一种薄片粘贴装置，它包括：含有从剥离片（ＰＳ）将粘接片（Ｓ）剥离的剥离板（２２）的薄片导引单元（１２）；和将上述粘接片（Ｓ）按压粘贴到被支承在工作台（１３）上的晶片（Ｗ）上的压辊（１４）。上述剥离板（２２）通过气缸（５０）可以进退地被支撑着。该剥离板（２２）根据晶片（Ｗ）的大小或者支承它的工作台的大小，可以进行前端初始位置的前后调整。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种薄片粘贴装置，更详细地说，涉及一种在把薄片粘贴到半 导体晶片等板状部件上的时候，可以防止薄片的浪费来进行薄片粘贴的薄片粘 贴装置。
技术介绍
历来，在半导体晶片(以下简称为晶片)上， 一般都要粘贴用于保护 其电路表面的保护薄片，或者在其背面粘贴用于芯薄片焊接的粘接片。已经知道有这样一种薄片粘贴装置(例如，参见专利文献1):使用一种 在带状剥离片上临时粘有带状粘接片的巻筒纸(原料片)，在从上述剥离片将 粘接片剥离并将其粘贴到晶片之后，再沿晶片外周对其进行切除。专利文献1日本专利特开2004 — 47976号公报但是，在专利文献l所揭示的薄片粘贴装置中，由于用于在晶片的上面导 引薄片的导辊28群在停止导引动作期间，也就是，从粘贴动作到切断动作、 剥离动作期间，总是将薄片的粘接剂层夹在其间，所以在薄片的宽度方向形成 呈筋状的凹部。因此，在被研磨成像晶片那样仅数十微米的极薄的板状部件中， 如果使用留下凹部痕迹的薄片的话，则厚度既不均匀，研磨时晶片又易破碎， 所以凹部区域不能用作粘贴晶片。于是，虽然只要以不包含上述凹部区域的方 式来输送薄片就可以，但是那样一来，薄片就会无端地被消费掉，所以不太合 适。像这样的不合理现象，通过将导辊28群设定在与晶片的外缘非常接近的 位置上是可以解决的，但是，不能对应于根据晶片的大小而要变更工作台大小 的场合，因而薄片的浪费就无法避免。此外，上述筋状凹部痕迹所引起的不合适现象，在使用剥离板的情况下也 会产生。目卩，在剥离板的前端位置从剥离片被剥离的薄片，在导引动作停止期 间，与剥离板的前端边缘接触的薄片的部分，由于在宽度方向将形成筋状的凹 部痕迹，所以除了形成该凹部痕迹以外的部分也有必要粘贴到晶片上。
技术实现思路
本专利技术正是着眼于上述不合理现象而想出来的，其目的在于提供一种这样 的薄片粘贴装置，通过间歇性地导引动作，即使所形成的薄片的凹部痕迹不包 含在粘贴区域内，也能够尽可能地消除薄片的浪费而粘贴到板状部件上。为了达到上述目的，本专利技术在薄片粘贴装置中，采用了以下结构，它包括: 含有从剥离片将薄片剥离的剥离板的薄片导引单元；和将上述薄片按压粘贴到 被支承在工作台上的板状部件上的压辊；其中，上述剥离板采用可以进退的支 承构造。在本专利技术中，采用的是当上述压辊从板状部件的一端向另一端移动时， 上述剥离板向上述工作台的一侧移动之构造。另外，还可以采用上述剥离板在保持恒定的薄片粘贴角度的状态下进行 移动之构造。按照本专利技术，因为剥离板被可以进退地支撑着，所以根据板状部件的大小 或者工作台的大小，通过让剥离板的前端位置前进或后退，可以进行凹部痕迹 剩余部分的位置调整。因此，对各板状部件设定短的应该粘贴薄片的区域之间 的空白边缘的同时，使凹部痕迹位于该空白边缘内，实现薄片的导引动作，从 而能够避免薄片的浪费。另外，由于是随着薄片被粘贴，剥离板会移动到工作台的一侧的构造，在 薄片粘贴完了的状态下，剥离板的前端预先设定在与工作台的外缘大约一致程 度的位置，则薄片导引的浪费将会最少。而且，因为剥离板的移动是在将薄片的粘贴角度保持在恒定的状态下进行 的，所以薄片的张力能够保持恒定，能够精确地进行薄片的粘贴。附图说明图1是表示本实施方式涉及的薄片粘贴装置的概略主视图。图2是表示上述薄片粘贴装置的概略立体图。图3是表示工作台的概略剖视图。图4是表示粘接片的粘贴动作说明图。图5是表示用剥离装置剥离不要的粘接片的剥离动作说明图。图6的(A)和(B)是表示工作台变更了的情况下的压辊及剥离板的初始 位置的说明图。附图标记说明10薄片粘贴装置12薄片导引单元14 压辊22 剥离板50 气缸PS 剥离片S 粘接片W晶片(板状部件) e 粘贴角度具体实施例方式以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。