抛光设备制造技术

上抛光板向下移动一直到面向下抛光板为止以便抛光工件。上抛光板连同第一弹性件、第二弹性件、外部件和连接件一起在一水平面中旋转。推压外部件或内部件向上的第一压力和推压外部件或内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出第一封闭空间中而在第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抛光例如晶片之类工件的抛光设备。
技术介绍
在日本专利公报No.11-48126中披露一种传统抛光设备。该抛光设备显示在图7中。在抛光设备10中，上抛光板12连同竖杆14a、连接部分14b、旋转板15及连杆16等一起被设置在底座13上的气缸单元14垂直地移动。连接部分包括一个适当的机构，例如万向接头，用于使上抛光板沿下抛光板18的上表面旋转。键19与旋转头20的键槽接合。按照这样的结构，上抛光板12由带有轴20a、齿轮及减速齿轮单元21的马达22在一水平面中转动。另一方面，下抛光板18由带有中空轴18a、齿轮及减速齿轮单元21的马达22所转动。中心(太阳)齿轮23被带有轴23a、齿轮及减速齿轮单元21的马达22所转动。内齿轮24也由带有轴24a、齿轮及减速齿轮单元21的马达22所转动。运载器25与中心齿轮23及内齿轮24接合，使运载器能够执行太阳与行星系统运动。工件26配置在各运载器25的通孔中并且与运载器25一起运动。通过旋转抛光板12和18，能够抛光各工件26的上、下两个表面。在设备10中，在抛光工件时，上抛光板12被气缸单元14所悬挂。施加在工件26上的上抛光板12的压力由加压流体的压力所调节，而加压流体施加于气缸单元14下缸室中。通过调节压力，从上抛光板12对于工件26的压力可以调节到一定范围，该范围是从小于上抛光板12重量到等于上抛光板12重量。注意，通过对于气缸单元14的上缸室供应加压流体可以对于工件26施加大于上抛光板12重量的压力。不过，传统抛光设备10具有下列缺点。首先，设置在气缸单元14的竖杆14a上端的活塞在气缸单元14的缸内表面滑动。因此，在活塞密封件和气缸内表面之间产生摩擦，因此难以精确地控制上抛光板12的垂直运动。特别是当气缸单元14从停止状态开动时，摩擦系数从高静力摩擦系数改变到低动力摩擦系数，使其很容易发生敲击。驱动抛光板12及18的驱动力，中心齿轮23及内齿轮24均由各种齿轮传动，而键19接合在连接于上抛光板12的旋转头20的键槽中。因此，在各齿轮之间和键与键槽之间均可产生间隙，使其中很容易发生振动。如果工件26较薄，它们将被振动所损坏或者打碎。专利技术概要本专利技术目的是解决传统抛光设备的缺点。本专利技术一个目的是提供一种抛光设备，它能够线性地和精确地控制从上抛光板对于工件施加的压力，并且能够适当地抛光薄型工件。为达到上述目的，本专利技术具有下列结构。就是，本专利技术抛光设备包括下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间的工件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其中所述夹持机构包括内部件；外部件，具有上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第一弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第一弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部件的上开口端；第二弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第二弹性件连接所述内部件的下部和所述外部件的下部，并且封闭所述外部件的下开口端；第一封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第一弹性件和所述第二弹性件所包围；和流体供应部分，供应加压流体进入所述第一封闭空间，所述内部件和所述外部件之一连接到旋转驱动单元，另一个连接到所述上抛光板，并且所述上抛光板与所述内部件及所述外部件通过所述旋转驱动单元在一水平面中旋转，并且推压所述外部件或所述内部件向上的第一压力和推压所述外部件或所述内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出所述第一封闭空间而在所述第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。本专利技术另一抛光设备包括下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间的工件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其中所述夹持机构包括内部件；外部件，具有上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第一弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第一弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部件的上开口端；第二弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第二弹性件连接所内部件的下部和所述外部件的下部，并且封闭所述外部件的下开口端；第一封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第一弹性件和所述第二弹性件所包围；流体供应部分，供应加压流体进入所述第一封闭空间；旋转驱动单元，连接所述内部件和所述外部件之一；连接件，连接所述内部件和所述外部件中另一个到所述上抛光板；和垂直驱动单元，设置在所述上抛光板上面，所述垂直驱动单元相对于所述下抛光板垂直地移动所述旋转驱动单元和所述上抛光板；和所述上抛光板通过所述垂直驱动单元向下移动以面对所述下抛光板，所述上抛光板与所述内部件、所述外部件和所述连接件一起通过所述旋转驱动单元在一水平面中旋转，并且推压所述外部件或所述内部件向上的第一压力和推压所述外部件或所述内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出所述第一封闭空间而在所述第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。在抛光设备中，第一压力可以大于第二压力，并且第三压力的范围可以从小于上抛光板的重量到等于其重量的范围。在抛光设备中，第一压力可以小于第二压力，并且第三压力的范围可以从大于所述上抛光板重量的力到等于其重量的力。在抛光设备中，转动内部件和外部件之一的力矩可以由第一弹性件和第二弹性件传递到其中另一个。在另外一种情况，转动内部件和外部件之一的力矩可以由传动销传递到其中另一个。还有，本专利技术的抛光设备可包括下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间工的件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其中所述夹持机构包括内部件；外部件，具有上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第三弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第三弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部件的上开口端；第四弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第四弹性件连接所述内部件的中部和所述外部件的中部，并且封闭其间的空隙；第五弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第五弹性件连接所述内部件的下部和所述外部件的下部，并且封闭所述外部件的下开口端；第二封