用于脆性基板的传送设备制造技术

本发明专利技术提供了一种用于脆性基板的传送设备，该传送设备能够防止使用传送带传送基板时的带下方的污染。用于脆性基板的该传送设备包括：传送装置，用于传送待被切割的脆性基板；以及电机部，用于驱动传送装置，其中传送装置包括：沿环形路径行进以传送脆性基板的带部、用于支撑带部的带支撑部、以及用于抽吸带部下方的污染物的抽吸部。因此，可以减少驱动带时带下方的污染物并改善传送性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于脆性基板的传送设备，更具体地i兌，涉及 这样一种用于脆性基板的传送设备，当在用于脆性基板的切割装置 中使用传送带传送基板时，该传送设备能够防止传送带下部的污 染。
技术介绍
随着信息通信领域的快速发展，用于显示期望信息的显示装置 的重要性日益增加。到目前为止，在信息显示装置的范围内，阴极 射线管(CRT)由于自然色彩再现的多样性及屏幕的高亮度而获得 了广泛应用。然而，对大型、便携式以及高分辨率显示器的需求使得平板显 示器取代阴极射线管而获得发展。这种平板显示器广泛应用于各个领域，诸如，计算机监视器、 飞行器、太空船等等。平板显示器一般分为薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光显示器(OLED)、等离子体显示面板(PDP )等等。平板显示器通常通过在脆性基板上形成多个器件、且将基板切 割成相应的器件单元、以及将这些器件从基板上分离来制造。通常，切割脆性基板(诸如，玻璃、硅、或陶瓷基板)的方法 分成两种，即，利用具有20-200 jnm厚度的快速旋转金刚石刀片切 割基板以在基板中形成切割槽的切块(dicing)方法、以及利用由 具有0.6-2 mm厚度的金刚石尖端形成的划线轮形成切割槽以沿厚 度方向形成裂缝的划线方法。在液晶显示器(LCD)的情况下，在大的脆性基板(称为母板) 上同时形成至少两个LCD单位单元(unit cell )。在单个母才反上形成 所述至少两个LCD单位单元之后，通过单个化工序将LCD单位单 元从母板上分离。在单个化工序中，在液晶显示器中使用母板的情况下，脆性基 板由于其基板特性而具有高脆性。在切割工序期间形成于脆性基板 边缘的细小裂紋沿着薄弱点快速扩展，以切除不期望的部分，因此 从切割表面上产生许多颗粒。即，单个化工序包括在母板中形成预定深度的划线；以及向 母板施加物理沖击，以参照脆性基板的切割线利用集中在划线内的 预应力而将LCD单位单元乂人母^反上分离。以下，将参照附图说明图1描述具有传送带的用于切割基板的传统设备。如图l所示，具有传送带的用于切割基板的设备包括第一和 第二带式传送装置70和80，它们以预定间隔设置，且母板60^:置于其上并在其上移动以待切割；伺服电机90,安装在第一和第二带 式传送装置70和80的一端，以驱动第一和第二带式传送装置70 和80;以及划线装置100， i殳置于第一和第二带式传送装置70和 80之间，以划下基板60的预切割线。此处，第一和第二带式传送装置70和80包括多个传送装置 支撑梁(beam),沿Y方向以预定间隔设置在带式传送装置70和 80的下方；以及多个梁支撑4干架72和82,沿X方向i殳置，以支撑 传送装置支撑梁。此外，划线装置100包括划线头部101;导向杆，其上安装 有划线头部101;支撑杆，用于支撑导向杆的两侧；以及导轨，彼 此平行设置，以移动支撑杆。在用于切割基板的传统设备中，当第一带式传送装置70由伺 服电机90驱动时，安装在第一带式传送装置70上的基板60沿一 个方向移动。接着，当所移动基板60的预切割线设置在第一带式传送装置 70与第二带式传送装置80之间的一位置(基板60的一端安装在第 一带式传送装置70上，而基板60的另 一端安装在第二带式传送装 置80上)时，梯:纟从划线头部101，〗吏之沿与基纟反60的移动方向相 垂直的方向移动，以在基纟反60的预切割线上扭j于划线工序。当已划线基板60从第 一 带式传送装置70移动到第二带式传送 装置80上时，在第一带式传送装置70上安装新的基板，以在一定 时间之后经历划线工序。参照图2，将描述在用于切割基板的设备中使用的带式传送装 置的结构。图2是用于带式传送装置中的带式传送机构的截面图，其中图 2 (a)是带式机构的截面图，而图2 (b)示出了带式机构的操作。图2中，参考标号IO表示由橡胶形成的带，参考标号ll表示 用于支撑带10的带支撑部，参考标号12表示用于保护带支撑部的 带支撑部盖，以及参考标号13表示用于沿某一方向转动带10的一对辊。在图2所示的带式机构中，通过驱动装置(诸如图1所示的伺 月良电才几)来旋转辊13，以转动围绕辊13安装的带10, 乂人而传送力文 置于带IO上的脆性基板。然而，在该传送设备中，当带使用了较长时间时，由于带驱动 部以及带、带支撑部ll和带支撑部盖12之间的摩擦，在带的下方 产生污染。结果，由于带驱动过程中产生的污染物，可能降低传送 精度。此外，为了保持脆性基板的清洁，应该在与带驱动部相对应的 各个位置处设置清洁装置。结果，设备变得复杂，且管理费用增加。而且，污染降低了带式机构的使用寿命。为了延长带式机构的 使用寿命，需要经常更新带，从而降低了工作效率。此外，带下方的污染物降低了基板划线期间的基板的平整度， 使得不可能精确地对基板进行划线。
