液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法制造方法及图纸

一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法，利用五道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成数据线。第二道掩膜在覆盖一层低介电常数绝缘层后，用于其中形成暴露出数据线表面的接触孔开口。第三道掩膜在低介电常数绝缘层上形成像素电极，以及连接源极与数据线的导线。第四道掩膜用于定义在像素电极和导线上的金属层／绝缘层／半导体层／ｎ型掺杂层，以形成栅极线和薄膜晶体管。第五道掩膜用于定义保护层。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液晶显示装置(liquid crystal display，LCD)及其制造方法，特别涉及一种具有高像素孔径比(pixel aperture ratio)的液晶显示装置的有源阵列基板(active matrix substrate)及其制造方法。
技术介绍
液晶显示装置通常包括两个具有电极的上下基板，以封合材料接合在一起。液晶材料被填入两个基板之间，为了保持两基板之间固定的距离，会散布具有一定粒径的颗粒于两基板之间。通常下基板表面形成有用来当作开关元件的薄膜晶体管，此薄膜晶体管具有连接于扫描线的栅极电极、连接于信号线的漏极电极、以及连接于像素电极的源极电极。此上基板又称为有源阵列基板。当液晶显示装置的像素孔径比愈大时，其显像传送效果愈好。因此，在使用相同的背光源能量下，增加像素孔径比可以提高其显像传送效果，或者在维持相同的显像传送效果下，可以减少背光源能量的浪费。为了提高像素孔径比，有人提出在形成像素电极之前，先于其下方形成一层厚度较厚的覆盖层(over coating)，以避免像素电极和其下方的导电材料有电容效应，而得以扩大像素电极的覆盖面积。近来，已有人提出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示装置的有源阵列基板，包括： 一透明基板； 多条平行于一第一方向的数据线配置于该透明基板上，且部分突出延伸覆盖多个有源元件区； 一低介电常数绝缘层覆盖该些数据线和该透明基板，该低介电常数绝缘层中具有多个接触孔开口暴露出该些数据线突出处的表面； 多条垂直于该第一方向的栅极线配置于该低介电常数绝缘层上，且部分突出延伸至该些有源元件区，该些栅极线和该些数据线所围绕的多个区域可分为该些有源元件区和多个像素区； 一栅极绝缘层位于该些栅极线下，且与该些栅极线接触，该栅极绝缘层与该些栅极线的图案相同； 一半导体层位于该栅极绝缘层和该低介电常数绝缘层之间，且与该些...

【技术特征摘要】
1.一种液晶显示装置的有源阵列基板，包括一透明基板；多条平行于一第一方向的数据线配置于该透明基板上，且部分突出延伸覆盖多个有源元件区；一低介电常数绝缘层覆盖该些数据线和该透明基板，该低介电常数绝缘层中具有多个接触孔开口暴露出该些数据线突出处的表面；多条垂直于该第一方向的栅极线配置于该低介电常数绝缘层上，且部分突出延伸至该些有源元件区，该些栅极线和该些数据线所围绕的多个区域可分为该些有源元件区和多个像素区；一栅极绝缘层位于该些栅极线下，且与该些栅极线接触，该栅极绝缘层与该些栅极线的图案相同；一半导体层位于该栅极绝缘层和该低介电常数绝缘层之间，且与该些栅极线的图案相同；多个源极和多个漏极位于该半导体层和该低介电常数绝缘层之间，该些源极和该些漏极之间为沟道区；多个像素电极配置于该些像素区的该低介电常数绝缘层上，且与该些漏极连接；多个导线经由该低介电常数绝缘层的该些接触孔开口连接该些数据线与该些源极；以及一保护层位于该些栅极线和该些导线上。2.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该低介电常数绝缘层的材料为苯并环丁烯。3.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该些导线位于该些源极和该低介电常数绝缘层之间。4.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该些像素电极延伸至该些漏极和该低介电常数绝缘层之间。5.如权利要求4所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该些像素电极延伸至部分该些栅极线下方和部分该些数据线上方。6.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该些像素电极和该些导线的材料为铟锡氧化物。7.一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法，包括提供一透明基板；于该透明基板上形成多条平行于一第一方向的数据线，且部分突出延伸覆盖多个有源元件区；于该些...

【专利技术属性】
技术研发人员：来汉中，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]