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第三弹性件和所述第四弹性件所包围；第三封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第四弹性件和所述第五弹性件所包围；第一流体供应部分，供应加压流体进入所述第二封闭空间；第二流体供应部分，供应加压流体进入所述第三封闭空间，所述内部件和所述外部件之一连接到旋转驱动单元，另一个连接到所述上抛光板，以及所述上抛光板与所述内部件、所述外部件及连接件一起通过所述旋转驱动单元在一水平面中旋转，并且推压所述外部件或所述内部件向上的第一压力和推压所述外部件或所述内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出所述第二封闭空间和/或所述第三封闭空间中而在所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种抛光设备，包括：下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间的工件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其中所述夹持机构包括：内部件；外部件，具有 上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第一弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第一弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部件的上开口端；第二弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预 定宽度的环形，所述第二弹性件连接所述内部件的下部和所述外部件的下部，并且封闭所述外部件的下开口端；第一封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第一弹性件和所述第二弹性件所包围；和流体供应部分，供应加压流体进入 所述第一封闭空间，所述内部件和所述外部件之一连接到旋转驱动单元，另一个连接到所述上抛光板，并且所述上抛光板与所述内部件及所述外部件通过所述旋转驱动单元在一水平面中旋转，并且推压所述外部件或所述内部件向上的第一压力和推压所述外 部件或所述内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出所述第一封闭空间而在所述第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。...

【技术特征摘要】
JP 2004-8-12 2004-2352131.一种抛光设备，包括下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间的工件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其中所述夹持机构包括内部件；外部件，具有上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第一弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第一弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部件的上开口端；第二弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第二弹性件连接所述内部件的下部和所述外部件的下部，并且封闭所述外部件的下开口端；第一封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第一弹性件和所述第二弹性件所包围；和流体供应部分，供应加压流体进入所述第一封闭空间，所述内部件和所述外部件之一连接到旋转驱动单元，另一个连接到所述上抛光板，并且所述上抛光板与所述内部件及所述外部件通过所述旋转驱动单元在一水平面中旋转，并且推压所述外部件或所述内部件向上的第一压力和推压所述外部件或所述内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出所述第一封闭空间而在所述第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。2.一种抛光设备，包括下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间的工件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其中所述夹持机构包括内部件；外部件，具有上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第一弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第一弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部件的上开口端；第二弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第二弹性件连接所内部件的下部和所述外部件的下部，并且封闭所述外部件的下开口端；第一封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第一弹性件和所述第二弹性件所包围；流体供应部分，供应加压流体进入所述第一封闭空间；旋转驱动单元，连接所述内部件和所述外部件之一；连接件，连接所述内部件和所述外部件中另一个到所述上抛光板；和垂直驱动单元，设置在所述上抛光板上面，所述垂直驱动单元相对于所述下抛光板垂直地移动所述旋转驱动单元和所述上抛光板；和所述上抛光板通过所述垂直驱动单元向下移动以面对所述下抛光板，所述上抛光板与所述内部件、所述外部件和所述连接件一起通过所述旋转驱动单元在一水平面中旋转，并且推压所述外部件或所述内部件向上的第一压力和推压所述外部件或所述内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出所述第一封闭空间而在所述第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。3.按照权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，第一压力大于第二压力，和第三压力的范围是从小于所述上抛光板重量的力到等于其重量的力。4.按照权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，第一压力小于第二压力，和第三压力的范围是从大于所述上抛光板重量的力到等于其重量的力。5.按照权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，旋转所述内部件和所述外部件之一的力矩通过所述第一弹性件和所述第二弹性件传递到另一个。6.按照权利要求2所述的抛光设备，其特征在于，旋转所述内部件和所述外部件之一的力矩通过传动销传递到另一个。7.一种抛光设备，包括下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间工的件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其中所述夹持机构包括内部件；外部件，具有上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第三弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第三弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛诚，中村由夫，宫下忠一，
申请(专利权)人：不二越机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]