技术实现思路
本专利技术的一方面在于提供一种用于脆性基板的传送设备，该传 送设备能够去除在用于传送脆性基板的传送带下方产生的污染物， 乂人而改善对传送i史备的维护。 本专利技术的另 一方面在于提供一种用于脆性基板的传送设备，该 传送设备能够抽吸在驱动其上安装有基板的带的过程中所产生的 污染物，以延长带部的4吏用寿命。本专利技术的实施例提供了 一种用于脆性基板的传送设备，该传送设备包括传送装置，用于传送待切割的脆性基板；以及电才几部， 用于驱动该传送装置，其中传送装置包括沿环形;咯径行进以传送 脆性基板的带部；用于支撑带部的带支撑部；以及用于抽吸带部下 方的污染物的抽吸装置。此外，传送装置可以进一步包括设置在带部与带支撑部之间的 且覆盖带支撑部的带支撑部盖。进一步，抽吸装置可以包括抽吸部，用于抽吸带部下方的污 染物；真空泵，用于4丸行抽吸部的污染物抽吸；以及抽吸管，用于 将抽吸部连接至真空泵。而且，抽吸部可以i殳置在带部与带支撑部之间。此外，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括第一辊和第二 辊，该第一辊和第二辊上安装有带部，其中，抽吸部设置在由第一 辊转动的带部的下方以及进入第二辊之前的带部的下方，以去除由 第一辊与带部之间的摩〗察而产生的颗粒以及由带部和带支撑部盖 所产生的颗粒。4由吸部可以具有与带部的带相同的宽度。当第一辊和第二辊转动时，抽吸装置可以运行。当第 一辊和第二辊转动时，抽吸装置可以以预定时间间隔运行。此外，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括安装在抽吸装 置中的刷。进一步，所述刷可以包括第一刷，安装在邻近于第一辊的抽 吸部中，且附着于带支撑部盖；以及第二刷，安装在邻近于第二辊 的抽吸部中，且附着于带支撑部。而且，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括第一辊和第二 辊，该第一辊和第二辊上安装有带部，其中，抽吸部设置在经过第 二辊的带的上方，以去除在第二辊周围产生的污染物。此外，用于脆性基板的传送设备可以进一步包括第一辊和第二 辊，该第一辊和第二辊上安装有带部，其中抽吸部^:置在由第一辊 转动的带部的下方以及经过第二辊的带的上方。附图i兌明从以下结合附图的详细描述中，本专利技术的上述和其它目的、特 征、和优点将变得更显而易见，附图中图l是传统传送带设备的透视图2是用于脆性基板的传统传送设备的截面图3是才艮据本专利技术第一示例性实施例的用于脆性基板的传送诏:备的截面图4是根据本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于脆性基板的传送设备，包括：传送装置，用于传送待切割的脆性基板；以及电机部，用于驱动所述传送装置，其中，所述传送装置包括沿环形路径行进以传送所述脆性基板的带部、用于支撑所述带部的带支撑部、以及用于抽吸所述带部下 方的污染物的抽吸装置。

【技术特征摘要】
KR 2006-8-24 10-2006-00806261.一种用于脆性基板的传送设备，包括传送装置，用于传送待切割的脆性基板；以及电机部，用于驱动所述传送装置，其中，所述传送装置包括沿环形路径行进以传送所述脆性基板的带部、用于支撑所述带部的带支撑部、以及用于抽吸所述带部下方的污染物的抽吸装置。2. 根据权利要求1所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 传送装置进一步包括设置在所述带部与所述带支撑部之间的 且覆盖所述带支撑部的带支撑部盖。3. 根据权利要求2所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 抽吸装置包括抽吸部，用于抽吸所述带部下方的污染物；真 空泵，用于4丸4亍所述抽吸部的污染物抽吸；以及抽吸管，用于 将所述抽吸部连4妄至所述真空泵。4. 根据权利要求3所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 抽吸部设置在所述带部与所述带支撑部之间。5. 根据权利要求4所述的用于脆性基板的传送设备，进一步包括 第 一辊和第二辊，所述第 一辊和第二辊上安装有所述带部，其中，所述抽吸部i殳置在由所述第一辊转动的所述带部 的下方以及进入所述第二辊之前的所述带部的下方，以去除由 所述第一辊与所述带部之间的摩纟察而产生的颗粒以及由所述 带部和所述带支撑部盖所产生的颗粒。6. 根据权利要求5所述的用于脆性基板的传送设备，其中，所述 抽吸部具有与所述带部的带相同的宽度。7. 根据权利要求6所述的用于脆性基板的传送设备，其中，当所 述第一辊和所述第二辊转动时，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金钟相，朴成模，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]