System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 存储器装置及其形成方法制造方法及图纸_技高网

存储器装置及其形成方法制造方法及图纸

技术编号:41285824 阅读:5 留言:0更新日期:2024-05-11 09:34
本公开提供了一种存储器装置及其形成方法。所述存储器装置为垂直三维交叉点存储器,具有多个存储单元形成在垂直的位线与水平的字线的交叉点。这些存储单元由二个层形成,能够实现比传统技术更高的密度。其中一个层可选地包含双向阈值开关材料,以允许信息储存。

【技术实现步骤摘要】

本公开是关于存储单元,包含用于集成电路的存储单元。


技术介绍

1、在用于集成电路的存储单元中,提供低延迟、更低功率、低成本、和高密度全部的组合是有益的。现存存储单元的实施方案欠缺上述特性中的一或更多者。


技术实现思路

1、一种一或更多个计算机的系统能够配置成凭借安装在系统上的软件、固件、硬件、或其组合来执行特定的操作或动作,操作中的所述软件、固件、硬件、或其组合在操作中令系统执行和/或控制动作。一或更多个计算机程序能够配置成凭借包含指令来执行特定的操作或动作,所述指令在由数据处理装置执行时令其执行动作。

2、一第一方面包含一种存储器装置。该存储器装置包含:一中央电极;一层堆叠,具有定义容纳中央电极的一孔洞的一内侧壁;且其中,层堆叠包括多个;其中,每一个包括一左电极、一可控导电元件、和一右电极;其中,至少一部份的可控导电元件电性串联于(i)左电极与中央电极之间和(ii)右电极与中央电极之间。

3、本公开的实施例可选地包含单独或任意组合的下列一或更多个特征。

4、层堆叠还包括一或更多个分隔层;以及这些由至少一个分隔层彼此分隔。中央电极是一第一中央电极;该存储器装置还包括一第二中央电极;内侧壁是一第一内侧壁,孔洞是一第一孔洞,且该层堆叠具有定义容纳第二中央电极的一第二孔洞的一第二内侧壁;以及所述至少一部份的可控导电元件电性串联于(i)左电极与第二中央电极之间和(ii)右电极与第二中央电极之间。该存储器装置,其中,至少存在三个。层堆叠是一第一层堆叠;该存储器装置还包括一第二层堆叠,类似于第一层堆叠;以及第一层堆叠和第二层堆叠在物理上彼此分隔。第一层堆叠和第二层堆叠的多个层彼此平行;以及第一中央电极的长轴和第二中央电极的长轴与平行于第一层堆叠和第二层堆叠的这些层的平面正交。可控导电元件包括一双向阈值开关(ovonic threshold switch,ots)材料;左电极和这些右电极包括一第一导电材料;以及中央电极包括一第二导电材料。这些左电极和这些右电极全体为多个侧电极,侧电极分别包括由一第一导电材料构成的一导电部;中央电极包括由一第二导电材料构成的一导电部;这些侧电极和该中央电极全体为多个存储器电极;至少一个存储器电极还包括一缓冲部,缓冲部包括一缓冲材料;以及所述至少一个存储器电极的缓冲部设置在存储器电极的导电部与至少一个可控导电元件之间。孔洞具有多个剖面中特定一者与平行于层堆叠的这些层的平面平行;以及这些剖面包括圆形剖面、椭圆形剖面、和矩形剖面中至少一者。层堆叠包括二个类似的层堆叠,具有彼此平行的的长轴,且二个类似的层堆叠中每一者具有各自的分别包括二个类似的层堆叠中相应者的该中央电极的多个中央电极;二个类似的层堆叠在物理上彼此分隔;二个类似的层堆叠中一第一者的这些中央电极沿着第一者的长轴偏离于二个类似的层堆叠中一第二者的这些中央电极。这些左电极和这些右电极全体分别能够操作为一存储器阵列的相应一字线;中央电极能够操作为存储器阵列的一位线;以及这些可控导电元件能够用作为一非易失性储存器,以储存存储器阵列的一信息的多个部分,该信息能够解析成二进制信息的一或更多个位,并能够经由这些字线中一者的启动结合该位线的操作进行存取。

