向热表面供给颗粒材料制造技术

一种颗粒材料（１０）的蒸发方法，包括提供一个或者多个容器（１５），该容器各容纳各具有至少一种组分的可能有差别的颗粒材料（１０），在至少其中一个容器（１５）内使颗粒材料（１０）流体化，并提供与至少其中一个容器（１５）热隔离的加热区域（５０）。该方法进一步包括传递从各个容器（１５）接收到的颗粒材料（１０）至该蒸发区域（５０），以及在该蒸发区域（５０）施加热量来蒸发所传递的颗粒材料（１０）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】中，添加十二垸基苯磺酸钠llg、氯化亚铁lg以及草酸1.5g的溶 液作为腐蚀液而使其发挥作用，从而呈现出原奥氏体晶界。然后通过 1000倍的光学显微镜视场，确认原奥氏体晶界。通过放电加工从原材切出拉伸试验片(JIS5号)的形状。通过高频加热将该试验片加热至92(TC后，立即进行淬火。然后以17(TC进行 20分钟的回火，供于拉伸试验。在马氏体时效钢(F-18Ni-10Co-5Mo-0.4Ti)中也进行至冷轧，并 切出与上述形状相同的形状的试验片后，加热至802。C后，通过空冷进 行淬火，并通过52(TC加热进行蚀刻处理。只有韧性的评价与上述不同，通过热轧形成15mm厚度。与轧制 材料的C方向一致而切出U切口的摆锤试验片。通过高频加热将试验 片加热至92(TC后，立即进行淬火。进行17(TCX30分钟的回火，然后 供于摆锤试验。在实验温度-4(TC、 4(TC的2个条件下进行，并通过其 吸收能量进行比较。将马氏体组织的体积率、拉伸强度、总延伸率、韧性的结果表示 在表1中。根据表1，本专利技术范围内的钢表示出强度、延展性平衡大于 马氏体时效钢，并且韧性也表示出良好的结果。实施例2在此调查组织的影响。实验方法与实施例1完全相同。其中，为 了观察马氏体的体积率的影响，关于高频加热的温度采用了各种条件。例如，在比较例中，由于降低加热温度并增加了未转变铁素体相 的量，因而马氏体的体积率不足90%。实验结果表示在表2。可知马氏 体的体积率低于卯％时，强度显著降低。有机材料中除去气体。低沉积速度和与材料源再装料有关的消耗过程的频率和时间为OLED制造设备的产量带来重大的局限性。加热整个有机材料装料至大约相同的温度的第二个结果是不切 实际地混合额外的有机材料，例如具有基质材料的掺杂物，只要掺 杂物的蒸发行为和蒸气压力不是非常接近于基质材料的蒸发行为和 蒸气压力。这不是通常的情况，而且因此，现有技术的装置常常需 要使用分开的材料源来共同沉积基质材料和掺杂材料。采用单组分材料源的结果是需要许多材料源以便生产包括基 质和多种掺杂物的膜片。这些材料源一个接着一个排列，外部的材 料源朝着中心成角度以接近共同沉积条件。实际上，用于共同沉积 的不同材料线性材料源的数量限于三个。这种限制赋与了 OLED装 置结构的实质的局限，增加了必需的尺寸和真空沉积室的成本，并 减少了系统的可靠性。此外，分开的材料源的使用在沉积膜片上产生倾斜效果，在该 沉积膜片中，最接近前进式基板的材料源中的材料表现在直接临近 基板的初始膜片上，而最后的材料源中的材料表现在最后的膜片表材料源中这种倾斜的共同沉积是不可避免的。当端部材料源中任意 一个的贡献较中间的材料源大几个百分点时，例如当使用共同的基 质(co-host)时，沉积膜片中的倾斜是非常明显的。现有技术材料源的进一步局限性在于蒸气歧管的内部几何形 状随有机材料进料的消耗而变化。这种变化需要加热器的温度改变 以维持恒定的蒸发速度，可以观察到离开孔口的蒸气的整个羽毛形 状可随有机材料的厚度和在材料源内的分布而改变。特别是在具有 完全填充的材料的材料源中的蒸气流的传导性很低，足够维持材料 源内不一致的蒸发所得到的压力梯度。在这种情况下，当材料装料 消耗时，传导性增加，且压力分布然后整个羽毛形状得到改善。5专利技术概述因此本专利技术的目的在于提供一种蒸发粉末的有效方式。为实现本专利技术的目的， 一种颗粒材料的蒸发方法包括(a) 提供一个或者多个容器，所述容器各容纳各具有至少一种组 分的可能有差别的颗粒材料；(b) 在至少其中一个所述容器内使所述的颗粒材料流体化；(c) 提供与至少其中一个所述容器热隔离的蒸发区域；(d) 传递从各个容器接收到的颗粒材料至所述的蒸发区域；以及(e) 在所述的蒸发区域施加热量来蒸发所传递的颗粒^料。附图筒述附图说明图1示出了本专利技术的第一实施例； 图2是本专利技术第二实施例的剖视图3是图2所示实施例中的一部分从不同方向观察的详细视图； 图4是本专利技术可选实施例的截面图； 图5是图2中实施例变型的详细视图； 图6示出了本专利技术可选的实施例。专利技术详述参考图1，所示的是设备5，用于精确控制颗粒材料10的蒸发。 该设备包括容纳具有至少一种組分(例如有机材料)的颗粒材料10的 容器15，传送器装备在这里作为旋转盘40,从容器15接收颗粒材 料10。