【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种以铝金属作为导电材质所制的电容器以及电感器的集成制程方法，特别涉及一种铝金属堆迭式金属电容器以及铝材质堆迭式电感器的集成制程方法。
技术介绍
已知的铝金属电容器以及电感器的构成图如图1所示。已知以铝金属为混合信号或高频信号的导线体的制程技术，由于铝金属本身的电阻高，所产生的效果皆不尽理想。以电感器而言，需要维持一高Q值。所谓该Q值，是指施加一频率(f)下，等效电感值与角频率(ω＝2πf)的乘积再除以等效电阻值之值。在已知铝金属电容器中，却由于所生电阻值偏高，因此，所产生的Q值皆不尽理想。例如，对于已知具有2微米厚度铝金属2nH的电感值的电感器，，其Q值只有约为9。以已知电容器而言，其功效尚显不足，其不足之处包括单位面积的电容量仍待提升，在此同时，电压值与所产生电容值之间，需保持为线性，以及需要提升电容器的崩溃电压，以因应当代较为频繁使用的高施加电压值。
技术实现思路
本专利技术提供一种铝金属电容器以及电感器的集成制程，而提高铝金属电感器的Q值，以及提高铝金属为材质的金属-绝缘-金属(Metal-Insulator-Metal，MIM)电容器的单位...
【技术保护点】
一种铝材质堆迭式金属电容器以及铝材质堆迭式电感器的集成制程方法，该集成制程方法包含以下步骤： 在一半导体基底之上，形成集成电路的半导体元件； 在该晶圆以及该半导体元件上，形成一介电层； 在该介电层上，形成产生电容效应的二对向铝金属电容极板，以及铝金属电感器延伸体； 在该电容极板以及电感器延伸体四周沉积满以氧化物； 该二电容极板向上延伸形成铝金属的两极板分别的延伸体，其中之一较另一为大，大者将来作为电容极板之用，该电感器延伸体向上延伸形成铝金属电感主体； 在该电容两极板延伸体以及电感主体的四周沉积满以氧化物； 以化学机械抛光，或与氧化...
【技术特征摘要】
1.一种铝材质堆迭式金属电容器以及铝材质堆迭式电感器的集成制程方法，该集成制程方法包含以下步骤在一半导体基底之上，形成集成电路的半导体元件；在该晶圆以及该半导体元件上，形成一介电层；在该介电层上，形成产生电容效应的二对向铝金属电容极板，以及铝金属电感器延伸体；在该电容极板以及电感器延伸体四周沉积满以氧化物；该二电容极板向上延伸形成铝金属的两极板分别的延伸体，其中之一较另一为大，大者将来作为电容极板之用，该电感器延伸体向上延伸形成铝金属电感主体；在该电容两极板延伸体以及电感主体的四周沉积满以氧化物；以化学机械抛光，或与氧化物湿蚀刻法混合使用以处理表面，而完成第一迭层；形成电容介电层于表面上；以图样介电层的方式，将较小的电容极板延伸体以及电感主体之上的介电层完全移除以形成开口，并将较大的电容极板延伸体之上的介电层部份移除，以形成开口，而完成第二迭层；沉积厚铝材质，并以曝光，蚀刻在第一迭层较小的电容极板延...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈真，史望澄，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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