下载感光性树脂组合物以及使用其的图案形成方法的技术资料

文档序号:3203782

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本发明提供作为适用于形成液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件的保护膜和层间绝缘膜的感光性树脂组合物所希望的所谓“由于能形成透明性、耐热性、平整性优异的保护膜或层间绝缘膜,且涂布性、显影性优异,即使在大型衬底上也可容易形成均匀被...
该专利属于东京応化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京応化工业株式会社授权不得商用。

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