感光性树脂组合物以及使用其的图案形成方法技术

本发明专利技术提供作为适用于形成液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件的保护膜和层间绝缘膜的感光性树脂组合物所希望的所谓“由于能形成透明性、耐热性、平整性优异的保护膜或层间绝缘膜，且涂布性、显影性优异，即使在大型衬底上也可容易形成均匀被膜，并且贮存稳定性良好”的特性得到更进一步提高的感光性树脂组合物以及使用其的图案形成的方法。本发明专利技术使构成组分至少为（ａ）不饱和羧酸或不饱和羧酸酐与含环氧基的聚合性不饱和化合物的共聚物、（ｂ）必须具有苯乙烯和／或苯乙烯衍生物单体单元和不饱和有机酸单体单元的聚合物、（ｃ）含有醌二叠氮基的化合物和（ｄ）有机溶剂，并使与上述（ｂ）聚合物的组成比平均值偏离超过３％的组成比的聚合物，相对于该（ｂ）聚合物的含有比例为２０质量％以下。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，特别是涉及适用于形成被用于液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件的保护膜和层间绝缘膜的。
技术介绍
一直以来，感光性树脂组合物被用于形成以防止液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件的劣化或损伤为目的的保护膜、和为使设置成层状的布线之间进行绝缘而设的层间绝缘膜。其中，在液晶显示元件的情况下，例如TFT液晶显示元件，是这样制造的在玻璃衬底上，设置偏振片，形成ITO等透明导电电路层和薄膜晶体管(TFT)、用层间绝缘膜进行覆盖而形成背面板，另一方面在玻璃板上设置偏振片，根据需要形成黑底层和滤色层的图案、再依次形成透明导电电路层、层间绝缘膜而形成上面板，使该背面板和上面板中间留出间隔而相对设置，在两板之间封入液晶。在制造这种元件时，作为所使用的感光性树脂组合物，需要能够形成具有优良的透明性、耐热性、显影性、平坦性的被膜。作为上述感光性树脂组合物，例如，特开平5-165214号公报中提出了含有(A)作为(a)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐、(b)含环氧基的自由基聚合性化合物和(c)其它自由基聚合性化合物的共聚物的可溶于碱性水溶液的树脂，及(B)含有辐射敏感本文档来自技高网...

【技术保护点】
感光性树脂组合物，其特征在于，它是含有（ａ）不饱和羧酸或不饱和羧酸酐与含环氧基的聚合性不饱和化合物的共聚物、（ｂ）必须具有苯乙烯和／或苯乙烯衍生物单体单元和不饱和有机酸单体单元的聚合物、（ｃ）含有醌二叠氮基的化合物和（ｄ）有机溶剂的感光性树脂组合物，其中使上述（ｂ）聚合物中与组成比平均值偏离超过３％的组成比的聚合物相对于该（ｂ）聚合物的含有比例为２０质量％以下。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谷津克也，
申请(专利权)人：东京応化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]