【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在处于减压状态的容器内，由高频电压产生等离子，由该等离子将设置在容器内的被处理物清洗的等离子清洗装置。等离子清洗装置以电子领域为首，在很多领域中，用于除去在金属、绝缘物、以及其他的各种物品的表面附着的污染物质，使表面活化，增加表面的潮湿度等目的。
技术介绍
等离子清洗装置，在真空容器中导入处理气体，并减压到低于大气压，在与高频电源连接的活性电极与接地的地线电极或容器之间施加高频电压使之产生等离子，由这个等离子将设置在容器内的被处理物质进行清洗处理，可以预期，它将代替迄今为止使用的氟隆等的清洗液的清洗(请参照日本特许公开公报特开2002-141324号公报、特开2002-153832号公报、特开2002-126675号公报、特开2002-126674号公报等)。在等离子中存在离子、电子、原子团、紫外线等，这些对被处理物的清洗有贡献。在容器内，设置有连接高频电源的活性电极，在其与接地电位连接的容器之间，或者与活性电极对峙设置的接地电位的对峙电极之间产生等离子。被处理物在产生等离子的空间内一般与活性电极对峙地配置。作为其他的形式，还有作为地线电极使用格...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子清洗装置，是一种具备由连接于等离子发生用电源的活性电极与接地的地线电极组成的一对对峙电极的容器中导入处理气体，将该容器减压到低于大气压，使之发生等离子，通过该等离子清洗被放置在该容器内的被处理物的等离子清洗装置，其特征在于将被处理物的放置位置设置在所述对峙电极的对峙空间的外侧，并且在被处理物上连接电气导通路径。2.如权利要求1所述的等离子清洗装置，其特征在于被处理物的所述设置位置是相对所述地线电极的与所述活性电极相反侧的位置。3.如权利要求1或2所述的等离子清洗装置，其特征在于所述电气导通路径具备向被处理物提供电位的副电源。4.如权利要求3所述的等离子清洗装置，其特征在于所述副电源是直流电源。5.如权利要求4所述的等离子清洗装置，其特征在于所述直流电源是输出电位可变的电源。6.如权利要求3所述的等离子清洗装置，其特征在于所述副电源是交流电源。7.如权利要求3～6中任意一项所述的等离子清洗装置，其特征在于在所述副电源与被处理物之间具备电阻器。8.如权利要求3～6中任意一项所述的等离子清洗装置，其特征在于在所述副电源与被处理物之间，具有被处理物侧为阳极的方向的二极管。9.如权利要求3～6中任意项所述的等离子清洗装置，其特征在于在所述副电源与被处理物之间具有串联连接电阻器和被处理物侧为阳极方向的二极管的串联电路。10.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：野田吉昭，肥山道行，泷本胜英，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：
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