与衬垫集成的静电放电装置制造方法及图纸

技术编号:3184500 阅读:106 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供一种与衬垫集成的静电放电(ESD)装置的结构,所述ESD装置与所述衬垫集成并形成于所述衬垫之下。通过使用所述衬垫之下的区域,所述ESD装置不占据一集成电路的额外空间。此外,由于所述衬垫为一较大的、平板的且理想的导体,所以所述连接的衬垫和所述ESD装置能够在所述ESD装置中平均分配电流。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种与衬垫集成的静电放电装置的结构,所述结构包含:一P型衬底;一N井,其形成于所述P型衬底中作为所述静电放电装置的一部分;至少一第一N+区域,其形成于所述N井外部,所述第一N+区域由场氧化物(fieldoxide )与所述N井及其内的区域、以及所述P型衬底中的其它掺杂区域绝缘;至少一第一P+区域,其形成于所述N井外部,所述第一P+区域由场氧化物与所述N井及其内的区域、所述P型衬底中的其它掺杂区域和所述第一N+区域绝缘;至少一第二N+区 域,其形成于所述N井内部;至少一第二P+区域,其形成于所述N井内部;一第一电极,其经由一包含金属的电导体连接至少一第二N+区域与至少一第二P+区域;一第二电极,其经由另一包含金属的电导体连接所述第一P+区域与所述第一 N+区域;和一衬垫,其形成于所述结构的顶部上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄志丰简铎欣林振宇杨大勇
申请(专利权)人:崇贸科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1