堆垛机制造技术

本发明专利技术涉及一种堆垛机，可适当地进行晶片的处理，其中，将具有架子、堆垛起重机等的筐体（２）放置到第一地板板块（８），并将检查处理晶片的检查装置（３）放置到与第一地板板块（８）独立的第二地板板块（９）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到一种暂时保管收容有被收容物的盒子等、并且具有对被收容物进行检查等制造上的处理的被收容物处理装置的堆垛机。
技术介绍
一直以来，在半导体制造工厂、液晶显示面板制造工厂等制造工厂中，收容有被收容物(例如半导体基板、液晶显示装置用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、光盘用基板等处理对象物)的盒子在从一个制造工序传送到其他制造工序的过程中，为了进行时间调整等暂时保管在堆垛机中。即，盒子通过堆垛机具有的堆垛起重机移载到堆垛机的架子，并暂时保管在架子上。专利文献1公开了如下构造的堆垛机为了保管时防止水分等有害物质附着到被收容物，并切实防止因带电产生的设备破坏，使分子状污染物质被去除至10ppb以下、大气压露点为-100℃以下的清净干空气充满内部。专利文献1特开2006-21913号公报并且，近些年来出现以下提案利用堆垛机中的盒子的保管时间，在堆垛机中进行对盒子中收容的被收容物的检查、加工等制造上的处理。但是，对盒子中收容的被收容物的制造上的处理在堆垛中进行时，由于堆垛起重机移载盒子时产生的振动传递到处理被收容物的被收容物处理装置，因此存在对被收容物的处理产生不良影响的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可适当进行被收容物处理的堆垛机。本专利技术的堆垛机的特征在于，具有保管单元，保管收容有被收容物的收容单元；被收容物处理单元，对上述收容单元内的上述被收容物实施制造上的处理；移载单元，在上述保管单元和上述被收容物处理单元之间移载上述收容单元，其中，上述保管单元及上述移载单元放置在第一地板板块上，并且，上述被收容物处理单元放置在与上述第一地板板块独立的第二地板板块上。根据上述构造，由于被收容物处理单元放置在与放置保管单元及移载单元的第一地板板块独立的第二地板板块上，因此可抑制移载单元移载收容单元时产生的振动传递到被收容物处理单元。从而可适当进行被收容物处理单元对被收容物的处理。在本专利技术的堆垛机中，上述第一地板板块由第一地板支撑，并且上述第二地板板块由与上述第一地板独立的第二地板支撑。根据上述构造，由于放置了被收容物处理单元的第二地板板块由第二地板支撑，而第二底板与支撑放置了保管单元及移载单元的第一地板板块的第一地板独立，因此可进一步适当地抑制移载单元移载收容单元时产生的振动传递到被收容物处理单元。在本专利技术的堆垛机中，上述第二地板板块由防振单元支撑。根据上述构造，由于放置了被收容物处理单元的第二地板板块由防振单元支撑，因此可通过防振单元适当地抑制移载单元移载收容单元时产生的振动传递到被收容物处理单元。本专利技术的堆垛机的特征在于，具有保管单元，保管收容有被收容物的收容单元；被收容物处理单元，对上述收容单元内的上述被收容物实施制造上的处理；移载单元，在上述保管单元和上述被收容物处理单元之间移载上述收容单元，其中，上述保管单元及上述移载单元放置在地板板块上，并且，上述被收容物处理单元放置在与上述地板板块独立的防振单元上。根据上述构造，由于被收容物处理单元放置在与放置保管单元及移载单元的地板板块独立的防振单元上，因此可通过防振单元抑制移载单元移载收容单元时产生的振动传递到被收容物处理单元。从而可适当进行被收容物处理单元对被收容物的处理。根据本专利技术，还提供一种地板系统，该地板系统适于在地板上方布置有筐体，该筐体能够存储多个盒，每个盒能够存储多件物品；物品处理器，用于处理每件物品；以及堆垛起重机，用于在筐体和物品处理器之间传递每个盒，所述地板系统包括第一地板组件，其位于地板与筐体和堆垛起重机中的每个之间；以及第二地板组件，其邻近第一地板组件并且和第一地板组件分开，且位于地板和物品处理器之间。第一地板组件可以包括多个第一支撑腿，它们设置在地板上并且从地板竖起；以及由所述第一支撑腿支撑的至少一个第一地板板块，其中所述至少一个第一地板板块形成第一表面，筐体和堆垛起重机设置在该第一表面上。第二地板组件可以包括多个第二支撑腿，它们不同于第一支撑腿，并且设置在地板上并从地板竖起；以及至少一个第二地板板块，它们和第一地板板块不同，并且由第二支撑腿支撑，其中所述至少一个第二地板板块形成第二表面，物品处理器设置在该第二表面上。第二地板组件可以包括第二地板，其设置在地板上方，并且独立于地板；多个第二支撑腿，它们不同于第一支撑腿，并且设置在第二地板上且从第二地板竖起；以及至少一个第二地板板块，它们不同于第一地板板块，并由第二支撑腿支撑，其中，所述至少一个第二地板板块形成第二表面，物品处理器设置在该第二表面上。第二地板组件可以包括块体，其设置在位于地板下方的第三地板上；多个第二支撑腿，它们不同于第一支撑腿，并且设置在块体上且从块体竖起；以及至少一个第二地板板块，它们不同于第一地板板块，并且由第二支撑腿支撑，其中所述至少一个第二地板板块形成第二表面，物品处理器设置在该第二表面上。第二地板组件可以包括防振单元，其设置在地板上；多个第二支撑腿，它们不同于第一支撑腿，且设置在所述防振单元上并且从防振单元竖起；以及至少一个第二地板板块，它们不同于第一地板板块，并且由第二支撑腿支撑，其中所述至少一个第二地板板块形成第二表面，物品处理器设置在该第二表面上。第二地板组件可以包括 块体，其设置在位于地板下方的第三地板上；多个第二支撑腿，它们不同于第一支撑腿，并且设置在块体上且从块体竖起；以及至少一个第二地板板块，它们不同于第一地板板块，并且由第二支撑腿支撑，其中所述至少一个第二地板板块形成第二表面，物品处理器设置在该第二表面上。第二地板组件可以包括防振单元，其设置在地板上；多个第二支撑腿，它们不同于第一支撑腿，且设置在所述防振单元上并且从防振单元竖起；以及至少一个第二地板板块，它们不同于第一地板板块，并且由第二支撑腿支撑，其中所述至少一个第二地板板块形成第二表面，物品处理器设置在该第二表面上。第二地板组件可以包括设置在地板上的防振单元，其中，防振单元形成第二表面，物品处理器设置在该第二表面上。附图说明图1是堆垛机的透视图。图2是地板板块的说明图。图3是堆垛机、地板板块及地板的侧面图。图4是堆垛机、地板板块及地板的侧面图。图5是堆垛机、地板板块及地板的侧面图。图6是堆垛机、地板板块及地板的侧面图。图7是堆垛机、地板板块及地板的侧面图。附图标记1堆垛机3检查装置8第一地板板块9第二地板板块10盒子11架子12堆垛起重机具体实施方式以下参照附图说明本专利技术涉及的堆垛机的实施方式。(第一实施方式)首先参照图1至图3说明本专利技术的第一实施方式。(堆垛机1的构造)如图1所示，堆垛机1具有作为保管单元的多段架子11，可放置多个作为收容单元的盒子10；筐体2，内部具有作为移载盒子10的移载单元的堆垛起重机12等。堆垛起重机12在堆垛机1的底面上设置的轨道13上沿长度方向往返移动，并利用堆垛机械手14将未图示的搬入口上放置的盒子10移载到架子11，或将架子11上放置的盒子10移载到未图示的传出口。并且，在筐体2的侧面2a上形成插入口2b，作为被收容物处理单元的检查装置3的检查台3a从插入口2b插入到筐体2的内部。架子11上放置的盒子10通过堆垛起重机12移载到检查台3a上时，检查装置3对作为盒子10内的被收容物的晶片(未图示)实施检查。并且，当检查结束时，检查台3a上的盒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种堆垛机，其特征在于，具有：保管单元，保管收容有被收容物的收容单元；被收容物处理单元，对所述收容单元内的所述被收容物实施制造上的处理；移载单元，在所述保管单元和所述被收容物处理单元之间移载所述收容单元，其中 ，所述保管单元及所述移载单元放置在第一地板板块上，并且，所述被收容物处理单元放置在与所述第一地板板块独立的第二地板板块上。

