【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种取放高密度电子器件组件的装置和方法,本专利技术特别涉及这些组件在分离并通过后续处理后的处理。
技术介绍
高密度电子器件组件在传统都是以矩形阵列形成在一个普通的基体上。然后该电子器件组件在进行后续处理和加工之前分离开来。这种分离在传统上由一锯子锯开。即基体由真空吸在切割夹盘上时,该锯子将组件之间的基体锯开。在切割过程之后,电子器件组件须经一系列的处理,例如在清洗烘干后传送以进行所需集成电路的加工操作。在这些处理步骤中,电子器件组件方向不变这一点非常重要,因为进一步的许多操作在设计上都依赖于电子组件的特定方向。因此,在分离后以及后续的处理过程中,使电子器件组件保持相同的配置和方向非常重要。现有技术中,上述工作在传统上是由“嵌套”技术来实现的,或者在进一步处理的过程中通过将分开的电子器件组件保持在真空切割平盘上来实现。嵌套技术可分为两类采用底部嵌套载体和采用顶部嵌套盖体。在这两种情况下,分开的电子器件组件由一个载体从下面或者由一个盖体从上面——所谓的“嵌套”保持原始的配置和方向,并且在后面的处理过程中,这些组件都保持在嵌套巢中。美国专利US6165232和US6187654就公开了这种技术。另一种技术能够在后续处理如冲洗和烘干的过程中将分开的组件简单地保持在真空切割夹盘上。然而,这里有一个困难即在进一步的处理过程中,切割夹盘无法接收并分离其它基体,并且如果装置的处理速度要达到可以接受的程度,就需要有多个切割夹盘。
技术实现思路
本专利技术提供一种操作处理电子器件的装置,其中这些器件已在切割夹盘从一个共用基体上分离开来,该装置包括一个将所述分开的 ...
【技术保护点】
一种操作和处理电子器件的装置,这些器件已在一个切割夹盘处从一个共用基体上分离开来,该装置包括:将所述分开的器件从所述切割夹盘传送到并穿过一个处理单元的装置,其中所述传送装置包括至少一个由多个壁形成的开口,以接收多个所述分开的器件,其中所述壁中至少有一个是可移动的,以接合被接纳在所述开口中的述分开的器件,并且将所述分开的器件保持在一个固定的相关方向上。
【技术特征摘要】
US 2001-3-22 09/814,217;US 2001-8-2 09/920,0161.一种操作和处理电子器件的装置,这些器件已在一个切割夹盘处从一个共用基体上分离开来,该装置包括将所述分开的器件从所述切割夹盘传送到并穿过一个处理单元的装置,其中所述传送装置包括至少一个由多个壁形成的开口,以接收多个所述分开的器件,其中所述壁中至少有一个是可移动的,以接合被接纳在所述开口中的述分开的器件,并且将所述分开的器件保持在一个固定的相关方向上。2.如权利要求1的装置,其中两个相互垂直的壁是可移动的以接合所述器件并保持住所述器件。3.如权利要求1的装置,其中有多个线延伸穿过所述开口的顶部。4.如权利要求1的装置,其中有一个交换站,并且在该交换站第一传送装置换成一个第二传送装置,因而所述第一传送装置能够回到所述切割夹盘以收取其它器件,而所述分开的器件则由所述第二传送装置接着传送。5.如权利要求1的装置,其中所述处理单元包括一个漂洗站,至少一个烘干站以及一个输出站。6.如权利要求5的装置,其中所述处理单元包括两个烘干站。7.如权利要求5的装置,其中所述漂洗站包括多个漂洗介质供应孔,当所述器件由所述传送装置保持在所述漂洗站时,漂洗介质通过该供应孔供应到所述器件的下表面。8.如权利要求7的装置,其中所述的孔布置在一条线上并且所述传送装置适于相对所述的线横向移动,以确保所述漂洗介质加到所述器件的大致整个下表面。9.如权利要求5的装置,其中第一烘干站包括一行真空孔,这些真空孔布置成一条直线,因而液体通过吸力从所述器件抽走。10.如权利要求5的装置,其中第二烘干站包括将空气供应到所述器件顶面的装置。11.如权利要求10的装置,其中所述空气供应装置包括布置成一条直线的喷嘴,并且所述传送装置适合于相对所述直线做横向移动,以确保空气从所述喷嘴供应到所述器件的大致整个表面上。12.如权利要求1的装置,其中所述传送装置借助于所述器件的侧向滑移将所述器件从所述切割夹盘传送到所述处理单元。13.如权利要求5的装置,其中所述的各个站构成所述处理单元表面的一部分,并且所述器件在所述多个站之间由所述传送装置通过侧向滑过所述表面来传送。14.如权利要求1的装置,其中有一个传送平台,用来从所述处理单元接收器件。15.如权利要求5的装置,其中有一个传送平台,其用来从所述输出站接收器件,所述传送平台的表面与所述处理单元的表面齐平。16.如权利要求15的装置,其中在所述输出站,所述传送装置移到所述器件紧上游的一个位置以将所述器件从所述输出站推到所述传送平台。17.如权利要求1的装置,其中所述传送平台具有一个装置,该装置用来将其上接收的所述器件移到一个输出轨道装置。18.如权利要求17的装置,其中所述器件在所述传送平台上的移动方对于所述器件移过所述处理单元的方向是横向的。19.如权利要求17的装置,其中所述移动装置包括一个第一推杆装置。20.如权利要求19的装置,其中所述推杆装置用来将所述器件向前推向所述输出轨道,向后推到所述传送平台上,所述推杆装置能够上下垂直移动以及前后侧向移动。21.如权利要求17的装置,其中所述器件由真空孔吸附在所述传送平台上。22.如权利要求21的装置,其中所述真空孔用来防止所述传送平台上的所述器件在移动过程中弯曲。23.如权利要求21的装置,其中有一个盖体装置,当所述器件被移向所述输出轨道时,该盖体装置用来盖住所述传送平台上位于所述器件上游的所述任何真空孔。24.如权利要求17的装置,其中所述输出轨道装置的表面低于所述传送平台的表面。25.如权利要求24的装置,其中还具有用来检测所述器件中最前面一个器件到达输出轨道时刻的装置,用来当所述最前面的器件到达所述轨道时使所述器件停止向前移向所述轨道的装置,以及一个第二推送装置,该第二装置适于当所述最前面的器件到达所述输出轨道时向下推所述最前面的器件。26.如权利要求25的装置,其中所述检测装置是一个位于所述第二推送装置上的光学传感器。27.如权利要求17的装置,其中所述输出轨道将所述器件运送到一个输出位置,在该输出位置所述器件由一个拾取头拾取。28.如权利要求27的装置,其中有一个第三推送装置,用来将所述器件沿着所述轨道移动。29.如权利要求27的装置,其中还具有真空孔,用来防止所述器件在所述轨道内移动时的弯曲。30.如权利要求28的装置,其中还具有用来检测最前面的器件到达所述输出位置的装置,和当一个光学传...
【专利技术属性】
技术研发人员:张耀明,蔡培伟,张雨时,
申请(专利权)人:先进自动器材有限公司,
类型:发明
国别省市:HK[中国|香港]
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