全自动硅片输送机构制造技术

本实用新型专利技术公开全自动硅片输送机构，涉及硅片生产领域。该全自动硅片输送机构，输送机主体的一端安装有上料机，输送机主体的另一端安装有分片机，输送机主体的内部依次安装有第一传输皮带、第二传输皮带和第三传输皮带，电动液压杆的输出端传动连接有转动杆，转动杆的外表面活动铰接有连接杆，连接杆的顶端固定连接有活动传动轴。该全自动硅片输送机构，当存在瑕疵的硅片经过第一传输皮带时，电动液压杆的输出端向外伸出，使得转动杆转动，此时连接条以第二传动轴为轴心向下转动，使得第一传输皮带朝下，此时将该存在瑕疵的硅片向下传输脱离输送机主体。离输送机主体。离输送机主体。

【技术实现步骤摘要】
全自动硅片输送机构


[0001]本技术涉及硅片生产
，具体为全自动硅片输送机构。

技术介绍

[0002]在半导体器件的生产的过程中，其主要原材料硅片必须经过严格清洗，目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷，清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
[0003]在清洗过程中，一般采用流水线式的自动清洗机对硅片的两侧均进行清洗，然后进行插片，同时在这个过程中，经常会存在一些不合格的硅片存在，这些不合格的硅片一般都是在输送过程中进行甄别筛选，将不合格的剔除，而常见的方式是通过人工或者机械臂进行剔除，人工出料效率较低，而机械臂去剔除则需要非常精准的定位和抓取设计，这使得生产成本大大降低，因此需要提供一种全自动硅片输送机构以解决上述问题。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术公开了全自动硅片输送机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：全自动硅片输送机构，包括：
[0008]输送机主体，所述输送机主体的一端安装有上料机，所述输送机主体的另一端安装有分片机，所述输送机主体的内部依次安装有第一传输皮带、第二传输皮带和第三传输皮带；
[0009]电动液压杆，所述电动液压杆的输出端传动连接有转动杆，所述转动杆的外表面活动铰接有连接杆，所述连接杆的顶端固定连接有活动传动轴。
[0010]优选的，所述电动液压杆固定安装在输送机主体的外表面，所述输送机主体的侧面固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定安装有第二传动轴，所述第二传动轴转动连接在输送机主体的内部，所述第二传动轴通过第一传输皮带与活动传动轴传动连接。
[0011]优选的，所述第二传动轴的两端外表面均活动套接有连接条，所述活动传动轴的两端分别转动连接在两组连接条的外表面，所述电动液压杆的输出端活动铰接有传动连接片。
[0012]优选的，所述传动连接片的另一端固定套接在活动传动轴的端部外表面，所述活动传动轴的中部固定连接有固定条，所述连接杆的底端与固定条活动铰接。
[0013]优选的，所述输送机主体的侧面固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机的
输出端固定安装有第一传动轴，输送机主体的内部转动连接有第三传动轴，所述第一传动轴通过第二传输皮带与第三传动轴传动连接，所述分片机的下表面设有下料杆，所述第三传动轴通过第三传输皮带与下料杆传动连接。
[0014]优选的，所述输送机主体的侧面固定安装有第三伺服电机，所述第三伺服电机的输出端固定安装有进料转轴，所述进料转轴通过皮带与上料机传动连接。
[0015]优选的，所述输送机主体的内部且位于进料转轴的侧面固定安装有上喷淋杆，所述上喷淋杆的外表面固定安装有喷淋头，所述输送机主体的内部且位于上喷淋杆的下方安装有下喷淋杆。
[0016]本技术公开了全自动硅片输送机构，其具备的有益效果如下：
[0017]1、该全自动硅片输送机构，当硅片经过第一传输皮带时，如果检测出该硅片存在瑕疵，此时输送机主体内部的控制系统会自动控制电动液压杆的输出端向外伸出，并通过传动连接片带动转动杆转动，此时转动杆通过连接杆带动活动传动轴向下移动，此时连接条以第二传动轴为轴心向下转动，使得第一传输皮带朝下，此时将该存在瑕疵的硅片向下传输脱离输送机主体，完成选片。
[0018]2、该全自动硅片输送机构，通过将硅片放置到上料机上，通过上料机上表面的皮带将硅片向输送机主体内部输送，并且硅片依次通过第一传输皮带、第二传输皮带和第三传输皮带输送至分片机位置进行下料，完成硅片的输送，并且在输送过程中，当硅片经过第一传输皮带上表面时，此时通过下喷淋杆和上喷淋杆外表面的喷淋头对硅片进行进一步的喷淋清洗。