5、一第二方面包含一种存储器装置的形成方法。该形成方法包括:形成一层堆叠,该层堆叠包括交替的多个和多个分隔层;以形成导电的一中央电极垂直延伸通过层堆叠;其中,形成该层堆叠包含由下列步骤形成每一个:形成一可控导电材料的层;形成平行的一对侧凹在该可控导电材料的层中;以及形成导电的一对侧电极填满平行的该对侧凹,其中,导电的该对侧电极由至少一部分的该可控导电材料的层与导电的中央电极分隔。

6、本公开的实施例可选地包含单独或任意组合的下列一或更多个特征。导电的该中央电极是导电的一第一中央电极;该形成方法还包括形成导电的一第二中央电极垂直延伸通过层堆叠;以及导电的每一对侧电极由至少一部分的该可控导电材料的层与导电的第二中央电极分隔。该形成方法还包括形成垂直的多个沟道延伸穿过层堆叠,垂直的这些沟道彼此平行。形成导电的该中央电极包括形成一缓冲结构设置在导电的中央电极与可控导电材料的层之间。形成导电的该对侧电极包括形成一缓冲结构设置在导电的该对侧电极中至少一者与可控导电材料的层之间。导电的中央电极具有多个剖面中特定一者与平行于层堆叠的多个层的平面平行;以及这些剖面包括圆形剖面、椭圆形剖面、和矩形剖面中至少一者。导电的这些中央电极配置成彼此偏离预定偏移量的交替的多个列。可控导电材料的层包括一双向阈值开关材料。

7、一第三方面系包含一种处理器和存储器,可储存能够由处理器执行的指令,所述指令在由处理器执行时令处理器执行多个操作。这些操作包括:形成一层堆叠,该层堆叠包括交替的多个和多个分隔层;以形成导电的一中央电极垂直延伸通过层堆叠;其中,形成该层堆叠包含由下列步骤形成每一个:形成一可控导电材料的层;形成平行的一对侧凹在该可控导电材料的层中;以及形成导电的一对侧电极填满平行的该对侧凹,其中,导电的该对侧电极由至少一部分的该可控导电材料的层与导电的中央电极分隔。

8、上述方面的本公开的实施例可选地包含计算机可存取介质上的硬件、方法或程序、或者计算机软件。

9、本公开的其他方面和优点能够从附图、实施方式明显看出。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种存储器装置,包括:

2.根据权利要求1所述的存储器装置,其中:

3.根据权利要求1所述的存储器装置,其中:

4.根据权利要求1所述的存储器装置,其中:

5.一种存储器装置的形成方法,包括:

6.根据权利要求5所述的存储器装置的形成方法,其中:

7.根据权利要求6所述的存储器装置的形成方法,还包括形成垂直的多个沟道延伸穿过该层堆叠,其中,垂直的这些沟道彼此平行。

8.根据权利要求5所述的存储器装置的形成方法,其中,形成导电的该中央电极包括形成一缓冲结构设置在导电的该中央电极与该可控导电材料的所述层之间。

9.根据权利要求5所述的存储器装置的形成方法,其中,形成导电的该对侧电极包括形成一缓冲结构设置在导电的该对侧电极中至少一者与该可控导电材料的所述层之间。

10.根据权利要求5所述的存储器装置的形成方法,还包括:

【技术特征摘要】

1.一种存储器装置,包括:

2.根据权利要求1所述的存储器装置,其中:

3.根据权利要求1所述的存储器装置,其中:

4.根据权利要求1所述的存储器装置,其中:

5.一种存储器装置的形成方法,包括:

6.根据权利要求5所述的存储器装置的形成方法,其中:

7.根据权利要求6所述的存储器装置的形成方法,还包括形成垂直的多个沟道延伸穿过该层堆叠,其中,...

【专利技术属性】
技术研发人员:龙翔澜
申请(专利权)人:旺宏电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1