薄膜晶体管阵列基板制造方法技术

本发明专利技术公开了一种薄膜晶体管阵列基板及其制造方法，该薄膜晶体管阵列基板在绝缘基板上依次形成有扫描配线导电层、绝缘层、数据导电层、钝化绝缘层及透明导电层，所述扫描配线导电层上形成有扫描配线和共通电极线，所述绝缘层包括栅绝缘膜，所述扫描配线至少部分裸露与之上数据导电层直接电接触；该结构的阵列基板可降低扫描配线的信号延迟，同时在不设置专门的修复线的情况下，可实现扫描配线断线的自修复。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及 一种阵列基板及其制造方法，特别涉及 一种能够降低配线信号 延迟可自修复。技术背景液晶显示器(liquid crystal display, LCD )是目前广泛使用的 一种平面 显示器，具有低功耗、外型薄、重量轻以及低驱动电压等特征。薄膜晶体管液 晶显示器(TFT-LCD)是液晶显示器中最重要的一种，具有体积小、重量轻、无辐 射等优点。薄膜晶体管液晶显示器通常包括液晶显示面板和背光模块。其中， 液晶显示面板包括薄膜晶体管阵列基板、彩色滤光基板及设置于此两基板间的 液晶层。液晶显示器的显示区域包含多个子像素区域，每个子像素区域一般为 两条扫描线与两条数据配线交叉所定义的矩形或者其他形状区域，其内设置有 薄膜晶体管(TFT)以及像素电极，薄膜晶体管充当开关元件。通过在像素中设 置TFT形成有源矩阵液晶显示器，适合大画面、高分辨率、多灰度的液晶显示 元件。然而随着显示装置的显示区域的增加，连接到TFT的扫描配线变得越来越 长，引起配线电阻的增加，导致信号延迟增加，从而给面内均匀显示带来了问 题。为了降低由电阻增加而导致的信号延迟，中国公开专利2006101 32270本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜晶体管阵列基板，在绝缘基板上依次形成有扫描配线导电层、绝缘层、数据导电层、钝化绝缘层及透明导电层，所述扫描配线导电层上形成有扫描配线和共通电极线，所述绝缘层包括栅绝缘膜，其特征在于，所述扫描配线至少部分裸露与之上数据导电层直接电接触。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管阵列基板，在绝缘基板上依次形成有扫描配线导电层、绝缘层、数据导电层、钝化绝缘层及透明导电层，所述扫描配线导电层上形成有扫描配线和共通电极线，所述绝缘层包括栅绝缘膜，其特征在于，所述扫描配线至少部分裸露与之上数据导电层直接电接触。2. —种薄膜晶体管基板的制造方法，包括扫描配线导电层、绝缘层、数据 导电层、钝化绝缘层及透明导电层五道掩膜工艺，所述的绝缘层制造方法中采 用包括多灰色调区，灰色调区，透光区图案的多灰阶掩膜基板，其特征在于该 方法包括如下步骤-.(a) 在绝缘基板上形成扫描配线导电层，所述扫描配线导电层包括扫描 配线和共通电极线；(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李喜峰，李俊峰，
申请(专利权)人：上海广电光电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]