半导体厂自动化的保护电路制造技术

本发明专利技术揭示了一种标准机械接口与制作机台之间的保护电路。首先提供一用于半导体产业的制作机台，一保护电路与一具有标准机械接口的自动化运货机台。保护电路系统至少包含一电压感测元件、一逻辑组件与两电子发光元件。保护电路系统是通过电压感测元件接收制作机台所输出的信号，且通过逻辑组件对制作机台所输出的信号进行逻辑判断。保护电路可通过两电子发光元件显示制作机台的状态，且可输出逻辑信号至标准机械接口中并借此控制自动手臂的操作。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种半导体厂自动化的保护电路，特别是一种有关于制作设备和标准机械接口自动化传送装置(Standardized Mechanical Interface，SMIF)的保护电路。当制作设备未达适当的操作状态时，本保护电路系统会自动关闭自动化传送装置(SMIF)的装载/卸载(load/unload)功能。
技术介绍
对降低每单位晶片制作成本的需求，驱使半导体业不断的搜寻增加晶片优良率及降低制造循环周期的方法。而众所周知，要增加半导体晶片制造系统的总产量，不外乎确保每一机台稳定的晶片供给量。因此，工厂的物料管理系统的处理能力就影响了在场内循环的晶片载具数量。当晶片的尺寸持续增大，为了因应尺寸及晶片箱重量的变大，对晶片的处理方式则越来越趋向于自动化。也就是说，接口装置传送晶片或晶舟到制作或测量设备的动作，变得越来越重要和越来越复杂。为了避免周围的微粒或制作所生的微粒造成污染，对半导体晶片的处理和制造就需要极度的注意。因其一旦受到了污染就会降低制作优良率，所以，集成电路的制造就更加的昂贵和费时。标准机械接口(SMIF)系统的发展，不仅促进半导体晶片的制造，同时也降低了于半导体制作储存和传送晶片时，微粒落到晶片的机会。标准机械接口(SMIF)系统主要包含三个部分一密闭空间，是用以传送或是储存晶舟；一微型区，其为利用超纯气体环绕晶舟装载处和制作设备的晶片制造区域，以使得密闭空间内部环境和微型区之间成为缩小型的洁净环境；与一自动传送总成装置，是用以装载/卸载晶舟及/或晶片，并将其从密闭空间传送到制作机台，而不使晶舟中的晶片受到外在环境的污染。因此，当晶片在晶片厂移动时，标准机械接口系统可提供持续性的超洁净环境，是一种操作者和制作机台间的有力接口。近来所设计的自动化装置和其它具有标准机械接口装置的机器，是用以整合将晶舟装载和卸载到晶片制作或测量设备上。因此，操作接口就日益复杂。利用安全感应器检查接口装置是否处于适当的操作状态，是属于装置本身的控制接口，而自动接口装置和制作工具间复杂的操作接口，造成操作者强大的负担而容易导致操作错误。例如，自动接口装置本身的安全感应器无法检查出制作工具是否处于正常状态，或是达到预设状态，而当制作工具处于非正常状态时，操作者在未察觉的情形下启动了卸载的动作，就可能造成自动接口装置或是制作工具以及晶片的损坏。另一方面，一般装/卸载的装置是一具有自动手臂的装置，其通常与制作机台分属不同厂商所制造。对于操作者而言，常因操作上的失误导致制作机台与自动手臂间发生“失误操作”(miss-operation)的情形。此种人为疏失常使得自动手臂与制作机台或是制作机台上的晶舟发生碰撞，进而损害制作机台设备或是晶舟，以致于增加大量的成本。一般控制接口中的许多警示器都是有其必要的作用，但是简化操作接口以减轻操作者的负担，进而避免操作者的“失误操作”发生，仍是不断需要发展的目标。因此，利用制作工具和接口装置间的简易保护装置，提供一种可以保护接口装置不至因“失误操作”的发生而损害的系统和方法乃是业界的一大期望。鉴于所述的种种原因，我们更需要一种新的标准机械接口与制作机台之间的保护电路系统，以便于提升标准机械接口与制作机台的操作稳定性及降低人为疏失与维修成本。
