【技术实现步骤摘要】
本专利技术系关于一种压力计的缓冲器,特别关于一种用来保护测量干蚀刻反应室内压力的压力计感应器的缓冲器。
技术介绍
在微电子装置,例如发光二极管和平面显示器等的制作中,蚀刻制程(dryetch processing)常用来选择性移除一基板表面上的一图案化的薄膜材料。在干蚀刻制程中,将一气体导入一千蚀刻反应室内,并施加一电场,使该气体被激发而产生一电浆,以作为蚀刻媒介。该电浆使该气体崩溃形成反应性粒子,并解离该气体,促进该等气体粒子在该电场的影响下往该基板移动,于是该等气体离子轰击该基板表面,与该基板表面上的特定薄膜材料发生反应,将该特定薄膜材料从该基板表面上除去。图1为一干蚀刻机台(dry etcher)的反应室1与压力计(gauge)2的相对位置示意图。真空管3连接反应室1与压力计2。真空管3是锁入该反应室壁(chamber wall)内与该反应室1的窗口(window)连通,且该压力计2与该真空管3相接处有一开关阀(valve)21。当该开关阀21打开时,在该压力计2前方的感应器(gauge sensor)22就可读取该反应室1内的压力。如图1所示,该干蚀刻反应室(dry etching chamber)1在进行反应时所产生的电浆气体粒子团,于压力计2的开关阀21打开时,就直接冲击到感应器22,并渐渐地沉积附着在感应器22上。经过一段时间后,感应器22的灵敏度就会产生偏差,导致感应器22无法正确读取该反应室1内的压力,而影响产品的品质。因此,在现有制程中,必须经常对感应器22进行校正,严重时甚至必须更换新的感应器。因此,急需解决上述现有的用来测量干蚀刻 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于干蚀刻反应室的压力计感应器的缓冲器,包括一真空管,连接该反应室与该压力计,其特征在于至少一板片,设置在该真空管内壁上,用来阻挡该反应室的电浆直接冲击该感应器。2.根据权利要求1所述的用于干蚀刻反应室的压力计感应器的缓冲器,其中所述的板片为不锈钢片。3.根据权利要求1所述的用于干蚀刻反应室的压力计感应器的缓冲器,其特征在于还包括一网状结构,设置在所述的真空管靠近该反应室的前端处。4.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭顺煌,杨世雄,梁忠棋,黄明夷,
申请(专利权)人:友达光电股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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