液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法制造方法及图纸

一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法，利用五道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成栅极线。第二道掩膜在覆盖一层栅极绝缘层后，依序沉积半导体层、ｎ型掺杂层和金属层，用以定义金属层／ｎ型掺杂层／半导体层，以形成数据线。第三道掩膜用于在含数据线的透明基板上形成低介电常数绝缘层，且在其中形成露出数据线表面的接触孔开口。第四道掩膜在低介电常数绝缘层上形成透明导电层后，构图出像素电极和具源极图案的透明导电层，并利用此像素电极和具源极图案的透明导电层为掩膜，蚀刻金属层和ｎ型掺杂层。第五道掩膜用于定义保护层。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种液晶显示装置(liquid crystal display，LCD)及其制造方法，特别涉及一种具有高像素孔径比(pixel aperture ratio)的液晶显示装置的有源阵列基板(active matrix substrate)及其制造方法。
技术介绍
液晶显示装置通常包括两个具有电极的上下基板，以封合材料接合在一起。液晶材料被填入两个基板之间，为了保持两基板之间固定的距离，会散布具有一定粒径的颗粒于两基板之间。通常下基板表面形成有用来当作开关元件的薄膜晶体管，此薄膜晶体管具有连接于扫描线的栅极电极、连接于信号线的漏极电极、以及连接于像素电极的源极电极。此上基板又称为有源阵列基板。当液晶显示装置的像素孔径比愈大时，其显像传送效果愈好。因此，在使用相同的背光源能量下，增加像素孔径比可以提高其显像传送效果，或者在维持相同的显像传送效果下，可以减少背光源能量的浪费。为了提高像素孔径比，有人提出在形成像素电极之前，先于其下方形成一层厚度较厚的覆盖层(over coating)，以避免像素电极和其下方的导电材料有电容效应，而得以扩大像素电极的覆盖面积。近来，已有人提出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示装置的有源阵列基板，包括： 一透明基板； 多条平行于一第一方向的栅极线配置于该透明基板上，且部分突出延伸覆盖多个有源元件区； 一栅极绝缘层配置于具有该些栅极线的该透明基板上； 一低介电常数绝缘层位于该栅极绝缘层上，该低介电常数绝缘层中具有多个开口大致对应于该些有源元件区； 多条垂直于该第一方向的数据线配置于该栅极绝缘层和该低介电常数绝缘层之间，且部分突出延伸至该些开口中，该些栅极线和该些数据线所围绕的多个区域可分为该些有源元件区和多个像素区； 多个第一ｎ型掺杂层配置该些数据线下，与该些数据线接触，且与该些数据线的图案相同，位于该些开口中的一侧的附...

【技术特征摘要】
1.一种液晶显示装置的有源阵列基板，包括一透明基板；多条平行于一第一方向的栅极线配置于该透明基板上，且部分突出延伸覆盖多个有源元件区；一栅极绝缘层配置于具有该些栅极线的该透明基板上；一低介电常数绝缘层位于该栅极绝缘层上，该低介电常数绝缘层中具有多个开口大致对应于该些有源元件区；多条垂直于该第一方向的数据线配置于该栅极绝缘层和该低介电常数绝缘层之间，且部分突出延伸至该些开口中，该些栅极线和该些数据线所围绕的多个区域可分为该些有源元件区和多个像素区；多个第一n型掺杂层配置该些数据线下，与该些数据线接触，且与该些数据线的图案相同，位于该些开口中的一侧的附近的该些第一n型掺杂层作为多个源极；多条导线配置于该些开口中的该些源极上方的该些数据线上，其中该些导线为源极图案；多个第二n型掺杂层配置于该些开口中与该些源极相对的另一侧的附近，且作为多个漏极，该些源极和该些漏极之间为多个沟道区；多个漏极电极配置于该些漏极上；一半导体层配置于该些第一n型掺杂层和该些第二n型掺杂层下，且配置于该栅极绝缘层上，该半导体层的图案为该些第一n型掺杂层、该些第二n型掺杂层和该些沟道区的集合图案；多个像素电极配置于该些像素区的该低介电常数绝缘层上，且延伸至该些漏极电极上与该些漏极连接；以及一保护层大致位于该些开口。2.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该低介电常数绝缘层的材料为苯并环丁烯。3.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该些像素电极延伸至部分该些栅极线上方和部分该些数据线上方。4.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，其中该些像素电极和该些源极图案导线的材料为铟锡氧化物。5.如权利要求1所述的液晶显示装置的有源阵列基板，更包括多个焊点位于该些栅极线末端；该低介电常数绝缘层位于该栅极绝缘层上，该低介电常数绝缘层中具有多个开口大致对应于该些有源元件区和该些焊点；以及该些导线于大...

【专利技术属性】
技术研发人员：来汉中，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]