技术实现思路
鉴于所述的专利技术背景中，传统标准机械接口与制作机台，其所产生的诸多缺点，本专利技术提供一保护电路可用以克服传统机台上的问题。本专利技术的主要目的是提供一种标准机械接口与制作机台之间的保护电路，以避免因“失误操作”而发生的损害，且借此可提升机台操作的稳定性，因而减少传统机台的维修成本，并借此符合经济上的效益。所以，本方法能适用于半导体设备的深次微米的技术中。本专利技术的另一目的是提供一种保护电路，其可抓取制作机台所产生的输出信号并通过一逻辑组件判断后，输出一区域控制信号至标准机械接口中以控制自动手臂的操作。为了避免影响机台的操作电流，所以保护电路系以金属氧化半导体组件(MOS)的电压感应的特性抓取信号，再以晶体管对晶体管逻辑组(Transistor-to-Transistor Logic；TTL)的电流感应的特性驱动机台。因此，本专利技术系为一能符合产业需求的装置。根据以上所述的目的，本专利技术揭示了一种标准机械接口与制作机台之间的保护电路。首先提供一用于半导体产业的制作机台，一保护电路与一具有标准机械接口的自动化运货机台。制作机台至少包含一可转动之载货平台，且制作机台本身会根据载/卸货的状况产生两种信号一种信号称为载货状态信号(Goods Present；Pr)并通过一载货状态信号输出端输出此信号；另一种信号则称为载台信号(Goods Platform Home；H)并通过一载台信号输出端输出此信号。当载货平台上无晶舟存在时，制作机台会输出一为“0”的载货状态信号(Pr)，否则为“1”。当载货平台的转向位于非传送位置时，制作机台会产生一输出为“0”的载台信号(H)，否则为“1”。此外，具有标准机械接口的自动化运货机台至少包含一自动化手臂、一置货装置与一具有多个外接连接端口的电路系统。其中所述的保护电路系统至少包含一电压感测元件、一逻辑组件与两电子发光元件，其中，电压感测元件至少包含多个反相器(非门)，且逻辑组件至少包含多个或门，两电子发光元件至少包含一发光二极管(Light-EmittingDiode；LED)。保护电路系统是通过电压感测元件的输入端连接至制作机台的载货状态信号输出端与载台信号输出端上，以便于接收制作机台所输出的信号。逻辑组件的输入端系与电压感测元件的输出端相连接，以便于对制作机台所输出的信号进行逻辑判断。逻辑组件的部分输出端是与两电子发光元件相连接，以便于通过两电子发光元件显示制作机台的状态，而逻辑组件的其余输出端是与自动化运货机台的标准机械接口的电路系统的多个外接连接头相连接，以便于输出逻辑信号至标准机械接口中并借此控制自动手臂的操作。附图说明图1所示是本专利技术的第一较佳实施例中的保护电路的方块示意图；图2A是本专利技术第二较佳实施例中的具有标准机械接口的系统与保护电路的方块示意图；图2B是本专利技术第二较佳实施例中的保护电路的电路结构图。具体实施例方式本专利技术在此所探讨的方向为一种标准机械接口与制作机台之间的保护电路。为了能彻底地了解本专利技术，将在下列的描述中提出详尽的步骤。显然地，本专利技术的施行并未限定于半导体组件的领域的技术人员所熟悉的特殊细节。另一方面，众所周知的制作步骤或是机件设备并未描述于细节中，以避免造成本专利技术不必要的限制。本专利技术的较佳实施例将详细描述如下，然而除了这些详细描述之外，本专利技术还可以广泛地施行在其它的实施例中，且本专利技术的范围不受其限定，而以权利要求为准。参考图1所示，在本专利技术的第一实施例中首先提供一用于标准机械接口与制作机台之间的保护电路100。