螺旋电感元件制造技术

本发明专利技术揭示一种螺旋电感元件，包括：一绝缘层、一多匝的螺旋导线、及一单匝的非连续螺旋导线。绝缘层设置于一基底上。螺旋导线设置于绝缘层上，其中螺旋导线的最外匝及最内匝导线部分别具有一第一端及一第二端，且第一端及第二端其中一端接地。非连续螺旋导线设置于绝缘层上，平行且邻近螺旋导线中延伸自未接地端的该匝导线部，其中非连续螺旋导线接地。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于一种半导体集成电路，特别是有关于一种螺旋电感(spiral inductor)元件。
技术介绍
许多数位及类比部件及电路已成功地运用于半导体集成电路。上述部件 包含了无源元件，例如电阻、电容或电感等。典型的半导体集成电路包含一 硅基底。 一层以上的介电层设置于基底上，且一层以上的金属层设置于介电 层中及介电层上。这些金属层可通过现行的半导体工艺技术而形成芯片内建 部件，例如芯片内建电感元件(on-chip inductor )。传统上，芯片内建电感元件形成于基底上且运用于射频频带(radio frequency band)集成电路设计。请参照图1A及1B,其中图1A绘示出一习 知芯片内建螺旋电感元件平面示意图，而图1B则绘示出沿图1A中1B-1B， 线的剖面示意图。芯片内建螺旋电感元件形成于一基底100上方的绝缘层 102上，其包括一螺旋导线103及一内连线结构。螺旋导线103设置于绝缘 层102上。内连线结构包括嵌入于一绝缘层102中的导电插塞105及109及 一导电层107与位于绝缘层102中的信号输出/输入部111。螺旋导线103通 过导电插塞105及109、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种螺旋电感元件，包括：　　　　一绝缘层，设置于一基底上；　　　　一螺旋导线，其为多匝的，设置于该绝缘层上，其中该螺旋导线的最外匝及最内匝导线部分别具有一第一端及一第二端，且该第一端及该第二端其中一端接地；以及　　　　一第一非连续螺旋导线，其为单匝的，设置于该绝缘层上，平行且邻近该螺旋导线中延伸自该未接地端的该匝导线部，其中该第一非连续螺旋导线接地。

【技术特征摘要】
1.一种螺旋电感元件，包括一绝缘层，设置于一基底上；一螺旋导线，其为多匝的，设置于该绝缘层上，其中该螺旋导线的最外匝及最内匝导线部分别具有一第一端及一第二端，且该第一端及该第二端其中一端接地；以及一第一非连续螺旋导线，其为单匝的，设置于该绝缘层上，平行且邻近该螺旋导线中延伸自该未接地端的该匝导线部，其中该第一非连续螺旋导线接地。2. 如权利要求1所述的螺旋电感元件，还包括一第二非连续螺旋导线， 其为单匝的，设置于该绝缘层上，平行且邻近该螺旋导线中延伸自该接地端 的该匝导线部，其中该第二非连续螺旋导线接地。3. 如权利要求2所述的螺旋电感元件，其中该螺旋电感元件具有一第一 导线连接部与一第二导线连接部，该第一非连续螺旋导线具有一第一导线段 及一第二导线段，该第二非连续螺旋导线具有一第三导线段及一第四导线 段，且该第一导线段的一端经由该第一导线连接部连接至该第三导线段的一 端，而第二导线段的一端经由该第二导线连接部连接至该第四导线段的一二山 乂而。4. 如权利要求1所述的螺旋电感元件，其中该第二端接地且该第一非连 续螺旋导线大体围绕该螺旋导线。5. 如权利要求1所述的螺旋电感元件，其中该第一端接地且该螺旋导线 大体围绕该第一非连续螺旋导线。6. —种螺旋电感元件，包括 一绝缘层，设置于一基底上...

【专利技术属性】
技术研发人员：李胜源，
申请(专利权)人：威盛电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]