用于增强型微电子装置搬运的设备和方法制造方法及图纸

本专利申请涉及用于增强型微电子装置搬运的设备和方法。一种设备包括：拾取臂，其具有拾取表面，所述拾取表面经配置以用于在其上接收微电子装置；驱动件，其用于使所述拾取臂移动且使所述拾取表面在X、Y和Z平面中以及围绕水平旋转轴线和竖直旋转轴线重新定向；以及传感器装置，其由所述拾取臂承载且经配置以检测在所述拾取表面与所述拾取表面所接触的结构之间或结构与所述拾取表面上承载的微电子装置之间施加的力的至少一个量值或力的至少一个位置中的至少一者。还公开了相关方法。个位置中的至少一者。还公开了相关方法。个位置中的至少一者。还公开了相关方法。

【技术实现步骤摘要】
用于增强型微电子装置搬运的设备和方法
[0001]优先权声明
[0002]本申请要求2020年7月15日申请的第16/930,144号美国专利申请“用于增强型微电子装置搬运的设备和方法(APPARATUS AND METHODS FOR ENHANCED MICROELECTRONIC DEVICE HANDLING)”的申请日的权益。


[0003]本文公开的实施例涉及用于对微电子装置的增强型搬运的设备和方法。更具体地说，本文公开的实施例涉及用于减少在物理操控微电子装置期间损坏此类装置的可能性的方法和设备。

技术介绍

[0004]随着电子装置和系统的性能提高，存在提升此类系统的微电子部件的性能、同时维持或甚至缩小微电子装置或组件的外观尺寸(即，长度、宽度和高度)的相关联需求。此类需求通常但非排他地与移动装置和高性能装置相关联。为了维持或减小呈微电子装置(例如，半导体裸片)形式的部件组件的占据面积和高度，配备有用于堆叠的部件之间的竖直电(即，信号、电力、接地/偏置)通信的所谓的穿硅通孔(TSV)的经堆叠部件的三维(3D)组件已变得本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于搬运微电子装置的设备，其包括：拾取臂，其具有拾取表面，所述拾取表面经配置以用于在其上接收微电子装置；驱动件，其用于使所述拾取臂移动且使所述拾取表面在X、Y和Z平面中以及围绕水平旋转轴线和竖直旋转轴线重新定向；以及传感器装置，其由所述拾取臂承载且经配置以检测在所述拾取表面与所述拾取表面所接触的结构之间或结构与所述拾取表面上承载的微电子装置之间施加的力的至少一个量值或力的至少一个位置中的至少一者。2.根据权利要求1所述的设备，其中所述传感器装置包括单个传感器元件。3.根据权利要求2所述的设备，其中所述单个传感器元件包括荷重计、非方向性压电冲击传感器、电容式MEMS力传感器、三轴MEMS压电力传感器或适于感测位置的压电致动器。4.根据权利要求1所述的设备，其中所述传感器装置包括多个传感器元件。5.根据权利要求4所述的设备，其中所述多个传感器元件作为单独元件制造且组合，或在单个结构中制造为较大材料的个别段。6.根据权利要求5所述的设备，其中所述多个传感器元件包括选择性金属化的压电聚合物膜、多个三轴MEMS压电负载传感器或多个压阻式传感器元件。7.根据权利要求4、5或6中任一项所述的设备，其中所述多个传感器元件被配置成传感器元件行和列的阵列。8.根据权利要求1到6中任一项所述的设备，其中所述传感器装置经配置以产生表示力的所述至少一个量值的信号，且所述设备经配置以将所述信号传达到控制器，所述控制器经编程以控制所述驱动件来移动所述拾取臂和重新定向所述拾取表面。9.根据权利要求8所述的设备，其中所述控制器经编程以使所述拾取臂朝向结构的移动响应于所述信号表示处于或高于阈值的力量值而停止。10.根据权利要求9所述的设备，其中所述阈值力量值被预选且编程到所述控制器。11.根据权利要求9所述的设备，其中所述控制器经编程以响应于所述代表性信号而使所述拾取臂将所述微电子装置从第一既定目的地转移到第二目的地。12.根据权利要求1到6中任一项所述的设备，其中所述传感器装置经配置以产生表示施加的力的所述至少一个位置的信号，且所述设备经配置以将所述信号传达到控制器，所述控制器经编程以控制所述驱动件来移动所述拾取臂和重新定向所述拾取表面。13.根据权利要求12所述的设备，其中所述控制器经编程以响应于所述信号表示力施加于单个接触点处、处于或低于预定数目的多个接触点处、多个接触点布置成线、接触跨所述拾取表面小于约90％的表面积、所述拾取表面相对于面对的结构表面的不平行定向或所述拾取表面与面对的结构表面的旋转未对准而使所述拾取臂朝向结构的移动停止。14.根据权利要求13所述的设备，其中所述控制器经编程以响应于所述代表性信号而使所述拾取臂将所述微电子装置从第一既定目的地转移到第二目的地。15.根据权利要求1到6中任一项所述的设备，其中所述传感器装置经配置以产生表示施加的力的所述至少一个量值和施加的力的所述至少一个位置的信号，且所述设备经配置以将所述信号传达到控制器，所述控制器经编程以控制所述驱动件来移动所述拾取臂和重新定向所述拾取表面。16.根据权利要求15所述的设备，其中所述控制器经编程以响应于以下的一或多者而
使所述拾取臂朝向结构的移动停止：信号表示施加的力的量值处于或高于阈值量值或信号表示力施加于单个接触点处、处于或低于预定数目的多个接触点处，多个接触点布置成线，接触跨所述拾取表面的小于约90％的表面积，所述拾取表面相对于面对的结构表面的不平行定向高于阈值锐角，或所述拾取表面与面对的结构表面的旋转未对准。17.根据权利要求15所述的设备，其中所述控制器经编程以响应于所述信号而根据所述代表性信号中的至少一些来确定所述拾取表面到所述拾取表面接触的结构表面或由所述拾取表面承载的微电子装置的不平行定向的位置。18.根据权利要求17所述的设备，其中所述控制器经编程以使所述拾取臂朝向所述结构的移动在确定不平行定向高于阈值锐角后停止。19.根据权利要求1到6中任一项所述的设备，其中所述拾取臂包含承载所述拾取表面的工装，所述工装特定于待由所述拾取臂搬运的一定大小和形状的微电子装置。20.根据权利要求19所述的设备，其中所述传感器装置定位于所述工装与以可操作方式耦合...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾冠维，B，
申请(专利权)人：美光科技公司，
类型：发明
国别省市：