颗粒材料10被旋转盘40传送到蒸发区域50,在蒸发区域50 中热源55闪蒸所传送的颗粒材料。通过消除热源55和容器15之间 的热传导路径，使得蒸发区域50与容器15隔离。对于OLED的应 用，设备5放置在同样消除对流传送的真空中。进一步的隔离是利 用低质量、低比热、低热传导率的材料生产旋转盘40。容器15辐射 的热量可以通过热源55的适当设计而减少或者消除，或者通过在热这样，本专利技术的银合金材料，特别是以0.5重量％以上的比例含有铟的 情况下，由于是一种兼具低电阻性和耐等离子体性能的材料，尤其是TFT 阵列基板上的布线大多需要耐等离子体性能，所以本专利技术的银合金材料将 成为一种特别有用的材料。但是，本专利技术的银合金材料与锡、锌、铟等构 成元素之比，不一定满足表中的全部特性，所以可以根据情况选择需要满 足的耐性。而且本专利技术的银合金材料，特别是以0.5重量％以下的比例含有铟的情 况下，电阻率处于2.7u Qcm以下，电阻很低。因此，特别适于在液晶TV 等用的液晶显示装置中电路基板用途中使用。此外，本专利技术的银合金材料，也可以是与元素周期表中与铟同族的镓、 与锡同族的铅、与铅性质相近的铋的合金，将显示同样优良的性质。综上所述，本专利技术的银合金材料，作为工艺耐性是同时具有附着力、 耐热性、低电阻和耐等离子体性能的、非常有用的一种材料。另外，这些评价结果是终究是为显示本专利技术的银合金材料性质而在设 定的条件下得到的结果。为了明确每个条件在材料之间的差别，有意比所 设想的使用条件设定得更加苛刻。本专利技术的适用范围，并不受表1和表2中 所示结果的任何限制。本专利技术的银合金材料，其特征在于，其中还可以含有从铝、铜、镍、 金、铂、钯、钴、铑、铱、钌、锇、钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼、 钨和钕中选择的元素。通过添加这些元素，可以使耐热性、耐等离子体性 能、附着力进一步提高，得到最佳的合金材料。使用本专利技术的银合金材料作为TFT阵列基板上布线的构成材料使用的 情况下，所需的材料是以银为主体，其中含有锌的银合金材料。因此，在 银中添加锌的情况下，可以获得耐热性、附着力和耐等离子体性能提高的 效果，将是一种适于制造TFT阵列基板的材料。还有，本专利技术的银合金材料，除银和锌以外还可以含有有意添加的其 他元素。本专利技术正是基于在银中添加锌能有效地提高耐热性、附着力和耐 等离子体性能这一点。因此，即使在含有这些以外其他元素的情况下，因 添加锌而可以获得效果的银合金材料也将被包含在本专利技术范围内。低比热、和低质量的旋转盘40，并且在局部区域集中热量并产生允许闪蒸发生的高热梯度。在先前的实施例中，通过消除传导和对流路径使颗粒材料10与热源55热隔离。可选地，插入用作阻隔辐射 热量的护罩。图3提供旋转盘40的详细视图，在这个视图中多个凹部60是 显而易见的。在旋转盘40旋转时，各个凹部60从传递区域30运送 预定数量的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种颗粒材料的蒸发方法，包括：（ａ）提供一个或者多个容器，所述容器均容纳各具有至少一种组分的可能有差别的颗粒材料；（ｂ）在至少其中一个所述容器内使所述的颗粒材料流体化；（ｃ）提供与至少其中一个所述容器热隔离的蒸发区域；（ｄ）传递从各个容器接收到的颗粒材料至所述的蒸发区域；以及（ｅ）在所述的蒸发区域施加热量来蒸发所传递的颗粒材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2005-6-15 11/153,066;US 2005-2-4 11/050,9341.一种颗粒材料的蒸发方法，包括(a)提供一个或者多个容器，所述容器均容纳各具有至少一种组分的可能有差别的颗粒材料；(b)在至少其中一个所述容器内使所述的颗粒材料流体化；(c)提供与至少其中一个所述容器热隔离的蒸发区域；(d)传递从各个容器接收到的颗粒材料至所述的蒸发区域；以及(e)在所述的蒸发区域施加热量来蒸发所传递的颗粒材料。2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述传递步骤由 被分为第 一级和第二级的传送装置提供。3. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述的第一级传 送装置包括螺旋钻机构或者平移部件。4. 根据权利要求2所述的方法，其特征在于所述的第二级传 送装置包括旋转盘或者平移部件。5. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于所述传递步骤...

【专利技术属性】
技术研发人员：M龙，BE科普，TW帕洛恩，
申请(专利权)人：伊斯曼柯达公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]