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本专利申请涉及用于增强型微电子装置搬运的设备和方法。一种设备包括：拾取臂，其具有拾取表面，所述拾取表面经配置以用于在其上接收微电子装置；驱动件，其用于使所述拾取臂移动且使所述拾取表面在X、Y和Z平面中以及围绕水平旋转轴线和竖直旋转轴线重新定...
该专利属于美光科技公司所有，仅供学习研究参考，未经过美光科技公司授权不得商用。

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