在图1中，示出本实施方式涉及的薄片粘贴装置的概略主视图，在图2中， 示出其概略立体图。在这些图中，薄片粘贴装置IO，包括以下部件构成配置 在基座ll上部的薄片导引单元12;和支承作为板状部件的晶片W的工作台13; 和给导引到晶片W的上面侧的粘接片S施加按压力而粘贴在晶片W的压辊14; 和在晶片W粘贴粘接片S之后，沿该晶片W的外缘，切断粘接片S的切割器15;和把晶片W的外侧的不要的粘接片Sl从工作台13的上面剥离的剥离装置16; 和巻取不要的粘接片Sl的巻取装置17。上述薄片导引单元12，包括以下部件构成支承带状剥离片PS的一面临时粘有带状粘接片S的辊筒状巻筒纸L的支承辊20;迅速翻转从该支承辊20 导引出的巻筒纸L，并从剥离片PS剥离粘接片S的剥离板22;和巻取回收剥 离片PS的回收辊23;和配置在支承辊20和回收辊23之间的多根导辊25 31; 和配置在导辊25、 26之间的缓冲辊(buffer roller) 33;和配置在导辊27、 28之间的张力测定机构35;和一体地支承剥离板22、导辊27、 28、 29和张力 测定机构35的粘贴角度维持机构37。另外，在上述导辊27、 29上，还设有制 动片(brake shoe) 32、 42，上述制动片32、 42在把粘接片S粘贴到晶片W 上的时候，通过依靠气缸38、 48相对于对应的导辊27、 29进退，来夹入粘接 片S，以控制其导引。上述张力测定机构35，由测力传感器39和支承在该测力传感器上、位于 上述剥离板22的基部一侧的张力测定辊40所构成。张力测定辊40被导辊27 和制动片32夹入，受到在与上述压辊14之间被导引出的粘接片S的张力的牵 拉，从而使该张力传递到测力传感器39上。于是，上述测力传感器39—面测 定上述被导引出的粘接片S的张力， 一面借助粘贴角度维持机构37，通过后述 导引头49朝图1中的斜下方变位，使粘接片S的张力保持恒定。上述粘贴角度维持机构37的构成是，与上述压辊14相互作用，使粘接片 S相对于晶片W的粘贴角度e保持恒定。该粘贴角度维持机构37包括由导辊 27、 28、 29，测力传感器39，张力测定机构40，制动片32、 42，气缸38、 48， 剥离板22以及支承这些的一对滑板43、 43所构成的导引头49;和上下引导该 导引头49的一对导轨45、 45;和给导引头49施加升降力的一对单轴机器人 46、 46。导轨45和单轴机器人46配置成倾斜姿势，导引头49可沿着该倾斜 角度升降。另外，剥离板22被支承在配置于滑板43内侧的气缸50上，设置 成在图1中的X方向上可以进退，籍此，可根据晶片W的直径进行剥离板22上述工作台13，如图3所示，由俯视呈大致方形的外侧工作台51和俯视大致呈圆形的内侧工作台52所构成。外侧工作台51设置成可容纳内侧工作台 52的凹状，与此同时，还可通过单轴机器人54，相对于基座ll升降。另一方 面，内侧工作台52设置成可通过单轴机器人56，相对于外侧工作台51升降。 因此，外侧工作台51和内侧工作台52是可以一体升降的，同时，还可以相互 独立地升降，籍此，外侧工作台51和内侧工作台52可以根据粘接片S的厚度、 晶片W的厚度，调整在指定的高度位置上。上述压辊14，通过门型框57来支撑着。在门型框57的上面侧，设置有气 缸59、 59和通过这些气缸59的动作可上下升降的压辊14。另外，如图2所示， 门型框本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种薄片粘贴装置，它包括：含有从剥离片将薄片剥离的剥离板的薄片导引单元；和将上述薄片按压粘贴到被支承在工作台上的板状部件上的压辊，其特征在于：上述剥离板可以进退地被支撑着。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-7-7 198807/20051、一种薄片粘贴装置，它包括含有从剥离片将薄片剥离的剥离板的薄片导引单元；和将上述薄片按压粘贴到被支承在工作台上的板状部件上的压辊，其特征在于上述剥离板可...
【专利技术属性】
技术研发人员：野中英明，小林贤治，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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