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本发明提供一种铝材质堆迭式金属电容器以及铝材质堆迭式电感器的集成制程方法，该方法包含以下步骤：介电层形成步骤（在一半导体基底之上，形成一介电层）、第一迭层岛形体形成步骤、第一迭层形成步骤、第二迭层形成步骤、第二迭层电容介电层处理步骤、第三迭...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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