附图说明
[0019]图1为本技术整体上表面结构示意图；
[0020]图2为本技术整体下表面结构示意图；
[0021]图3为本技术主体上表面部分结构示意图；
[0022]图4为本技术图2的A部分结构放大图；
[0023]图5为本技术图3的B部分结构放大图。
[0024]图中：1、输送机主体；2、分片机；3、上料机；4、第一传输皮带；5、第二传输皮带；6、第三传输皮带；7、电动液压杆；8、下喷淋杆；9、第一传动轴；10、第一伺服电机；11、第二伺服电机；12、第三伺服电机；13、进料转轴；14、第二传动轴；15、传动连接片；16、连接条；17、活动传动轴；18、转动杆；19、连接杆；20、上喷淋杆；21、喷淋头；22、第三传动轴。
具体实施方式
[0025]本技术实施例公开全自动硅片输送机构，如图1
‑
5所示，包括输送机主体1，输送机主体1的一端安装有上料机3，输送机主体1的另一端安装有分片机2，输送机主体1的内部依次安装有第一传输皮带4、第二传输皮带5和第三传输皮带6，输送机主体1用于将清洗完成的硅片运送至插片机位置进行插片；
[0026]与此同时该装置还包括电动液压杆7，电动液压杆7的输出端传动连接有转动杆18，转动杆18的外表面活动铰接有连接杆19，连接杆19的顶端固定连接有活动传动轴17。
[0027]参照附图1
‑
3，电动液压杆7固定安装在输送机主体1的外表面，输送机主体1的侧
面固定安装有第二伺服电机11，第二伺服电机11的输出端固定安装有第二传动轴14，第二传动轴14转动连接在输送机主体1的内部，第二传动轴14通过第一传输皮带4与活动传动轴17传动连接，通过启动第二伺服电机11，第二传动轴14带动活动传动轴17转动。
[0028]参照附图2
‑
4，第二传动轴14的两端外表面均活动套接有连接条16，活动传动轴17的两端分别转动连接在两组连接条16的外表面，电动液压杆7的输出端活动铰接有传动连接片15，传动连接片15的另一端固定套接在活动传动轴17的端部外表面，活动传动轴17的中部固定连接有固定条，连接杆19的底端与固定条活动铰接，当电动液压杆7的输出端向外伸出，通过传动连接片15带动转动杆18转动，此时转动杆18通过连接杆19带动活动传动轴17向下移动，此时连接条16以第二传动轴14为轴心向下转动，使得第一传输皮带4朝下。
[0029]参照附图1
‑
3，输送机主体1的侧面固定安装有第一伺服电机10，第一伺服电机10的输出端固定安装有第一传动轴9，输送机主体1的内部转动连接有第三传动轴22，第一传动轴9通过第二传输皮带5与第三传动轴22传动连接，分片机2的下表面设有下料杆，第三传动轴22通过第三传输皮带6与下料杆传动连接，第一伺服电机10通过第一传动轴9带动第三传动轴22转动，同时第三传动轴22通过第三传输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.全自动硅片输送机构，其特征在于，包括：输送机主体(1)，所述输送机主体(1)的一端安装有上料机(3)，所述输送机主体(1)的另一端安装有分片机(2)，所述输送机主体(1)的内部依次安装有第一传输皮带(4)、第二传输皮带(5)和第三传输皮带(6)；电动液压杆(7)，所述电动液压杆(7)的输出端传动连接有转动杆(18)，所述转动杆(18)的外表面活动铰接有连接杆(19)，所述连接杆(19)的顶端固定连接有活动传动轴(17)。2.根据权利要求1所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述电动液压杆(7)固定安装在输送机主体(1)的外表面，所述输送机主体(1)的侧面固定安装有第二伺服电机(11)，所述第二伺服电机(11)的输出端固定安装有第二传动轴(14)，所述第二传动轴(14)转动连接在输送机主体(1)的内部，所述第二传动轴(14)通过第一传输皮带(4)与活动传动轴(17)传动连接。3.根据权利要求2所述的全自动硅片输送机构，其特征在于：所述第二传动轴(14)的两端外表面均活动套接有连接条(16)，所述活动传动轴(17)的两端分别转动连接在两组连接条(16)的外表面，所述电动液压杆(7)的输出端活动铰接有传动连接片(15)。4.根据权利要求3所述的全自动硅片输送机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：王进，张进元，王永利，胡宏峰，
申请(专利权)人：上海珺竹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：