全自动插片机水中分片机构制造技术

本实用新型专利技术公开全自动插片机水中分片机构，涉及硅片生产加工领域。该全自动插片机水中分片机构，所述分片顶板的两侧均设有侧喷嘴，所述分片顶板的顶部安装有传动转轴，所述分片顶板的两侧外表面分别转动连接有第一传动轮和第二传动轮，所述第一传动轮和第二传动轮均与传动转轴传动连接，分片顶板的下表面设有分片底板。该全自动插片机水中分片机构，水源通过进水软管首先进入到进水板的内部，然后通过喷水孔对硅片的下表面进行喷水，同时水源还通过侧喷孔对硅片的侧面进行喷水，此时在水流的冲击作用下，有效避免硅片粘附到一起导致出现卡片的情况。出现卡片的情况。出现卡片的情况。

【技术实现步骤摘要】
全自动插片机水中分片机构


[0001]本技术涉及硅片生产加工
，具体为全自动插片机水中分片机构。

技术介绍

[0002]在硅片加工后，表面存在大量的杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致制作的半导体器件存在各种缺陷，因此通常需要对硅片进行清洗。
[0003]而硅片在清洗的过程中，一般是通过清洗机完成的，在清洗结束后进行插片，但是在实际使用时，硅片通过输送机构输送至插片机位置时，由于输送速度较快，硅片很容易因为插片不及时而粘附到一起，使得整个装置出现卡片的情况，同时也会使得硅片之间发生碰撞，容易损坏硅片，因此需要提供一种全自动插片机水中分片机构以解决上述问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了全自动插片机水中分片机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：全自动插片机水中分片机构，包括：
[0008]分片顶板，所述分片顶板的两侧均设有侧喷嘴，所述分片顶板的顶部安装有传动转轴，所述分片顶板的两侧外表面分别转动连接有第一传动轮和第二传动轮，所述第一传动轮和第二传动轮均与传动转轴传动连接；
[0009]分片底板，所述分片底板包括进水板、喷水板、第三传动轮、喷水孔和进水孔，所述喷水板固定连接在进水板的侧面，所述第三传动轮转动连接在喷水板的侧面，所述进水孔开设于进水板的底部，所述喷水孔开设于喷水板的外表面。
[0010]优选的，所述分片顶板的两侧均安装有支架板，所述喷水板的两侧均固定安装有安装架，所述安装架的另一侧固定安装在支架板的外表面。
[0011]优选的，所述支架板的一侧固定安装有电机架，所述电机架的内部安装有伺服电机，所述传动转轴的两端分别转动连接在两组支架板之间，所述传动转轴与伺服电机的输出端固定安装。
[0012]优选的，所述传动转轴的外表面固定套接有驱动轮，所述分片顶板的前侧固定安装有分片挡块，所述第一传动轮转动连接在分片挡块的两侧，所述驱动轮通过皮带与第一传动轮和第二传动轮传动连接。
[0013]优选的，所述侧喷嘴的顶部固定安装有连接板，所述连接板的一侧与支架板固定安装，所述连接板的另一侧固定安装在分片顶板的上表面。
[0014]优选的，所述侧喷嘴的前侧开设有进水口，两组所述侧喷嘴相对的一侧均开设有
侧喷孔。
[0015]本技术公开了全自动插片机水中分片机构，其具备的有益效果如下：
[0016]1、该全自动插片机水中分片机构，水源通过进水软管首先进入到进水板的内部，然后通过进水板进入到喷水板内部并最终通过喷水孔对硅片的下表面进行喷水，同时水源还通过进水软管进入到侧喷嘴的内部，然后通过侧喷孔对硅片的侧面进行喷水，此时在水流的冲击作用下，有效避免硅片粘附到一起导致出现卡片的情况。
[0017]2、该全自动插片机水中分片机构，驱动轮通过皮带与第一传动轮和第二传动轮传动连接，通过启动伺服电机，使得传动转轴通过皮带带动第一传动轮和第二传动轮进行转动，当水流冲击硅片时，皮带对硅片的移动进行导向。
附图说明
[0018]图1为本技术整体上表面结构示意图；
[0019]图2为本技术整体下表面结构示意图；
[0020]图3为本技术分片顶板外表面结构示意图；
[0021]图4为本技术分片底板外表面结构示意图；
[0022]图5为本技术侧喷嘴外表面结构示意图。
