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一种等离子清洗装置，是一种具备由连接于等离子发生用电源的活性电极与接地的地线电极组成的一对对峙电极的容器中导入处理气体，将该容器减压到低于大气压，使之发生等离子，通过该等离子清洗被放置在该容器内的被处理物的等离子清洗装置，其特征在于：　　　...
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