保护电路100至少包含一电压感测元件110，例如，互补式金属氧化半导体元件(CMOS)、一逻辑运算元件120，例如，晶体管对晶体管逻辑组，与多个电子发光元件130，其中，电压感测元件110至少包含多个反相器(非门)与多个输入端以及多个输出端，且逻辑运算元件120至少包含多个或门与多个输入端以及多个输出端，而多个电子发光元件130至少包含一发光二极管(Light-Emitti本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种适用于一具有标准机械接口的自动化传输设备的保护电路，其特征在于，该保护电路至少包含： 一用于从一半导体制作机台提供一第一信号的第一输出端，该第一信号显示至少一半导体对象置放于该半导体制作机台的一承载组件上； 一用于从该半导体制作机台提供一第二信号的第二输出端，该第二信号显示该半导体制作机台的该承载组件位于一预定的适当位置上； 一第一次电路，仅在该第一信号与该第二信号皆失效时，通过耦合方式接收该第一信号与该第二信号以产生一第一输出信号，其中，该产生的第一输出信号连接至标准机械接口中，借此显示自动化传输设备进行载货期间的一状态；与 一第二次电路，仅在该第一信号有效且该第二信号失效时，通过耦合方式接收该第一信号与该第二信号以产生一第二输出信号，其中，该产生的第二输出信号连接至标准机械接口中，借此显示自动化传输设备进行卸货期间的一状态。

【技术特征摘要】
1.一种适用于一具有标准机械接口的自动化传输设备的保护电路，其特征在于，该保护电路至少包含一用于从一半导体制作机台提供一第一信号的第一输出端，该第一信号显示至少一半导体对象置放于该半导体制作机台的一承载组件上；一用于从该半导体制作机台提供一第二信号的第二输出端，该第二信号显示该半导体制作机台的该承载组件位于一预定的适当位置上；一第一次电路，仅在该第一信号与该第二信号皆失效时，通过耦合方式接收该第一信号与该第二信号以产生一第一输出信号，其中，该产生的第一输出信号连接至标准机械接口中，借此显示自动化传输设备进行载货期间的一状态；与一第二次电路，仅在该第一信号有效且该第二信号失效时，通过耦合方式接收该第一信号与该第二信号以产生一第二输出信号，其中，该产生的第二输出信号连接至标准机械接口中，借此显示自动化传输设备进行卸货期间的一状态。2..根据权利要求1所述的保护电路，其特征在于，所述的保护电路还包含一第一显示组件，该第一显示组件与该产生的第一输出信号电性耦合。3..根据权利要求2所述的保护电路，其特征在于，所述的保护电路还包含一第二显示组件，该第二显示组件与该产生的第二输出信号电性耦合。4..一种用于标准机械接口之保护电路，其特征在于，该保护电路至少包含一电压感测元件，该电压感测元件具有多个第一输入端与多个第一输出端，其中，该电压感测元件可通过该多个第一输入端抓取由外界输入的多个信号；一具有多个第二输入端与多个第二输出端的逻辑组件，其中，该逻辑组件是通过该多个第二输入端连接该电压感测元件的该多个第一输出端，且该逻辑组件的一部分多个第二输出端是与该标准机械接口相连接，该逻辑组件可进行一逻辑判断，并驱动该标准机械接口；与多个电子发光元件，该多个电子发光元件系与该逻辑组件的多个第二输出端相连接，其中，该多个电子发光元件是用以显示该标准机械接口的操作条件。5.根据权利要求4所述的保护电路，其特征在于，所述的电压感测元件至少包含多个反相器。6..根据权利要求4所述的保护电路，其特征在于，所述的逻辑组件至少包含多个或门。7.一种用于标准机械接口的保护电路，其特征在于，该保护电路至少包含一第一反相器，该第一反相器的输出端与一第三反相器的输入...

【专利技术属性】
技术研发人员：林文墉，
申请(专利权)人：旺宏电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]