下载液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法的技术资料

文档序号:3211601

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一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法,利用五道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成数据线。第二道掩膜在覆盖一层低介电常数绝缘层后,用于其中形成暴露出数据线表面的接触孔开口。第三道掩膜在低介电常数绝缘层上形成像素电极,以及连接源极与数据...
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