所述滑动连接座的侧面固定连接有定位块，所述全封闭模组的侧面固定安装有定位条，所述定位块滑动连接在定位条的外表面。
[0014]优选的，所述滑动载板的外表面固定连接有电动液压杆，所述推料挡杆的外表面固定连接有推料立杆，所述电动液压杆的输出端固定安装在推料立杆的外表面，所述推料立杆的另一侧与立柱相抵。
[0015]优选的，所述花篮载台的上表面一侧固定安装有定位挡条，所述定位挡条与底板
的一侧相抵，所述底板的另一侧与下对夹相抵。
[0016]本技术公开了硅片入篮机构，其具备的有益效果如下：
[0017]1、该硅片入篮机构，通过设置上对夹和下对夹，在使用时启动三组电动伸缩杆，使得底部的电动伸缩杆带动定位挡板向靠近定位挡条一侧移动，同时顶部的两组电动伸缩杆带动两组定位滑轨5向中部进行小幅度移动，此时插片花篮的顶端被两组定位滑轨夹持住，同时插片花篮的底端被定位挡条和定位挡片夹持住完成安装定位。
[0018]2、该硅片入篮机构，在硅片插片完成后，通过电动液压杆将推料立杆向外推动，使得推料挡杆沿着定位滑轨向外移动，最终将插片花篮向外顶出，方便将装载有硅片的花篮取走。
附图说明
[0019]图1为本技术整体结构示意图；
[0020]图2为本技术整体结构爆炸图；
[0021]图3为本技术插片花篮结构示意图；
[0022]图4为本技术滑动载板外表面结构示意图；
[0023]图5为本技术滑动载板背面结构示意图；
[0024]图6为本技术全封闭模组外表面结构示意图。
[0025]图中：1、全封闭模组；2、插片花篮；201、底板；202、顶板；203、立柱；204、插片定位架；3、滑动载板；4、花篮载台；5、定位滑轨；6、推料挡杆；7、推料立杆；8、电动液压杆；9、定位挡条；10、下对夹；11、上对夹；12、伺服电机；13、滑动连接座；14、定位条；15、定位块。
具体实施方式
[0026]本技术实施例公开硅片入篮机构，如图1
‑
6所示，包括全封闭模组1，全封闭模组1的顶部固定安装有伺服电机12，全封闭模组1的外表面设有插片花篮2；
[0027]同时该装置还包括滑动载板3，滑动载板3的顶端两侧均设有定位滑轨5，定位滑轨5的外表面滑动连接有推料挡杆6，滑动载板3的底端固定安装有花篮载台4，花篮载台4的一侧设有下对夹10，两组定位滑轨5之间设有上对夹11。
[0028]参照附图1、4和6，全封闭模组1的外表面滑动连接有滑动连接座13，伺服电机12与滑动连接座13传动连接，滑动载板3固定安装在滑动连接座13的外表面。
[0029]参照附图3，插片花篮2包括底板201、顶板202、立柱203和插片定位架204，顶板202和底板201分别固定连接在立柱203的上下两端，插片定位架204固定连接在立柱203的内侧。
[0030]参照附图2
‑
4，底板201与花篮载台4的上表面相接触，顶板202的两侧下表面分别与定位滑轨5的上表面相接触。
[0031]参照附图6，滑动连接座13的侧面固定连接有定位块15，全封闭模组1的侧面固定安装有定位条14，定位块15滑动连接在定位条14的外表面，以此保证插片花篮2在上下移动时不会出现倾斜。
[0032]参照附图4，滑动载板3的外表面固定连接有电动液压杆8，推料挡杆6的外表面固定连接有推料立杆7，电动液压杆8的输出端固定安装在推料立杆7的外表面，推料立杆7的
另一侧与立柱203相抵，通过电动液压杆8将推料立杆7向外推动，使得推料挡杆6沿着定位滑轨5向外移动，最终将插片花篮2向外顶出，推料立杆7的外表面设置有缓冲胶条，用于硅片进入插片花篮2时缓冲硅片，避免硅片撞到花篮底杆，通过电动液压杆连接伸出缩进。
[0033]参照附图2、4和5，花篮载台4的上表面一侧固定安装有定位挡条9，定位挡条9与底板201的一侧相抵，底板201的另一侧与下对夹10相抵，11上对夹包括两组电动伸缩杆，通过将电动伸缩杆安装在滑动载板3的外表面，然后将两组定位滑轨5与电动伸缩杆的输出端进行进行安装，在使用时两组电动伸缩杆带动两组定位滑轨5向中部或者两侧进行小幅度移动，同时下对夹10包括一组电动伸缩杆和一组定位挡板，电动伸缩杆安装在花篮载台4的内部，定位挡板设置在花篮载台4的侧面，在使用时电动伸缩杆带动定位挡板向靠近定位挡条9一侧移动。
[0034]工作原理：该装置在使用时，通过机械臂将插片花篮2放置到花篮载台4的上表面，然后通过启动三组电动伸缩杆，使得底部的电动伸缩杆带动定位挡板向靠近定位挡条9一侧移动，同时顶部的两组电动伸缩杆带动两组定位滑轨5向中部进行小幅度移动，此时插片花篮2的顶端被两组定位滑轨5夹持住，同时插片花篮2的底端被定位挡条9和定位挡片夹持住完成安装定位；
[0035]在使用时，硅片依次向插片定位架20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.硅片入篮机构，其特征在于，包括：全封闭模组(1)，所述全封闭模组(1)的顶部固定安装有伺服电机(12)，所述全封闭模组(1)的外表面设有插片花篮(2)；滑动载板(3)，所述滑动载板(3)的顶端两侧均设有定位滑轨(5)，所述定位滑轨(5)的外表面滑动连接有推料挡杆(6)，所述滑动载板(3)的底端固定安装有花篮载台(4)，所述花篮载台(4)的一侧设有下对夹(10)，两组所述定位滑轨(5)之间设有上对夹(11)。2.根据权利要求1所述的硅片入篮机构，其特征在于：所述全封闭模组(1)的外表面滑动连接有滑动连接座(13)，所述伺服电机(12)与滑动连接座(13)传动连接，所述滑动载板(3)固定安装在滑动连接座(13)的外表面。3.根据权利要求1所述的硅片入篮机构，其特征在于：所述插片花篮(2)包括底板(201)、顶板(202)、立柱(203)和插片定位架(204)，所述顶板(202)和底板(201)分别固定连接在立柱(203)的上下两端，所述插片定位架(204)固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：王进，张进元，王永利，胡宏峰，
申请(专利权)人：上海珺竹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：