下载薄片粘贴装置的技术资料

文档序号:3174860

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一种薄片粘贴装置,它包括:含有从剥离片(PS)将粘接片(S)剥离的剥离板(22)的薄片导引单元(12);和将上述粘接片(S)按压粘贴到被支承在工作台(13)上的晶片(W)上的压辊(14)。上述剥离板(22)通过气缸(50)可以进退地被支撑着...
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