布线材料和使用该材料的布线板制造技术

本发明专利技术涉及布线材料和使用该材料的布线板，提供使用了Ａｇ合金（或Ｃｕ合金）的布线材料，所述合金是以Ａｇ（或Ｃｕ）为主成分的合金（Ａｇ合金（或Ｃｕ合金）），是实现改善了与玻璃衬底或硅膜的粘附性的合金。首先，使用以Ａｇ、Ｚｒ为必需成分，还含有选自Ａｕ、Ｎｉ、Ｃｏ或Ａｌ的１种或２种以上的金属的Ａｇ合金作为ＴＦＴ－ＬＣＤ等的布线材料。其次，提出由Ａｕ和／或Ｃｏ及Ｃｕ组成的Ｃｕ合金作为布线材料的方式，所述Ｃｕ合金的特征是，Ｃｕ的组成比率是８０～９９．５重量％，Ａｕ的组成比率与Ｃｏ的组成比率之和是０．５～２０重量％。采用溅射法在玻璃衬底或硅晶片上将这种构成的布线材料成膜，结果观察到电阻十分低、且具有与衬底的高粘附强度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及TFT型液晶显示器(TFT-LCD )或有机EL用的布线材料、 反射电极及其制造方法。
技术介绍
TFT (Thin Film TrAusistor:薄膜晶体管)型液晶显示器(以下、 简称TFT-LCD)由于具有显示性能高、节能等特征，故作为便携式个个 电脑、膝上型个人电脑、电视等的显示器已占主流。该TFT-LCD的制 造方法各个公司有各种各样的方法，但由于制造TFT的工序复杂，又层 合各种的金属，金属氧化物，故要求工序简化。另外，在作为显示装置其他方案的有机EL (有机电致发光)中也 尝试着利用TFT驱动的显示。TFT-LCD的基本构造对过去的TFT-LCD的基本构造进行说明。图3中示出了示意地表 示透射型TFT-LCD截面的截面模式图。如该图所示，透射型TFT-LCD 的基本结构是将液晶IO用滤色器衬底12和TFT衬底14夹住的构造。 而且，在TFT衬底14的背面设有背灯16、从背面照射透射型TFT-LCD。滤色器衬底12形成滤色器22夹在玻璃衬底18a与透明电极20之 间的构造，使红(R)、绿(G)、蓝(B)各颜色的光透射。TFT村底14在玻璃衬底18b的上面形本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种由Ｃｕ合金构成的布线材料，是由Ａｕ和／或Ｃｏ与Ｃｕ构成的Ｃｕ合金，其特征在于：所述Ｃｕ的组成比率是８０～９９．５重量％，Ａｕ的组成比率与Ｃｏ的组成比率之和是０．５～２０重量％。

【技术特征摘要】
JP 2002-5-17 143312/2002;JP 2002-5-17 143318/20021.一种由Cu合金构成的布线材料，是由Au和/或Co与Cu构成的Cu合金，其特征在于所述Cu的组成比率是80～99.5重量％，Au的组成比率与Co的组成比率之和是0.5～20重量％。2. 根据权利要求1所述的布线材料，其特征在于Au的组成 比率是0~ 10重量％。3. 根据权利要求1所述的布线材料，其特征在于Co的组成 比率是O- 10重量％。4. 根据权利要求1 ~3中任一项所述的布线材料，其特征在于 电阻率是4 ju Q . cm以下。5. —种布线衬底，包含权利要求1-4中任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上一吉，
申请(专利权)人：出光兴产株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]