可掀式探针卡反面调针治具及其调针方法技术

一种可掀式探针卡反面调针治具，它包括电子显微镜；其特征在于所述的调针机平台上固设底座；底座设有转动结构；转动结构连设放置可抽换玻璃的玻璃基座及借以缓冲玻璃基座翻转至水平共面时的速度的缓冲件；玻璃基座上设有并借以翻转调整玻璃基座的翻转结构。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于积体电路检测器具调整装置及其方法，特别是一种。
技术介绍
由于积体电路(IC)制程的发展进步快速，为达到IC中元件高密度化，元件的尺寸不断地缩小。然而，IC制程的发展进步快速，也必须测试IC电路以保证IC的出货品质。在制作晶圆完成后，必须量测晶圆中的IC以确认IC的好坏以维持IC的出货品质在标准值之上。一般而言，探针卡(probe card)、针测机(prober)及测试机(tester)是测试阶段的三个关键设备。探针卡是一片拥有百项微型弹簧技术的卡片，其上设有许多用以判定晶圆上晶粒好坏的微细针。针测机用以将一片片晶圆精确地移动到探针卡的正确位置，使探针卡上微细针的针尖接触到承载板，以将电子讯号传到测试机上。最后再由测试机测验出积体电路的功能、参数及特性。如图1所示，一般而言，探针卡10的针层数为七层，在以探针卡10测试晶圆12中晶粒14时，系以探针卡10的探针放置于需要量测的晶粒14上以确认每一晶粒14的好坏。然而，IC的种类繁多，在使用探针卡10测试晶圆12前就必须调整探针卡10的针位以对准需要量测的晶粒14位置，因此，需要以如图2所示的探针卡调针治具16调整探针卡10的针位以对准需要量测的晶粒14位置。如图2所示，习知的探针卡调针治具16包括调针机平台18、固定结构20及电子显微镜22。调针时，在探针卡调针治具16的调针机平台18上依序放置晶圆12及探针卡10，且以固定结构20固定晶圆12及探针卡10；然后，以电子显微镜22观看探针卡10正面，并以镊子调整探针卡10的针位以对准晶圆12中需要量测的晶粒14位置。由于习知探针卡调整治具16调整针位只能使用探针卡10正面方式调针，因此，对于探针卡10针层超过三层以上及在制作时采用中心未开窗口的探针卡10时，则无法使用镊子在探针卡10正面调整针位到正确的位置。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可完全调整探针卡针位到正确位置的。本专利技术治具包括电子显微镜、固设于调针机平台上的底座、设于底座上转动结构、连设于转动结构并放置可抽换玻璃的玻璃基座及借以缓冲玻璃基座翻转至水平共面时的速度的缓冲件；玻璃基座上设有并借以翻转调整玻璃基座的翻转结构；方法包括固定探针卡步骤、安装可掀式探针卡反面调针治具步骤及调整探针卡针位步骤；固定探针卡步骤系以探针卡的反面朝上将探针卡固设于调针机平台上；安装可掀式探针卡反面调针治具步骤系将具有遮罩薄膜的可抽换式玻璃设于玻璃基座上，遮罩薄膜具有多个探针定位点；调整探针卡针位步骤系使探针卡探针的针位对准遮罩薄膜上的定位点。由于本专利技术可将探针卡的探针精准地移动到正确位置，因此，克服了习知技术存在的问题，延长了探针卡的使用寿命，减少购买探针卡的费用，可完全调整探针卡针位到正确位置，从而达到本专利技术的目的。其中转动结构为转动轴承。翻转结构为翻转把手。设置固定结构的调针机平台上设有借以保护探针卡探针避免受压损坏及移动的保护结构。玻璃基座上设有借以调整玻璃基座水平共面的玻璃微调件。调针机平台上固定设有借以将探针卡固定于调针机平台上的固定结构。安装可掀式探针卡反面调针治具步骤中还包括于调针机平台上安装保护结构。安装可掀式探针卡反面调针治具步骤中还包括借由玻璃微调件调整玻璃基座水平共面误差不超过正负0.4μm。由于本专利技术治具包括电子显微镜、固设于调针机平台上的底座、设于底座上转动结构、连设于转动结构并放置可抽换玻璃的玻璃基座及借以缓冲玻璃基座翻转至水平共面时的速度的缓冲件；玻璃基座上设有并借以翻转调整玻璃基座的翻转结构；方法包括固定探针卡步骤、安装可掀式探针卡反面调针治具步骤及调整探针卡针位步骤；固定探针卡步骤系以探针卡的反面朝上将探针卡固设于调针机平台上；安装可掀式探针卡反面调针治具步骤系将具有遮罩薄膜的可抽换式玻璃设于玻璃基座上，遮罩薄膜具有多个探针定位点；调整探针卡针位步骤系使探针卡探针的针位对准遮罩薄膜上的定位点。附图说明图1、为以探针卡测试晶圆中IC的示意图。