【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术有关于，进一 步详言之，有关于在物体形成图案的图案形成方法及图案形成装置、以及使 用该图案形成方法及图案形成装置的元件制造方法。
技术介绍
用以制造半导体元件、液晶显示元件等微元件(电子元件)的光刻工艺， 是使用将形成于光掩膜或标线片(以下，统称为标线片)的图案通过投影 光学系统，转印至涂有光刻胶的基板、例如晶片或玻璃板等感光物体(以下， 统称为晶片)上的曝光装置。半导体元件等，是于晶片上重迭复数层图案而形成。因此，曝光装置必 须有将已形成于晶片上的图案、与形成于标线片的图案调整至最佳相对位置关系的操作(对准)。此对准方式，主要使用EGA(Enhanced Global Alignment,增强型全晶片对准)方式。此EGA方式，是事先选择晶片内特定的复数个照 射区域(也称为取样照射区域或对准照射区域)，并依序测量设于这些取样照 射区域的对准标记(取样标记)的位置信息。然后，使用此测量结果与照射区 域的设计上排列信息，进行最小平方法等的统计运算，求取晶片上照射区域 的排列坐标。因此，使用EGA方式能以高处理量、较高精度求得各照射区 域的排列坐标(例如，参...
【技术保护点】
一种图案形成方法，于物体上形成图案，其特征在于，所述方法包含： 第１步骤，在移动物体的期间，一边移动标记检测系统的至少一部分、一边检测所述物体上的标记；以及 第２步骤，使用所述标记的检测结果于所述物体形成图案。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2005-12-28 377706/20051.一种图案形成方法，于物体上形成图案，其特征在于，所述方法包含第1步骤，在移动物体的期间，一边移动标记检测系统的至少一部分、一边检测所述物体上的标记；以及第2步骤，使用所述标记的检测结果于所述物体形成图案。2. 如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，所述物体的移动， 是通过保持所述物体的移动体的移动进行。3. 如权利要求2所述的图案形成方法，其特征在于，所述标记的检测， 是至少在所述移动体从将所述物体保持于所述移动体的装载位置移动至对 所述物体的图案形成开始位置为止的期间进行。4. 如权利要求1所述的图案形成方法，其特征在于，所述标记的检测，至少是在对所述物体的图案形成开始后进行。5. 如权利要求4所述的图案形成方法，其特征在于，所述标记的检测，在对所述物体的图案形成开始前也进行。6. 如权利要求1至5中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述 第1步骤，是一边变更所述物体与所述标记检测系统的位置关系、 一边检测 复数个标记。7. 如权利要求1至6中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述 第1步骤，是在标记检测后、至检测下一个标记之前，使所述标记检测系统 的至少一部分往与所述物体移动方向相异的方向移动。8. 如权利要求1至7中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述 第1步骤，是检测将图案形成于所述物体上的图案形成对象的所有区划区域 所需的标记的一部分；所述方法进一步包含第3步骤，与所述第2步骤中对可根据所述第1步 骤的标记检测结果形成图案的区划区域形成图案的动作并行地，检测对所述所有区划区域形成图案所需的标记中剩余的标记。9. 血权利要求1至8中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，在形 成所述图案时使用所述标记检测系统的位置信息与所述物体的位置信息。10. 如权利要求1至9中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，根据 所述标记检测系统的位置信息与所述物体的位置信息检测所述标记的位置f曰息。11. 如权利要求1至10中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，在 形成所述图案时使用所述标记检测系统的旋转信息。12. 如权利要求1至11中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，根 据所述标记检测系统的位置信息及旋转信息与所述物体的位置信息检测所 述标记的位置信息。13. 如权利要求1至12中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所 述第1步骤，使用复数个所述标记检测系统测量复数个标记。14. 如权利要求1至13中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所 述第1步骤，在所述物体与所述标记检测系统相对停止的状态下检测所述标 记。15. —种图案形成方法，于物体形成图案，其特征在于，所述方法包含 第1步骤，在移动所述物体的期间， 一边使标记检测系统的检测区域移动、 一边检测所述物体上的标记；以及第2步骤，使用所述标记的检测结果于所述物体形成图案。16. 如权利要求15所述的图案形成方法，其特征在于，所述第1步骤， 使所述物体在待在所述物体上形成图案的复数个区划区域所排列的第1方向 移动。17. 如权利要求16所述的图案形成方法，其特征在于，所述第1步骤， 是检测在所述物体上于所述第1方向上位置不同的复数个标记。18. 如权利要求16或17所述的图案形成方法，其特征在于，所述第1步骤，是通过具有在与所述第1方向正交的第2方向上位置不同的检测区域 的复数个标记检测系统，检测所述物体上的标记。19. 如权利要求18所述的图案形成方法，其特征在于，所述第1步骤， 是改变所述复数个检测区域在所述第2方向的间隔，并检测在所述物体上于 所述第2方向上位置不同的标记。