【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种静电放电防护组件,特别有关于一种应用于高压组件的静电放电防护组件结构。
技术介绍
在半导体装置中,静电放电(ESDelectrostatic discharge)经常在干燥环境下因碰触带静电体而自芯片的输出入垫(I/O pad)侵入,造成集成电路损伤。当CMOS制程技术缩小到次微米阶段,先进的制程技术,例如更薄的栅极氧化层,更短的通道长度,更浅的汲极/源极接面深度,LDD(低掺杂浓度汲极)结构,以及金属硅化物(silicided)扩散层等,这些先进的制程反而严重地降低CMOS IC的静电放电防护能力,根据目前的工业标准,IC组件中集成电路的输出入端(I/O pad)需能承受超过2000V的人体模型ESD应力以及超过200V的机械模型ESD模型,因此,为了防止ESD放电造成IC内部电路的损害,通常在输出垫片至内部电路间会设置ESD防护电路或ESD防护组件以防止ESD损害。目前越来越多的自动化及消费型电子产品应用在高压领域中,例如喷墨头驱动IC即须使用高压制程,而应用在高压电路的传统ESD防护组件结构,以N型金氧半场效晶体管(NMOS)为例,其是如图1a及图1b所示,图1a是一习知高压NMOS晶体管的俯视图;图1b则为图1a沿着A-A′切线的剖面图,NMOS组件1其源极N+掺杂区11与门极13是耦接至接地端,汲极N+掺杂区12则耦接至输出入垫片上(I/O pad),在汲极N+掺杂区12下方形成一n型井区14用以作为缓冲,当发生静电放电时,藉由寄生NPN双载子晶体管(lateral BJT)的导引(bypass)来保护内部电路。然而,过 ...
【技术保护点】
一静电放电防护组件结构,是包括:一基板;一沟道区域,形成于该基板表面的既定位置上,该沟道区域具有一第一侧及一第二侧;一源极区域,邻接于该第一侧;及一汲极区域,邻接于该第二侧,是包括一浓掺杂区域及形成于该浓掺杂 区域下方的一淡掺杂井区,其中,该浓掺杂区域的宽度是沿一纵轴方向而变化,使该浓掺杂区域的一侧边至该沟道区域的该第二侧呈不等距离。
【技术特征摘要】
1.一静电放电防护组件结构,是包括一基板;一沟道区域,形成于该基板表面的既定位置上,该沟道区域具有一第一侧及一第二侧;一源极区域,邻接于该第一侧;及一汲极区域,邻接于该第二侧,是包括一浓掺杂区域及形成于该浓掺杂区域下方的一淡掺杂井区,其中,该浓掺杂区域的宽度是沿一纵轴方向而变化,使该浓掺杂区域的一侧边至该沟道区域的该第二侧呈不等距离。2.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是该静电防护组件是一N型金属氧化半导体(NMOS)组件,其中该源极区域是N型掺杂区;该汲极区域的该浓掺杂区域及该淡掺杂井区是N型掺杂区该基板是一P型掺杂基板。3.根据权利要求2所述的静电放电防护组件结构,其特征是该源极区域是耦接至一接地端,该浓掺区域是耦接至一输出入垫片。4.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是该静电防护组件是一P型金属氧化半导体(PMOS)组件,其中该源极区域是P型掺杂区;该汲极区域的该浓掺杂区域及该淡掺杂井区是P型掺杂区,该基板是N型掺杂基板。5.根据权利要求4所述的静电放电防护组件结构,其特征是该源极区域是耦接至一高电源端,该浓掺杂区域是耦接至输出入垫片上。6.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是在该浓掺杂区域及该沟道区域之间,更进一步设有一绝缘层。7.根据权利要求6所述的静电放电防护组件结构,其特征是在该浓掺杂区域被该绝缘层所环绕,且该浓掺杂区域与该绝缘层相接触(butting)。8.根据权利要求6所述的静电放电防护组件结构,其特征是在该浓掺杂区域被该绝缘层所环绕,且该浓掺杂区域与该绝缘层不相接触。9.根据权利要求8所述的静电放电防护组件结构,其特征是该绝缘层是浅通道绝缘层。10.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是该浓掺杂区域的该侧边是形成数个梯形凸出。11.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是该浓掺杂区域的该侧边是形成数个三角状凸出。12.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是该浓掺杂区域的该侧边是形成数个圆弧状凸出。13.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是该静电放电防护组件具有复数沟道区域以及复数源极区域,该汲极区域是一共享汲极,以形成一指状MOS。14.根据权利要求1所述的静电放电防护组件结构,其特征是该沟道区域上设有栅极结构,且该栅极结构耦接到一电源线或是受一前置驱动电路控制。15.一指状静电放电防护组件结构,是包括一基板;二源极区域,形成于该基板表面的既定位置上;一汲极区域,设于该源极区域之间,该汲极区域具有至少一浓掺杂区域及形成于该浓掺杂区域下方的一淡掺杂井区;二沟道区域,各该沟...
【专利技术属性】
技术研发人员:柯明道,林昆贤,林耿立,
申请(专利权)人:世界先进积体电路股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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