图2、为习知探针卡调针治具结构示意立体图。图3、为本专利技术结构示意立体图。图4、为本专利技术玻璃基座的水平共面示意图。图5、为本专利技术玻璃基座的垂直共面示意图。图6、为电子显微镜下遮罩薄膜的可抽换式玻璃示意图。图7、为探针卡探针结构示意立体图。具体实施例方式如图3所示，本专利技术可掀式探针卡反面调针治具24包括固定于调针机平台18上的固定结构26、固定于调针机平台18上的底座28、设于底座28的转动结构30、与转动结构30连接的玻璃基座32、放置于玻璃基座32上可抽换式玻璃34、设于玻璃基座32上并借以翻转调整玻璃基座32的翻转结构36、缓冲件38、支撑件40、设置于调针机平台18上的保护结构42、玻璃固定件44、玻璃微调件46及电子显微镜22。转动结构30系为高精密度的转动轴承，其翻转误差系0.1μm。翻转结构36为翻转把手。保护结构42为半圆弧形的遮罩物。翻转调整玻璃基座32时，借由缓冲件38缓冲翻转至水平共面时的速度以防止探针卡10反面1004探针损坏，缓冲件38借由支撑结构40维持玻璃基座32的水平共面，并借由保护结构42保护探针卡10反面1004探针，避免人为压迫而损坏及移动。可抽换式玻璃34针对不同的晶圆12制作不同的遮罩薄膜48，遮罩薄膜48上的定位点系应不同的晶圆12规格而制作。如图4所示，玻璃基座32连接转动轴承30，并借由固设于玻璃基座32上的翻转把手36翻转调整玻璃基座32；将符合测试晶圆12的可抽换式玻璃34放置于玻璃基座32上，借由玻璃微调件46调整玻璃基座32的水平共面，且使水平共面的误差为标准值的0.4μm(密尔)，然后以玻璃固定件44将可抽换式玻璃34固定于玻璃基座32上；翻转调整玻璃基座32时借由缓冲件38缓冲玻璃基座32翻转至水平共面的速度，以防止探针卡10反面1004探针损坏，且以支撑件40维持玻璃基座32的水平共面。如图3所示，本专利技术可掀式探针卡反面调针方法包括如下步骤步骤一固定探针卡10以探针卡10的反面1004朝上将探针卡10设于调针机平台18上，并借由固定结构26将探针卡10固定于调针机平台18上。步骤二安装可掀式探针卡反面调针治具24 如图5所示，借由固设于玻璃基座32上的翻转把手36将玻璃基座32翻转调整至垂直共面；可抽换式玻璃34系针对不同的晶圆12制作不同的遮罩薄膜48，遮罩薄膜48上的定位点系应不同的晶圆12规格而制作；将符合测试晶圆12的可抽换式玻璃34放置于玻璃基座32上；然后以玻璃固定件44将可抽换式玻璃34固定于玻璃基座32上；借由固设于玻璃基座32上的翻转把手36翻转调整玻璃基座32至水平共面，并借由缓冲件38缓冲玻璃基座32翻转至水平共面的速度，以防止探针卡10反面1004探针损坏，且以支撑件40维持玻璃基座32的水平共面；借由玻璃微调件46调整玻璃基座32的水平共面，且使水平共面的误差为标准值的0.4μm(密尔)。步骤三调整探针卡针位如图6、图7所示，在具有遮罩薄膜的可抽换式玻璃34下，使用电子显微镜22观看可抽换式玻璃34上的遮罩薄膜48，再使用镊子调整调整探针卡10反面1004探针1006的针位，以使探针1006的针位对准遮罩薄膜48上的数个定位点。由于本专利技术可将探针卡10的探针1006精准地移动到正本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可掀式探针卡反面调针治具，它包括电子显微镜；其特征在于所述的调针机平台上固设底座；底座设有转动结构；转动结构连设放置可抽换玻璃的玻璃基座及借以缓冲玻璃基座翻转至水平共面时的速度的缓冲件；玻璃基座上设有并借以翻转调整玻璃基座的翻转结构。2.根据权利要求1所述的可掀式探针卡反面调针治具，其特征在于所述的转动结构为转动轴承。3.根据权利要求1所述的可揪式探针卡反面调针治具，其特征在于所述的翻转结构为翻转把手。4.根据权利要求1所述的可掀式探针卡反面调针治具，其特征在于所述的设置固定结构的调针机平台上设有借以保护探针卡探针避免受压损坏及移动的保护结构。5.根据权利要求1所述的可掀式探针卡反面调针治具，其特征在于所述的玻璃基座上设有借以调整玻璃基座水平共面的玻璃微调件。6.根据权利要求1所述的可掀式探针卡反面调针治具，其特征在于所述的调针机平台上固定设...

【专利技术属性】
技术研发人员：林林宝，
申请(专利权)人：旺宏电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：