碱性水溶液的精制方法技术

本发明专利技术提供一种碱性水溶液的精制方法，所述精制方法的特征是，通过使纤维状活性炭与碱性水溶液相接触，从而将碱金属和碱土类金属以外的金属成分从该碱性水溶液中除去。本发明专利技术还提供一种碱性水溶液的精制装置。本发明专利技术具有的效果是，能够将碱性水溶液中的Ｎｉ、铁等金属杂质减少到能够使该碱性水溶液作为硅片蚀刻剂使用的程度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。 本申请以2004年8月6日在日本申请的特愿2004-231330号为基础，要求优先权，并将其内容引用至本申请。
技术介绍
最近，硅片的蚀刻剂正在由不易操作使用的混酸(氢氟酸+硝酸+醋酸)朝着易于操作使用的碱性水溶液转换。但是，碱性水溶液含有源自其原料的或是从制造工序中混入的微量的铁、镍、钼和铜等金属。在对硅片进行蚀刻的时候这些含有铁、镍、钼和/或铜等金属的杂质成分渗透进硅片中并残留下来，从而使硅片的电绝缘特性发生变化。因此，目前的情况是，大量含有这些金属杂质的碱性水溶液实质上难以作为蚀刻剂使用。 为了适用于硅片蚀刻，要求控制碱性水溶液中微量含有的各金属杂质的含量在200ppb以下，优选在100ppb以下。进一步具体地说，要求铁降低至100ppb以下，更优选为10ppb以下；钼降低至100ppb以下，更优选为10ppb以下；镍降低至10ppb以下，更优选为1ppb以下；铜降低至10ppb以下，更优选为1ppb以下。 可是，作为，已知有利用活性炭的方法。但是还不知道能够将金属杂质降低至硅片蚀刻用碱性水溶液所要求的浓度的例子。作为在氢氧化钠水溶液的精制中使用活性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碱性水溶液的精制方法，所述精制方法的特征是，通过使纤维状活性炭与碱性水溶液相接触，从而将碱金属和碱土类金属以外的金属成分从该碱性水溶液中除去。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-8-6 231330/20041.一种碱性水溶液的精制方法，所述精制方法的特征是，通过使纤维状活性炭与碱性水溶液相接触，从而将碱金属和碱土类金属以外的金属成分从该碱性水溶液中除去。2.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，所述碱性水溶液是含有选自碱金属和碱土类金属的至少一种金属的至少一种氢氧化物、还含有碱金属和碱土类金属以外的金属成分的碱性水溶液。3.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，所述纤维状活性炭的平均长径比为10以上。4.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，所述纤维状活性炭的比表面积为1000m2/g以上，且其细孔容积为0.45ml/g以上。5.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，所述纤维状活性炭预先被选自盐酸、硫酸、硝酸和磷酸中的一种酸或两种以上的混酸活化。6.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，所述碱性水溶液中所含有的碱金属和碱土类金属以外的金属成分含有选自铁、镍、钼和铜中的金属。7.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，所述碱性水溶液为氢氧化钠水溶液或氢氧化钾水溶液。8.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，与纤维状活性炭相接触的碱性水溶液的金属氢氧化物的浓度为10重量％～55重量％。9.如权利要求1所述的碱性水溶液的精制方法，其中，使碱性水溶液连续地通过填充有纤维状活性炭的洗脱柱，从而使纤维状活性炭与碱性水溶液相接触。10.如权利要求9所述的碱性水溶液的精制方法，其中，填充有纤维状活性炭的洗脱柱含有至少一层纤维状活性炭层和至少一层不存在纤维状活性炭的空间层，在纤维状活性炭层的前后或纤维状活性炭层之间设置有一层以上的空间层。11.如权利要求9或10所述的碱性水溶液的精制方法，其中，将两个以上填充有纤维状活性炭的洗脱柱连结起...

【专利技术属性】
技术研发人员：安藤敬二，
申请(专利权)人：旭化成化学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]