下载液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法的技术资料

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一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法,利用五道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成栅极线。第二道掩膜在覆盖一层栅极绝缘层后,依序沉积半导体层、n型掺杂层和金属层,用以定义金属层/n型掺杂层/半导体层,以形成数据线。第三道掩膜用于在含数...
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