[0023]图中：1、分片顶板；2、分片底板；201、进水板；202、喷水板；203、第三传动轮；204、喷水孔；205、进水孔；3、侧喷嘴；4、支架板；5、传动转轴；6、电机架；7、伺服电机；8、驱动轮；9、连接板；10、进水口；11、分片挡块；12、第一传动轮；13、第二传动轮；14、侧喷孔；15、安装架。
具体实施方式
[0024]本技术实施例公开全自动插片机水中分片机构，如图1
‑
5所示，包括分片顶板1，分片顶板1的两侧均设有侧喷嘴3，分片顶板1的顶部安装有传动转轴5，分片顶板1的两侧外表面分别转动连接有第一传动轮12和第二传动轮13，第一传动轮12和第二传动轮13均与传动转轴5传动连接；
[0025]与此同时，该装置还包括分片底板2，分片底板2包括进水板201、喷水板202、第三传动轮203、喷水孔204和进水孔205，喷水板202固定连接在进水板201的侧面，第三传动轮203转动连接在喷水板202的侧面，进水孔205开设于进水板201的底部，喷水孔204开设于喷水板202的外表面。
[0026]参照附图2，分片顶板1的两侧均安装有支架板4，喷水板202的两侧均固定安装有安装架15，安装架15的另一侧固定安装在支架板4的外表面，保证分片顶板1和分片底板2之间的距离恒定。
[0027]参照附图2，支架板4的一侧固定安装有电机架6，电机架6的内部安装有伺服电机7，传动转轴5的两端分别转动连接在两组支架板4之间，传动转轴5与伺服电机7的输出端固定安装，传动转轴5的外表面固定套接有驱动轮8，分片顶板1的前侧固定安装有分片挡块11，第一传动轮12转动连接在分片挡块11的两侧，驱动轮8通过皮带与第一传动轮12和第二传动轮13传动连接，通过启动伺服电机7，使得传动转轴5通过皮带带动第一传动轮12和第二传动轮13进行转动。
[0028]参照附图3，侧喷嘴3的顶部固定安装有连接板9，连接板9的一侧与支架板4固定安装，连接板9的另一侧固定安装在分片顶板1的上表面，保持侧喷嘴3的高度和角度正对分片顶板1的下表面两侧。
[0029]参照附图5，侧喷嘴3的前侧开设有进水口10，两组侧喷嘴3相对的一侧均开设有侧喷孔14，通过在进水口10的外表面安装一组进水软管与外部增压水源进行连接。
[0030]工作原理：该装置在使用时，通过支架板4将该装置安装在硅片插片机与硅片清洗机之间，然后在第三传动轮203与清洗机之间安装有传输皮带，同时进水口10和进水孔205的外表面均安装有进水软管；
[0031]然后通过启动伺服电机7，使得传动转轴5通过皮带带动第一传动轮12和第二传动轮13进行转动，在使用时清洗机上的硅片通过传输皮带移动至分片顶板1和分片底板2之间，此时外部水源通过进水软管首先进入到进水板201的内部，然后通过进水板201进入到喷水板202内部并最终通过喷水孔204对硅片的下表面进行喷水，同时外部水源还通过进水软管进入到侧喷嘴3的内部，然后通过侧喷孔14对硅片的侧面进行喷水，此时在水流的冲击作用下，有效避免硅片粘附到一起导致出现卡片的情况。
[0032]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.全自动插片机水中分片机构，其特征在于，包括：分片顶板(1)，所述分片顶板(1)的两侧均设有侧喷嘴(3)，所述分片顶板(1)的顶部安装有传动转轴(5)，所述分片顶板(1)的两侧外表面分别转动连接有第一传动轮(12)和第二传动轮(13)，所述第一传动轮(12)和第二传动轮(13)均与传动转轴(5)传动连接；分片底板(2)，所述分片底板(2)包括进水板(201)、喷水板(202)、第三传动轮(203)、喷水孔(204)和进水孔(205)，所述喷水板(202)固定连接在进水板(201)的侧面，所述第三传动轮(203)转动连接在喷水板(202)的侧面，所述进水孔(205)开设于进水板(201)的底部，所述喷水孔(204)开设于喷水板(202)的外表面。2.根据权利要求1所述的全自动插片机水中分片机构，其特征在于：所述分片顶板(1)的两侧均安装有支架板(4)，所述喷水板(202)的两侧均固定安装有安装架(15)，所述安装架(15)的另一侧固定安装在支架板(4)的外表面。3.根据权利要求2所述的全自动插片...

【专利技术属性】
技术研发人员：王进，张进元，王永利，胡宏峰，
申请(专利权)人：上海珺竹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：