20. 如权利要求15至19中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所 述第2步骤中，也使用在开始将图案形成于所述物体后所述标记检测系统对 所述物体上的标记的检测结果。21. —种图案形成方法，于物体上形成图案，其特征在于，所述方法以标 记检测系统检测所述物体上的标记，使用所述检测结果开始对所述物体的图 案形成；且所述图案形成开始后也以所述标记检测系统检测所述物体上的标记， 于所述图案形成使用所述检测结果。22. 如权利要求21所述的图案形成方法，其特征在于，于所述物体上的 复数个区划区域分别形成图案，所述复数个区划区域中包含最初形成所述图 案的区划区域的第1群区划区域，使用所述图案形成开始前的所述标记的检 测结果，与所述第1群区划区域不同的第2群区划区域，使用所述图案形成开始后的所述标记的检测结果。23. 如权利要求22所述的图案形成方法，其特征在于，所述第2群区划区域，也使用所述图案形成开始前的所述标记的检测结果。24. 如权利要求22或23所述的图案形成方法，其特征在于，所述第2 群区划区域，是在所述第1群区划区域后进行所述图案形成。25. 如权利要求21至24中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，在 所述图案形成开始前，使所述物体移动于第1方向，并检测在所述物体上于 所述第1方向上位置不同的复数个标记。26. 如权利要求21至25中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，在所述图案形成开始前，使所述物体在待在所述物体上形成图案的复数个区划 区域所排列的第1方向移动，并检测在所述物体上于所述第1方向上位置不 同的复数个标记。27. 如权利要求25或26所述的图案形成方法，其特征在于，所述方法通 过具有在与所述第1方向正交的第2方向上位置不同的检测区域的复数个标 记检测系统，检测所述物体上的标记。28. 如权利要求27所述的图案形成方法，其特征在于，所述方法改变所 述复数个检测区域在所述第2方向的间隔，并检测在所述物体上于所述第2 方向上位置不同的标记。29. 如权利要求21至28中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所 述标记的检测是于所述物体的移动中一边移动所述检测区域一边进行。30. 如权利要求1至20、 25至29中任一项所述的图案形成方法，其特征 在于，所述方法通过与所述标记检测系统不同的检测系统，检测在所述移动 中与所述物体的面形状相关的信息，并在所述图案形成中使用其检测结果。31. —种图案形成方法，于物体形成图案，其特征在于，所述方法使所述 物体移动于第1方向，通过在与所述第1方向正交的第2方向具有不同位置 的检测区域的复数个标记检测系统，来分别检测所述物体上于所述第1方向 不同位置的复数个标记，且通过与所述标记检测系统不同的检测系统检测与 所述物体面形状相关的信息；使用所述两个检测结果于所述物体形成图案。32. 如权利要求31所述的图案形成方法，其特征在于，所述复数个标记， 包含在所述第2方向上位置不同的标记，所述复数个标记检测系统是使其检 测区域移动于所述第2方向。33. 如权利要求31或32所述的图案形成方法，其特征在于，所述各标记 的检测，是于所述物体的移动中一边移动所述检测区域一边进行。34. 如权利要求31至33中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所述不同检测系统的检测区域，是在所述第1方向配置于进行所述图案形成的 位置与所述标记检测系统的检测区域之间。35. 如权利要求30至34中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，与 所述面形状相关的信息的检测动作的至少一部分是与所述标记检测动作同 时进行。36. 如权利要求1至35中任一项所述的图案形成方法，其特征在于，所 述方法使所述物体曝光以形成图案。37. 如权利要求36所述的图案形成方法，其特征在于，所述物体被进行 液浸曝光。38. —种元件制造方法，包含使用权利要求1至37中任一项所述的图案 形成方法将图案形成于感应物体上的步骤。39. —种图案形成装置，用以在移动体所保持的物体形成图案，其特征在 于，所述装置具备标记检测系统，其至少一部分能移动；以及控制装置，于所述移动体的移动中移动所述标记检测系统的至少一部 分，以通过所述标记检测系统检测所述物体上的标记。40. 如权利要求39所述的图案形成装置，其特征在于，所述图案形成装置使用所述标记的检测结果将图案形成于所述物体上。41. 如权利要求39或40所述的图案形成装置，其特征在于，所述控制装置控制所述标记检测系统至少一部分的移动，以使所述标记的检测至少在使 所述移动体自将所述物体保持于所述移动体的装载位置移动至对所述物体 开始形成图案的位置的期间进行。42. 如权利要求39所述的图案形成装置，其特征在于，所述控制装置控制所述标记检测系统至少一部分的移动，以使所述标记的检测至少在对所述 物体开始形成图案后进行。43. 如权利要求42所述的图案形成装置，其特征在于，所述控制装置控制所述标记检测系统至少一部分的移动，以使所述标记的检测也在对所述物体开始形成图案前进行。44. 如权利要求39至43中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，所 述控制装置将所述标记检测系统至少一部分的移动控制成在检测所述物体 上的标记时追随所述移动体的移动。45. 如权利要求39至44中任一项所述的图案形成装置，其特征在于，所 述控制装置一边改变所述物体与所述标记检测系统的位置关系， 一边检测所 述物体上的复数个标记。46. 如权利要求39至...
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