下载全自动硅片输送机构的技术资料

文档序号:32571714

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本实用新型公开全自动硅片输送机构,涉及硅片生产领域。该全自动硅片输送机构,输送机主体的一端安装有上料机,输送机主体的另一端安装有分片机,输送机主体的内部依次安装有第一传输皮带、第二传输皮带和第三传输皮带,电动液压杆的输出端传动连接有转动杆,...
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