喷液头用半导体装置、喷液头及喷液装置制造方法及图纸

提供一种喷液头用半导体装置、喷液头及喷液装置。在构成喷射墨等液体的喷液头的半导体装置中，备有具有多个记录元件和驱动元件的对的段，在半导体基板上的第一布线层中形成将配置在同一段内的各驱动元件的第一端子互相连接用的第一布线，驱动元件的第二端子和记录元件的第一端子一一相对地连接，在记录元件的第二端子上用与第一布线层不同的布线层形成电源布线，同时用第一布线层形成将配置在同一段内的记录元件的第二端子互相连接起来的辅助布线。因此，能不发生段内的布线电阻值的离散，进行良好的调整。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及构成例如喷出墨等液体的喷液头用的喷液头用半导体装置、使用这样的喷液头用半导体装置的喷液头及喷液装置。
技术介绍
从喷射口喷出液体的喷液头能作为喷墨方式的记录头用，例如使用墨作为液体，根据记录信号控制墨的喷出，使墨附着在记录媒体上。另外，备有这样的喷液头的喷液装置例如能作为喷墨记录装置用。这里，说明喷墨方式的记录方法，喷墨记录法(液体喷射记录法)工作时发生的噪声极其微小，小到了能忽略的程度，能高速记录，而且不需要进行固定方面的特别处理，能在普通纸上进行记录等，极其优良，最近正成为打印方式的主流。特别是在利用热能的喷墨记录头中，通过将由电热变换体(加热器)发生的热能赋予液体，在液体中有选择地发生发泡现象，利用该发泡的能量，从喷射口喷出墨滴。图13表示以现有的喷液头为代表，安装在喷墨方式的记录装置中的记录头的电路结构。例如特开平05-185594号公报所述，用半导体工艺技术，能在同一硅半导体基板上形成这种记录头的电热变换元件(加热器)及其驱动电路。如图13所示，在半导体基板上设置多个发生喷出墨用的热的加热器(电热变换元件)101，对各加热器101连接将所希望的电流供给该加热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷液头用半导体装置，具有多个记录元件、和针对每个上述记录元件设置的驱动对应的记录元件的驱动元件，其特征至少在于：　　　　具有在半导体基板上形成的至少第一布线层及第二布线层，　　　　由多个上述记录元件和上述驱动元件的对形成段，在上述第一布线层中形成用来将配置在同一段内的上述各驱动元件的第一端子互相连接并接地的第一布线，　　　　上述驱动元件的第二端子和上述记录元件的第一端子一对一地连接，　　　　在上述记录元件的第二端子上用上述第二布线层形成电源布线，使得根据输入到上述驱动元件的第三端子中的控制信号，使电流流过上述记录元件，同时　　　　用上述第一布线层形成将配置在同一段内的上述记录元件的第二端子...

【技术特征摘要】
JP 2003-9-8 315532/20031.一种喷液头用半导体装置，具有多个记录元件、和针对每个上述记录元件设置的驱动对应的记录元件的驱动元件，其特征至少在于具有在半导体基板上形成的至少第一布线层及第二布线层，由多个上述记录元件和上述驱动元件的对形成段，在上述第一布线层中形成用来将配置在同一段内的上述各驱动元件的第一端子互相连接并接地的第一布线，上述驱动元件的第二端子和上述记录元件的第一端子一对一地连接，在上述记录元件的第二端子上用上述第二布线层形成电源布线，使得根据输入到上述驱动元件的第三端子中的控制信号，使电流流过上述记录元件，同时用上述第一布线层形成将配置在同一段内的上述记录元件的第二端子互相连接起来的辅助布线。2.根据权利要求1所述的喷液头用半导体装置，其特征在于上述记录元件是加热器，上述驱动元件是功率晶体管，针对上述的每一个对把上述记录元件的第二端子和上述驱动元件的第二端子互相连接。3.根据权利要求1所述的喷液头用半导体装置，其特征在于上述电源布线设置在每一段中，在上述第二布线层中，针对上述的每一个上述段形成通过通孔连接在该段的上述第一布线上的GND布线。4.根据权利要求3所述的喷液头用半导体装置，其特征在于在上述半导体基板上设置连接在上述各电源布线上的第一键合焊盘、以及连接在上述各GND布线上的第二键合焊盘，选择每一段的上述电源布线及上述GND布线的布线宽度，使得从上述第一键合焊盘经过上述电源布线、上述对及上述GND布线到达上述第二键合焊盘的布线电阻与段无关地均匀化。5.根据权利要求1所述的喷液头用半导体装置，其特征在于用任意个数的上述对构成块，针对每一个上述块分时驱动上述记录元件。6.根据权利要求5所述的喷液头用半导体装置，其特征在于上述各段分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：大村昌伸，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]