【技术特征摘要】
JP 2006-3-2 2006-0560831.一种堆垛机，其特征在于，具有保管单元，保管收容有被收容物的收容单元；被收容物处理单元，对所述收容单元内的所述被收容物实施制造上的处理；移载单元，在所述保管单元和所述被收容物处理单元之间移载所述收容单元，其中，所述保管单元及所述移载单元放置在第一地板板块上，并且，所述被收容物处理单元放置在与所述第一地板板块独立的第二地板板块上。2.根据权利要求1所述的堆垛机，其特征在于，所述第一地板板块由第一地板支撑，并且，所述第二地板板块由与所述第一地板独立的第二地板支撑。3.根据权利要求1所述的堆垛机，其特征在于，所述第二地板板块由防振单元支撑。4.一种堆垛机，其特征在于，具有保管单元，保管收容有被收容物的收容单元；被收容物处理单元，对所述收容单元内的所述被收容物实施制造上的处理；移载单元，在所述保管单元和所述被收容物处理单元之间移载所述收容单元，其中，所述保管单元及所述移载单元放置在地板板块上，并且，所述被收容物处理单元放置在与所述地板板块独立的防振单元上。5.一种地板系统，该地板系统适于在地板上方布置有筐体，该筐体能够存储多个盒，每个盒能够存储多件物品；物品处理器，用于处理每件物品；以及堆垛起重机，用于在筐体和物品处理器之间传递每个盒，所述地板系统包括第一地板组件，其位于地板与筐体和堆垛起重机中的每个之间；以及第二地板组件，其邻近第一地板组件并且和第一地板组件分开，且位于地板和物品处理器之间。6.如权利要求5所述的地板系统，其中，第一地板组件包括多个第一支撑腿，它们设置在地板上并且从地板竖起；以及由所述第一支撑腿支撑的至少...

【专利技术属性】
技术研发人员：村田正直，
申请(专利权)人：亚仕帝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]